Интерференционное устройство для контроля децентрировки линзы

 

Изобретение относится к измерительной технике. Целью изобретения является повышение производительности контроля величины децентрировки за счет представления децентрировки контролируемой линзы в виде двух систем точных интерференционных колец, смещенных относительно оптической оси наблюдательной оптической системы в противоположных направлениях. Пучки лучей лазера 1 проходят через светоделитель 2, отражаются от двух поверхностей контролируемой линзы 14 и, отразившись от светоделителя, попадают в объектив 4. После отражения от контролируемой линзы 14 пучки лучей образуют интерференционную картину в виде системы концентрических колец. Интерференционная картина в плоскости Р проецируется объективом 4 в плоскость маски 6 и через светоделительный кубик 5-в предметную плоскость объектива 10, который в свою очередь переносит изображение интерференционной картины в плоскость маски 12. Окуляр 8 проецирует на экран 13 частично перекрытые нечетными непрозрачными зонами маски 8 и четными непрозрачными зонами маски 12 изображения интерференционной картины. Децентрировка контролируемой линзы 14 приводит к смещению центров двух систем интеференционных полос на экране 13 в противоположных направлениях, что позволяет удобно измерять расстояния между кольцами и определить направление децентрировки по линии, соединяющей центры колец. 4 ил.

СОЮЗ СаВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСН ИХ

РЕСПУБЛИК (51) 4 0 01 В 9/02

ВСЕСОЧЗН1Я

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н А ВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4349343/24-28 (22) 25.12.87 (46) 30.07.89. Нюл. N- 28 (72) Ю.В.Елисеев и Н.П.Ларионов (53) 531.7 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

N - 1345054, кл. G 01 В 9/02, 02.09.85. (54) ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ДЕЦЕНТРИРОВКИ ЛИНЗЫ (57) Изобретение относится к измерительной технике. Целью изобретения является повышение производительности контроля величины децентрировки.80,„, 1497450 А1

° за счет представления децентрировки контролируемой линзы в виде двух систем точных интерференционных колец, смещенных относительно оптической оси наблюдательной оптической системы в противоположных направлениях.

Пучки лучей лазера 1 проходят через светоделитель 2, отражаются от двух поверхностей контролируемой линзы 14 и, отразившись от светоделителя 2, попадают в объектив 4. После отражения от контролируемой линзы 14 пучки лучей образуют интерференционную картину B виде системы концентрических

1497450 4

10 колец. Интерференционная картина в плоскости Р проецируется объективом

4 в плоскость маски 6 и через светоделительный кубик 5 — в предметную плоскость объектива 10, который в гсвою очередь переносит иэображение интерференционной картины в плоскость маски 12. Окуляр 8 проецирует на - экран 13 частично перекрытые нечетными непрозрачными зонами маски 8 и четными непрозрачными зонами маски

Изобретение относится к измери- . тельной технике и может быть использовано для контроля децентрировки 20 линзы.

Целью изобретения является повышение производительности контроля величины децентрировки за счет представления децентрировки контролируе- 25 мой линзы в виде двух систем полных интерференционных колец, смещенных относительно оптической оси наблюдательной оптической системы в про тивоположных направлениях. 30

На фиг, 1 представлена функциональная схема устройства; на фиг. 2— первая маска; на фиг. 3 — вторая маска; на фиг. 4 — картина, которую наблюдают в окуляр при децентрированнай линзе.

Устройство содержит лазер I и последовательно установленные по ходу пучка лучей лазера 1 светоделитель 2, узел 3 крепления контролируемой лин- 40 зы, наблюдательную оптическую систему, оптическая ось которой сопряжена с помощью светаделителя 2 с осью лазера 1, включающую последовательно установленные объектив 4, светоделительный кубик 5, светаделительная грань которого расположена пад углом

45 к оптической аси наблюдательной оптической системы, маску 6, установленную в плоскости изображения объектива 4 так, чта центр ее симметрии совмещен с оптической осью наблюда-. тельной оптической системы, светаделительный кубик 7, светоделительная грань которого расположена под углам

45 к оптической аси наблюдательной оптической системы, окуляр 8, предметная плоскость которого совмещена с маской б, зеркало 9, оптически

12 изображения интерференционной картины. Децентрировка контролируемой линзы 14 приводит к смещению центров двух систем интерференцианных полос на экране 13 в противоположных направлениях, что позволяет удобно измерять расстояния между кольцами и определять направление децентрировки по линии, соединяющей центры колец.

4 ил. связанное через светоделительный кубик 5 с объективом 4, объектив 10 с увеличением -1", оптически связанный через зеркало 9 и светоделительный кубик 5 с объективом 4 и установленный так, чта его предметная плоскость совмещена с плоскостью изображения объектива 4, зеркало 11, оптически связннное с объективом 10 и светоделительной гранью светоделительного кубика 7, маску 12, установленную между зеркалом 11 и светоделительным кубиком 7 в плоскости. изображения объектива 10, совмещенной через светоделительный кубик 7 с предметной плоскостью окуляра 8 так, что центр ее симметрии расположен на оптической оси объектива 10, маски 6 и 12 выполнены в виде зонной пластинки

Френеля, при этом в маске 6 (фиг. 2) прозрачными выполнены четные зоны, а в маске 12 (фиг. 3) — нечетные.

Плоскость изображения окуляра 8 совмещена с экраном 13.

Контролируемую линзу 14 устанавливают в узел 3 крепления контролируемой линзы.

Устройство работает следующим образом.

Пучки лучей лазера 1 (фиг. 1) проходят через светаделитель 2, отражаются от двух поверхностей контролируемой линзы 14 и, отразившись от светоделителя 2, попадают в объектив

4. После объектива 4 пучки лучей делятся светоделительным кубиком 5 на два пучка лучей, один из которых проходит через светоделительный кубик 5, маску 6, светоделительный кубик 7 и собираются окуляром 8 на экране 13. Второй пучок лучей отражается от светоделительной грани

1497450

Интерференцианное устройства для контроля децентрировки линзы, са15 держащее лазер и последовательно установленные по ходу пучка лазера светоделитель и узел крепления контролируемой линзы, наблюдательную оптическую систему, оптическая ось кото2О рой сапряжена через светоделитель с осью пучка лучей лазера, включающую последовательно установленные первый объектив, первую маску, установленную в плоскости изображения

25 объектива так, чта центр ее симметрии совмещен с оптической осью наблюдательной оптической системы, первый светоделительный кубик, ориентированный так, чта его светоделительдО ная грань расположена пад углом 45 к оптической аси наблюдательной оптической системы, и окуляр, предметная плоскость которого совмещена с маской, а т л и ч а ю щ е е с я тем, чта, с целью повышения производительности контроля, ана снабжено вторым светоделительным кубиком, установленным между объективом и маской так, чта ега светоделительная грань рас4р положена под углом 45 к оптической оси наблюдательной оптической системы, зеркалом, оптически связанным через второй светаделительный.кубик с объективом, вторым. объективом с увеличением - 1, оптически связанным через зеркало и второй светоделительный кубик с первым объективом и установленным так, чта ега предметная плоскость совмещена с плоскостью изоЬражения первого объектива, вторым зеркалом, оптически связанным са вторым объективом и светоделительнай гранью первого светаделительного кубика, второй маской, установленной

55 между вторым зеркалам и первым свето— делительным кубиком в плоскости изображения второго объектива, совмещенной через первый светаделительный куЬик с предметной ил скастью окуляра светоделительного кубика 5, зеркала

9, проходит через объектив 10, отражается от зеркала 11, проходит через маску 12, отражается светоделительной гранью светаделительнаго кубика

7 и через окуляр 8 попадает на экран

13. После отражения от контролируемой линзы 14 пучки лучей образуют интерференционную картину в виде системы концентрических колец, ширина которых убывает от центра к краю по параболическому закону.

Интерференционная картина в плоскости P проецируется объективом 4 в плоскость маски 6 и через светоделительный кубик 5 — в предметную плоскость объектива 10. Объектив 10 переносит изображения интерференционной картины в плоскость маски 12.

Окуляр 8 проецирует .на экран 13 частично перекрытые нечетными непрозрачными зонами маски 8 и четными непрозрачными зонами маски 12 изображения интерференционной картины.

Когда контролируемая линза сцентрирована, центр интерференционной картины в плоскости Р лежит на оси пучка лучей лазера 1, сопряженной с оптической осью-наблюдательной системы. Центры изоЬражений интерференционных колец будут совмещены с центрами масок 6 и 12. При этом маска 6 пропускает, например, четные кольца и перекрывает нечетные кольца перевернутога изображения интерференционной картины, а маска 12 пропускает нечетные кольца и перекрывает четные кольца прямого изображения интерференционной картины. Окуляр 14 образует на экране 13 из неполного прямого и перевернутого изображений интерференционной картины одно полное изображение.

При децентрираванной контролируемой линзе 14 центр интерференционной картины смещается с оси пучка лучей лазера 1 и на экране 13 наблюдаются две системы интерференционных колец, центры которых смещены относительно друг друга в противоположном направлении (фиг. 4), при этом величина смещения определяет величину децентриравки контролируемой линзы 14, а линия, соединяющая центры двух систем интерференционных колец, — направления вектора децентрировки.

Представление информации а децентриравке контролируемой линзы в виде.двух систем полных интерференционных

)колец, смещенных относительно оптической оси наблюдательной оптической

5 системы в противоположных направлениях, позволяет удобно измерять расстояние между кольцами и определить направление смещения колец (линия, соединяющая центры колец).

10 формула изобретения

1497450

Составитель А. Заболотский

Техред М.Ходанич Корректор З.Лончакова

Редактор Н. Горват

Заказ 4429/41 Тираж 683 Подписное

ЗНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 так, что центр ее симметрии лежит на оптической оси второго объектива„ каждая маска выполнена в виде зонной пластинки Френеля, при этом в первой маске прозрачными выполнены четные зоны, а во второй маске — нечетные,