Способ измерения толщины слоев

 

Изобретение относится к неразрушаемому контролю и может быть использовано при измерении толщины многослойных изделий. Целью изобретения является повышение производительности контроля за счет уменьшения числа операций и регистрации аналогового тока в контуре. Первоначально создаются два контура из объединяемых попарно четырех линейных проводников, расположенных на различных расстояниях к преобразователю 8 поля. В полученных контурах возбуждаются электромагнитные поля для двух фиксированных значений токов. По результатам измерений составляется система линейных уравнений, которая разрешается относительно толщины двух слоев. При измерении многослойных объектов первоначально измеряют толщину наиболее удаленного слоя, считая оставшиеся слои за один слой, а затем путем продолжения подобных операций находят величину каждого слоя. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

„„SU„„, 1495641 51> 4 G 01 В 7/06

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPCKOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

1 (21) 4269943/25-28 (22) 08.05.87 (46) 23.07.89. Бюл. № 27 (71) Львовский лесотехнический институт (72) Б. А. Аграновский, В. Г. Брандорф, Ю. Н. Кизилов и Ж. А. Ямпольский (53) 620.179.14 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 619783, кл. G 01 В 7/06, 1977.

Авторское свидетельство СССР № 879279, кл. G 01 В 7/06, 1980. (54) СПОСОБ ИÇMEPEНИЯ ТОЛШИНЫ

СЛОЕВ (57) Изобретение относится к неразрушаемому контролю и может быть использовано при измерении толщины многослойных изделий. Целью изобретения является повы2 шение производительности контроля за счет уменьшения числа операций и регистрации аналогового тока в контуре. Первоначально создаются два контура из объединяемых попарно четырех линейных проводников, расположенных на различных расстояниях к преобразователю 8 поля. В полученных контурах возбуждаются электромагнитные поля для двух фиксированных значений токов. По результатам измерений составляется система линейных уравнений, которая разрешается относительно толщины двух слоев. При измерении многослойных объектов первоначально измеряют толщину наиболее удаленного слоя, считая оставшиеся слои за один слой, а затем путем продолжения подобных операций находят величину каждого слоя.

1 ил.

1495641 формула изобретения

Составитель Ю. Глазков

Реда кто р Н. Бо бко ва Техред И. Верес Корректор М. Васильева

Заказ 4250 39 Тираж 683 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

1! 3035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат «Патент», г. Ужгород, ул. Гагарина, 101

Изобретение относится к области неразрушающего контроля и может быть использовано при измерении толщины многослойных изделий.

Целью изобретения является повышение производительности контроля за счет уменьшения числа операций и отказа от регистрации аналогового тока к контуре.

На чертеже представлен трехслойный объект.

Между слоями 1 — 3 с соответствующими толщинами Tl — Т3 и на поверхности объекта расположены линейные проводники 4 — 7, а на поверхности установлен преобразователь 8 поля. Кроме того, приведены источники 9 и 10 тока.

Способ реализуют следующим образом.

Образуют пару электрических контуров путем объединения линейных проводников

4, 5 и 6, 7. В каждый из полученных контуров включают источники 9 и 10 тока с напряжением Е1 и Е2 соответственно.

Затем регистрируют величину Нl напряженности поля в месте расположения преобразователя 8 поля. После чего изменяют ток в одном из контуров и регистрируют величину поля Н2.

Решая систему уравнений для неизвестных расстояний t2 и 1з, по полученным значениям Н и Н вычисляют значения расстояний 4 и 1з, если известны величины конструктивный размер преобразователя t4 и t1 суммы и общей толщиы t объекта, которые определены заранее. Затем из равенств определяют толщины слов

Tl=ti — tg-,T2=tg — 1з, Т3=13 — t4.

Для последовательного измерения толщины каждого из слоев многослойного изделия нумеруют проводники последовательно от наиболее удаленного от преобразователя 8 и описанным способом определяют значения толщин для наиболее удаленного слоя и оставшихся слоев, считая их за один слой, затем аналогичным образом определяют толщину предпоследнего слоя, и так до определения толщины каждого слоя.

Способ измерения толщины слоев многослойных изделий с числом слоев п)2, заключающийся в том, что при изготовлении изделия между его слоями и на обеих поверхностях размещают линейные проводники так, чтобы они находились в одной плоскости, размещают накладной индуктивный преобразователь на поверхности изделия, 20 образуют пару электрических контуров путем объединения попарно четырех линейных проводников, по каждому из контуров пропускают синфазный переменный ток, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности контроля, токи пропускают так, что образующиеся магнитные поля синфазны, регистрируют величину напряженности магнитного поля и величины токов, затем произвольно изменяют величину тока в одном из контуров, регистрируют полученные значения напряженности поля и величин токов и по полученному значению определяют толщину слоев между линейными проводниками, последовательно используют все линейные провоники, группируя их по четыре, и определяют толщину всех слоев

35 изделия.

Способ измерения толщины слоев Способ измерения толщины слоев 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к средствам толщинометрии и может быть использовано для контроля неферромагнитных материалов

Изобретение относится к области неразрушающего контроля

Изобретение относится к неразрушающему контролю и может быть использовано для измерения толщины покрытия на основаниях с криволинейной поверхностью

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано, например, в автоматизированных системах управления технологическими процессами для контроля толщины листового материала

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для бесконтактного измерения зазоров между вращающимися частями

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано, в частности, для измерения осевого положения ротора, разности тепловых расширений ротора и статора, абсолютных удлинений корпуса турбин электростанций, определения пространственного положения управляющих элементов, в системах очувствления роботов во всех отраслях машиностроения

Изобретение относится к области измерения линейных размеров

Изобретение относится к измери- ,тельной технике и имеет целью расширение диапазона контролируемь:х толщин диэлектрической пленки в процессе ее напыле1шя

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в машиностроительной, металлургической , химической и электронной пр01 1птенности

Изобретение относится к измерительной технике и может найти широкое применение в системах неразрушающего контроля и измерений толщины пленочных покрытий

Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к области измерения геометрических размеров плоских изделий, и может быть использовано при измерении толщины плоских изделий из диэлектриков, полупроводников и металлов, в том числе полупроводниковых пластин, пластических пленок, листов и пластин

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для контроля толщины металлических покрытий в процессе их образования, например, на металлических деталях, в частности, при нанесении покрытий из паровой фазы пиролитическим способом

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для определения деформирующей способности технологических остаточных напряжений в поверхностном слое изделий из металлов и сплавов с различными электромагнитными свойствами

Изобретение относится к неразрушающим методам контроля качества и геометрических размеров изделий и может быть использовано для измерения толщины проводящих покрытий
Изобретение относится к электронной технике и электротехнике и может быть использовано, в частности, в качестве датчиков магнитного поля или тензодатчиков

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для измерения толщины различных покрытий на цилиндрических металлических основах

Изобретение относится к измерительной технике, а более конкретно к методам и техническим средствам для контроля толщины твердых и полутвердых защитных покрытий, изоляционных слоев, жировых отложений, смазочных и лакокрасочных пленок на электропроводящей, в частности, металлической основе
Наверх