Устройство для нанесения покрытий в вакууме

 

Устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее кассетодержатель с кассетами, подложкодержатель, установленный в кассетах, и механизм поворота, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции, расширения функциональных возможностей и повышения производительности, кассетодержатель снабжен двумя проушинами и одним подпружиненным фиксатором для каждой кассеты, кассета снабжена роликом, рамками и двумя опорами, входящими в проушины кассетодержателя, причем кассета установлена с возможностью углового перемещения относительно кассетодержателя, при этом каждый подложкодержатель установлен в рамке со смещением центра тяжести относительно оси поворота, а механизм поворота снабжен толкателем и выполнен в виде направляющих для опускания и подъема кассет, установленных с возможностью перемещения по ним ролика кассеты при вращении кассетодержатель вокруг своей оси, причем толкатель выполнен с возможностью контактирования с фиксаторами.



 

Похожие патенты:

Изобретение относится к области нанесения тонких пленок вакуумным напылением и может быть использовано для вращения лопаток турбин в потоке конденсата в вакуумных установках

Изобретение относится к области нанесения покрытия в вакууме и может быть использовано в технологических вакуумных установках для создания пленочных интегральных схем, устройств лазерной техники (отражателей, модуляторов и т
Изобретение относится к нанесению тонкопленочных покрытий в вакууме, в частности защитных, износостойких и декоративных покрытий на изделия из различных материалов
Наверх