Интерферометр сдвига

 

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для изучения статических и динамических фазовых объектов интерферометрическими методами. Цель изобретения - увеличение производительности путем получения нескольких интерферограмм с различным направлением и шириной полос за одну экспозицию. Объект 7 исследования помещается в параллельный пучок света, сформированный коллиматором 2 от источника 1. Объектив 3 направляет пучок на светоделительный элемент 4, выполненный в виде N пар дифракционных решеток с различным периодом решеток в паре и углом пересечения решеток в каждой паре. Диафрагма 5 отфильтровывает первые порядки дифракции от решеток, которые формируют в плоскости регистрации 6 N интерференционных картин, расположенных по окружности относительно оси прибора. 2 ил.

союз советсних социдлистичесних

РЕСПУБЛИК,А1 (19) (И) (51)4 G 01 В 9/02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ (54) ИНТЕРФЕРОИЕТР СДВИГА

ГОСУДАРСТ8ЕННЫЙ КОМИТЕТ

Ilo изоБРетениям и отнРытиям

ПРи гкнт сссР

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4283989/24-28 (22) 08,06,87 (46) 23,04.89. Бюл. № 15 (71) Гродненский государственный университет (72) Г.А.Кузнецов, Е.Л.Петровский, Н.М.Спорник и В.В.Яничкин (53) 531.715.1 (088.8) (56) Оптико-механическая промышленность, 197 1 № 8, с. 14. (57) Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для изучения статических и динамических фазовых объектов интерферометрическими методами. Цель иэобретенияувеличение производительности путем получения нескольких интерферограмм с различным направлением и шириной полос за одну экспозицию. Объект 7 исследования помещается в параллельный пучок света, сформированный коллиматором 2 от источника 1. Объектив

3 направляет пучок на светоделитель.ный элемент 4, выполненный в виде и пар дифракционных решеток с различным периодом решеток в паре и углом пересечения решеток в каждой паре.

Диафрагма 5 отфильтровывает первые порядки дифракции от решеток, которые формируют в плоскости регистрации 6 и интерференционных картин, расположенных по окружности относи- @ тельно оси прибора. 2 ил.

1474453 где

Лii . h

tg PQP =arcsin --—

cl л

tg PQP =arcsin — ——

Э! формулой (f-а) Z 2

+1=1z

cosy = — — — — — —21„1

5Ь или

2) + V sin (g/2) cosoE =

Изобретение относится к измерительной. технике и предназначено для изучения статических и динамических фазовых объектов интерферометрическими методами.

Цель изобретения — увеличение производительности путем получения нескольких интерферограмм с различным направлениеми;шириной полос за одну экспозицию.

На фиг.1 изображена схема формирования интерференционного поля парой дифракцианных: решеток с периодами d, и и и углом пересечения штрихов решетки ; на фиг.2 — оптическая схема интерферометра сдвига, Интерферометр сдвига содержит, (фиг.2) последовательно установленные осветительную систему, включаю- 2р щую источник 1 излучения и коллиматор 2, и приемную систему, содержащую объектив 3, светоделительный элемент 4, выполненный в виде и пар дифракционных решеток, имеющих раз- 25 ный период в паре и установленных так, что штрихи решеток в каждой паре пересекаются под разными углами, диафрагму 5, имеющую и радиальных щелей, и плоскости 6 регистрации, 30

Интерферометр работает следующим образом.

Коллиматор 2 формирует от источника 1 параллельный пучок, в который помещается объект 7. Объектив 3 направляет пучок на светоделительный элемент 4, размещенный перед фокальной плоскостью объектива 3. На каждой из решеток, записанных нелинейно для повышения дифракционной эффективнос- 40 ти, возникает большое число дифракционных максимумов различных порядков. Диафрагма 5 отфильтровывает первые порядки дифракции от решеток, Наклон полос на интерферограммах определяется по формуле

Формула изобретения

Интерферометр сдвига, содержащий последовательно установленные освекоторые формируют в плоскости Ь регистрации п интерференционных картин, расположенных по окружности относительно оси прибора.

Период интерференционных полос Л сдвиговой интерферограммы определяется формулой

1 где — длина волны света;

1 — величина суммарного сдвига в фокальной плоскости объектива 3;

Ь вЂ” расстояние от фокуса объектива 3 до плоскости регистрации.

Суммарный сдвиг 1 выражается через поворотный сдвиг 1,(фиг.1). и через сдвиг за счет разных периодов 1 (фиг.2):

II I

1 =PP -PP =(f-a)(tg PQP

Л !

tg PQP ), Л II Л

Обозначив tg PQP -tg PQP =, получают следующее выражение для периода полос тительную систему, включающую источник излучения и коллиматор, и приемную систему, содержащую объектив и светоделительный элемент, о т л и—

1474453

Составитель M.Ìèíèí

Техред Л.Олийнык

Корректор Л.Патай

Редактор M. Бланар

Заказ 1.881/37

Тираж 683

Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113935, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно- издательский комбинат "Патент", r.Óæãoðîä, ул. Гагарина, 101 ч а ю шийся тем, что, с целью увеличения производительности путем получения нескольких интерферограмм с различным направлением и шириной полос в результате одной экспозиции, интерферометр снабжен диафрагмой с и радиальными щелями, установленной в фокальной плоскости объектива, а светоделительный элемент выполнен в виде п пар дифракционных решеток, 5,имеющих разный период в паре и установленных так, что штрихи решеток в каждой паре пересекаются под разными углами.