Спекл-интерферометр

 

Изобретение относится к устройствам для интерференционных измерений и предназначено для исследования перемещений поверхности диффузно отражающих объектов в различных точках. Целью изобретения является повышение чувствительности измерения перемещений в отдельной точке объекта за счет увеличения эффективной величины апертурного угла. Для этого спекл-интерферометр снабжено двумя зеркалами 7 и 8, переотражающими излучение от точки 11 объекта 10, не попадающее непосредственно на фокусирующую линзу 1 через отверстия 3 и 4 диафрагмы 2 на фоторегистратор 9. Другая часть излучения (диффузно рассеянным объектом 10) задерживается непрозрачной частью диафрагмы 2 и боковыми стенками цилиндрических бленд 5 и 6. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

1 5 А1 (1% (И) (11 4 0 01 В 9!021

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21 ) 4308747/? 4-28 (22) 24,09,87 (46) 07.04.89. Бюл. 1(- 13 (71) Челябинский политехнический институт им. Ленинского комсомола (72) С.Б.Артеменко, С.А.Плохов, Г.П.Пызин и В.Г.Речкалов (53) 531.715,1 (088.8) (56) ЖТФ, 1973, М 5, с, 1104-1106, (54) СПЕКЛ-ИНТЕРФЕРОИЕТР (57) Изобретение относится к устройствам для интерференционных измерений и предназначено для исследования перемещений поверхности диффузно отражающих объектов в различных точках.

Целью изобретения является повышение чувствительности измерения перемещений в отдельной точке объекта за счет увеличения эффективной величины апертурного угла, Для этого спеклинтерферометр снабжен двумя зеркалами 7 и 8, переотражаюшими излучение от точки 11 объекта 10, не попадающее непосредственно на фокусирующую линзу 1, через отверстия 3 и 4 диафрагмы 2 на фоторегистратор 9. Другая часть излучения (диффузно рассеянного объектом 10) задерживается непрозрачной частью диафрагмы 2 и боковыми стенками цилиндрических бленд

5 и 6. 1 ил, 1 471065

Изобретение относится к устройствам для интерференционных измерений и предназначено для исследования перемещений поверхности диффуэно отражающих объектов в отдельных точках, Целью изобретения является повышение чувствительности измерения перемещений в отдельной точке объекта, находящейся на оси интерферометра за 10 счет увеличения эффективной величины апертурного угла, На ч ер теже предс тавлена схема сп екл-инт ерфер ом етра.

Интерферометр содержйт источник 15 когерентного излучения и систему освещения объекта (не показаны),фокусирующую линзу 1, диафрагму 2 с двумя симметрично расположе*ными относительно оси интерферометра отверс- 20 тиями 3 и 4, выполненными с цилиндрическими блендами 5 и 6, и два зеркала 7 и 8, размещенные в плоскости расположения оптической оси и отверстий 3 и 4 и ориентированные так, 25 что нормали к их поверхностям совпадают с биссектрисами углов между нап- равлениями от зеркал 7 и 8 на точку с повышенной чувствительностью, расположенную на оси и от зеркал 7 и 8 30 на отверстия 3 и 4 диафрагмы 2 соответственно, и фоторегистратор 9, на который линза 1 фокусирует излуче-, ние, прошедшее через отверстия 3 и

4; позицией 10 обозначен исследуемый объект, для точки 11 которого интерФерометр обладает повышенной чувствительностью, а позицией 12 - освещающий объект 11 пучок когерентного излучения. 40

Спекл-интерферометр работает следующим образом, Система освещения обеспечивает освещение в направлении окрестности 45 исследуемой точки 11 объекта 10, расположенной на месте пересечения объекта с оптической осью интерферометра, Так как исследуемая окрестность мала, то возможно использование нерасширенного лазерного пучка.

Часть излучения, рассеянного объектом, попадает на зеркала 7 и 8 и направляется нми через отверстия 3 и 4 с блендами 5 и 6 на линзу 1. Линзой пучки Фокусируются в плоскости регистратора 9 и образуют там интерфе.— ренционную картину, Другая часть излучения, диффуэно рассеянного объектом 10, задерживается непрозрачной частью диафрагмы 2 и боковыми поверхностями бленд 5 и 6 °

Уравнение, описыв ающее порядок интерференционной полосы через величину смещения и геометрию схемы, имеет вид

«+ЬК = 2nN ф где р, — вектор смещения точки объекта;

Д K в — раз нос ть в ек тор ов, опр еделяющих направление на отверстия 3 и 4 диафрагмы 2.

Из указанного выражения вытекает, что обеспечивается повышение чувствительности спекл-интерферометра за счет увеличения числовой апертуры и тем самым увеличение 6К Применяемые линзы имеют соотношение диаметра и фокуса не более 1:1,5,что ограничивает угол между оптической осью и направлениями на отверстия.

Дальнейшее увеличение апертурного угла по всему полю невозможно. Однако предлагаемый интерферометр позволяет для некоторых точек увеличивать в пределе эффективный апертурный угол до величины % за счет введения дополнительных зеркал 7 и 8, Формула из обретения

Спекл-интерферометр, содержащий источник когерентного излучения,систему освещения объекта и расположенные последовательно по оси интерФерометра Фокусирующую линзу, диафрагму с двумя отверстиями, ориентированную так, что отверстия расположены симметрично относительно оси интерферометра, и фоторегистратор, о т л н ч а ю щ и.й с я тем, что, с целью повышения чувствительности в фиксированной точке, расположенной на оси интерферометра, он снабжен двумя плоскими зеркалами, расположенными симметрично относительно оси интерферометра и ориентированными так, что нормали их поверхности расположены в плоскости оптической оси и отверстий диафрагмы и совпадают с биссектрисой угла между направлениями от зеркал на Фиксированную точку и на соответствующие отверстия диафрагмы, а отверстия диафрагмы вы,полнены с цилиндрическими блендами, ориентированными так, что нх оси совпадают с направлениями от зеркал на отверстия.