Устройство дефектоскопического контроля планарных структур

 

Устройство к технологии радиоаппаратостроения, а именно к устройствам для обнаружения дефектов поверхностей ,в частности, к аппаратуре неразрушающего контроля качества планарных структур, к которым относятся незагерметизированные дискретные и интегральные полупроводниковые структуры, фотошаблоны. Позволяет выявлять аномалии и дефекты топологии и может быть использовано при межоперационном автоматическом контроле. Целью изобретения является уменьшение времени контроля правильных 2N-угольников за счет исключения операции базирования. В устройство, содержащее координатный стол, оптическую систему и телевизионный датчик, синхронизатор, пороговый элемент, видеоконтрольное устройство, блок формирования "электронного окна", введены блок определения спектра изображения, блок привязки спектра изображения, блок формирования адресов, блок запоминания спектра изображения, блок анализа спектра изображения и блок управления, что позволяет эффективно решить поставленную задачу. Устройство может найти применение в приборостроительных отраслях промышленности и отраслях, связанных с точным машиностроением. 4 з.п.ф-лы, 10 ил.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН (191 (И) (gg) 4 С 01 N 21/27

1 .-- 11,1".Н3 р С

1о:.. (Ç

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕ ГЕНИЯ

М АВТОРСКОМУ СВИ4ЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТ1=Т

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТ1(Р)ЫТИЯМ

ПРИ ГННТ СССР (2 l ) 4348900/24-25 (22) 23.12.87 (46) 07.08.89. Бюл. !(29 (72) В.А.Лопухин, Ю.З.Бубнов, Д.К.И1елест, А.С.Гурылев, К.И.Колляков, Г.Н.Явнов и В.К.Румас (53) 621.391.3(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

В 1381731, кл. Н 04 N 7/18, 1985. (54) УСТРОЙСТВО ДЕФЕКТОСКОПИЧЕСКОГО

КОНТРОЛЯ ПЛАНАРНЫХ СТРУКТУР. (57) Изобретение относится к технологии радиоаппаратостроения, а имен" но к устройствам для обнаружения дефектов поверхностей, в частности к аппаратуре неразрушающего контроля качества планарных структур, к которым относятся незагерметиэированные дискретные и интегральные полупроводниковые структуры, фотошаблоны, позволяет выявлять аномалии и дефекты топологии и может быть использовано:

Изобретение относится к технологии радиоаппаратостроения, а именно к устройствам для обнаружения дефектов

4 поверхностей, в частности к аппаратуре неразрушающего контроля качества планарных структур, к которым относятся незагерметнзированные дискрет,ные и интегральные полупроводниковые структуры, толстопленочные платы гибридных интегральных схем, фотошаблоны, предназначено для выявления и оценки аномалий и дефектов топологии и может быть использовано при межоперационном автоматическом контроле.

Цель изобретения — уменьшение времени контроля правильных 2п-угольпри межоперационном автоматическом к онтроле. Целью изобретения явля ется уменьшение времени контроля правильных 2п-угольников эа счет исключения операции базирования. В устройство, содержащее координатный стол, оптическую систему и телевизионный датчик, синхронизатор, пороговый элемент, видеоконтрольное устройство, блок формирования "электронного окна, введены . блок определения спектра изображения, блок привязки спектра изображения, блок формирования адресов, блок запоминания спектра иэображения, блок анализа спектра изображения и блок управления, что позволяет эффективно решить поставленную задачу. Устройство может найти применение в приборостроительных отраслях промышленности и отраслях, связанных с точным машиностроением.

4 s.ï.ô-лы, 10 ил. ников за счет исключения операции ба- вМ эирования.

На фиг.1 представлена структурная схема предлагаемого устройства; на фиг ° 2 — функциональная схема генератора тактовых импульсов; на фиг.3 функциональная схема блока формирования "электронного окна"; на фиг.4— функциональная схема блока определения спектра изображения; на фиг.5— функциональная схема блока привязки спектра изображения, на фиг.6 — функциональная схема блока формирования адресов; на фиг.7 — функциональная схема блока запоминания спектра изображения; на фиг.8 " функциональная

3 1499195 схема блока анализа спектра иэображения; иа фиг.9 — функциональная схема блока управления; на фиг.10— принцип определения симметричности горизонтального спектра изображения планарной структуры.

Устройство дефектоскопического контроля планарных структур (фиг,1) содержит оптически соединенные коор- 10 динатный стол 1, оптическую систему

2 и телевизионный датчик 3, причем все они находятся на одной оптической оси. Выход телевизионного датчика 3 подключен к входам видеоконт- 15 рольного устройства 4 и порогового элемента 5. Выходы кадровой и строчной синхронизации синхронизатора 6 подключены к соответствующим входам генератора 7 тактовых импульсов и те- 20 левизионного датчика 3. Входы блока

8 формирования "электронного окна" соединены соответственно с выходами порогового элемента 5 и генератора 7 тактовых импульсов. Первый и второй выходы блока 8 формирования "электронного окна" подключены соответственно к первому и второму входам блока 9 определения спектра изображения, а к третьему входу — выход генератора 30

7 тактовых импульсов . К первому и второму входам блока 10 привязки спектра изображения подключены соответственно второй и третий выходы блока 8 формирования электронного окна, а первый 35 выход его подключен к входу блока 11 формирования адресов. Управляющий выход блока 11 формирования адресов является первым выходом устройства, а второй выход соединен с адресным вхо- 4б дом блока 12 запоминания спектра изображения, информационный вход которого соединен с выходом блока 9 определения спектра изображения. Выход блока 12 запоминания спектра иэобра- 45 жения подключен к входу блока 13 анализа спектра, первый и второй выходы

его соединены с вторым и третьим входами блока 11 формирования адресов, а третий выход является вторым выхо-50 дом устройства и одновременно подключен к третьему входу блока 14 управ,ления. Первый, второй и с четвертого по седьмой входы блока 14 управления соединены соответственно с вторым вы-55 ходом блока 10 привязки спектра изображения, с первым выходом блока 11 формирования адресов, с выходами кадровой и строчной синхронизации синхрониэатора 6, с первым входом устройства и с первым выходом блока 13 анализа спектра иэображения. Выходы блока 14 управления с первого по пятый подключены соответственно к четвертому и пятому входам блока 9 определения спектра изображения, к третьему и четвертому входам блока

10, к четвертому и шестому входам блока 11 формирования адресов.

Координатный стол 1 предназначен для точного позиционирования контролируемой планарной структуры в поле зрения телевизионного датчика 3.

Оптическая система 2 служит для создания оптической связи между координатным столом I с находящимся на нем объектом контроля (планарной структурой) и телевизионным датчиком 3.

Телевизионный датчик 3 предназначен для создания аналогового электрического видеосигнала, соответствующего иэображению контролируемой планарной структуры.

Видеоконтрольное устройство 4 предназначено для визуализации контролируемой планарной структуры.

Пороговый элемент 5 служит для преобразования аналогового электрического видеосигнала, вырабатываемого телевизионным датчиком 3, в бинарный цифровой сигнал, уровни логических

11 1I 1) 11

0 и 1 которого соответствуют напряжениям "0" и "1" для интегральных микросхем.

Синхронизатор 6 предназначен для выработки сигналов кадровой и строчной синхронизации, синхронизирующих работу телевизионного датчика 3 и всего устройства в целом.

Генератор 7 тактовых импульсов (фиг.2) служит для генерации импульсов, следующих с частотой 10 МГц и предназначенных для квантования видеосигнала по времени и синхронизации работы всего устройства в промежутке времени между строчными импульсами синхронизации. Генератор 7 тактовых импульсов представляет собой релаксационный генератор, содержащий элемент ИЛИ 15, входы которого являются входами кадровой и строчной син-, хронизации, а выход подключен к первому входу элемента И-НЕ 16 выход ! которого соединен с входом инвертора

17. Выход последнего является выхо14991 дом генератора 7 тактовых импульсов.

Между вторым входом элемента И-НЕ 16 и его выходом включен резистор 18, а между этим же входом элемента И-НЕ 16 и выходом инвертора 17 подключен конденсатор 19.

Блок 8 формирования "электронного окна (фиг.3) предназначен для задержки видеосигнала на время длительности 10 строки, равное 64 мкс, и задержки видеосигнала на время длительности такта, равное 100 нс, и содержит элемент

20 задержки на время 64 мкс, выход которого является первым входом и, 15 одновременно третьим выходом блока 8 формирования электронного окна". Выход элемента задержки является вторым выходом блока 8 формирования "электронного окна" и одновременно подклю- 20 чен к D-входу D-триггера 21, С-вход которого подключен к второму входу, а выход — к первому выходу блока 8 формирования электронного окна".

Блок 9 определения спектра изображения (фиг.4) служит для выработки двоичного кода горизонтального спектра, т.е. в каждой строке блок определяет число элементов разложения изображения объекта. Блок 9 определения 30 спектра изображения содержит элемент

ИСКЛЮЧАЮЩЕЕ ИЛИ 22, входы которого являются первым и вторым входами блока, а выход подключен к С-входу JKтриггера. К-вход JK-триггера 23 подключен к источнику питания, J-вход— к пятому входу блока 9 определения спектра, а прямой выход — к первому входу элемента И 24, второй вход которого является третьим входом блока, 40 а выход соединен с первым входом двоичного счетчика 25. Второй вход счетчика является четвертым входом блока 9 определения спектра иэображения, а выходы соединены соответствен- 45 но с первыми входами элемента И 26 первой группы, Инверсный выход JKтриггера 23 подключен к S-входу RSтриггера 27, R-вход которого соединен с третьим входом блока, а выход — с gp вторыми входами элементов И 26 первой группы, выход которой является выходом всего блока.

Блок 10 привязки спектра изображения (фиг.5) служит для определения размера изображения планарной структурМ по вертикали и в соответствии с этим определения моментов включения и выключения блока 11 формирования

95 6 адресов (фиг.6) для запоминания спектра. Блок 10 привязки спектра содержит элемент ИСКЛЮЧАЮЩЕЕ ИЛИ 28, входы которого являются первым и вторым; входами блока, а выход подключен к

С-входу JK-триггера 29. К-вход,JKтриггера 29 подключен к источнику питания, J-вход является третьим входом блока, выход подключен ко вторым входам элемента И 30 и D-триггера 31, ко вторым входам которых подключен четвертый вход блока, а выходы являются соответственно первым и вторым выхо" дами блока 10 привязки спектра.

Блок 11 формирования адресов (фиг.б) предназначен для формирования адресных кодов, по которым происходят запись и считывание элементов спектра из блока запоминания спектра (фиг.7).

Блок содержит реверсивный счетчик 32. и прямой счетчик 33, причем первый вход реверсивного счетчика 32 является первым входом блока, а вторые входы обоих счетчиков соединены с шестым входом блока. Выходы реверсивно-. го счетчика 32 соединены соответственно со вторыми входами элементов

И 34 первой группы, первые входы которых объединены и являются пятью входом блока, а выходы соответственно подключены к первым входам группы элементов ИЛИ 35 ° Второй вход блока соединен с первым входом первого элемента И 36, выход которого соединен с первым входом RS-триггера 37. Второй вход RS-триггера 37 соединен с шестым входом блока, а выход подключен к первому входу элемента И 38, второй вход которого является третьим входом блока. Выход второго элемента

И 38 подключен к первому входу третьего элемента И 39. Четвертый вход блока соединен со вторыми входами первого 36 и третьего 39 элементов И.

Выход третьего элемента И 39 подключен к третьему входу реверсивного счетчика 32. К входам элементов И 40 второй группы подключены соответственно выходы прямого счетчика 33 и второй вход блока II, а выходы соединены соответственно со вторыми входами группы элементов ИЛИ 35, выход которой является вторым выходом блока

11. Первым выходом блока Il является выход реверсивного счетчика 32.

Блок 12 запоминания спектра (фиг.7) предназначен для запоминания элементов горизонтального спектра в соответст149919 вии с адресами, поступающими из блока

11 формирования адресов (фиг.б). Блок запоминания спектра представляет собой ряд параллельно включенных оперативных запоминающих устройств 41 (ОЗУ), причем адресные сигналы с блока 11 формирования адресов н управляющий сигнал с блока 14 управления (фиг.9) поступают соответственно од- 10 новременно на адресные и управляющие входы всех 03У 41, а на их информационные входы поступают параллельные коды с блока 9 определения спектра изображения. Информационные выходы 15

ОЗУ 41 являются выходами блока.

Блок 13 анализа спектра (фиг.8) производит попарное сравнение элементов спектра и выдает информацию о симметричности контролируемой струк- 20 туры. Вход блока 13 анализа спектра подключен к первым входам элементов

И 42 и 43 первой и второй групп. Выходы элементов И 42 первой группы .. подключены к S-входам группы RS-триг- 25 геров 44 ° выкоды которой и выходы элементов И 43 второй группы объединены группой элементов ИСКЛЮЧА16КЕЕ ИЛИ инверсное 45. Выкоды элементов этой группы объединены многовходовым эле- 30 ментом И 46. Инверсный выход многовходового элемента И 46 является третьим выходом блока. Дополнительно прямой и инверсный выходы многовходового элекента И 46 объединены элемен- 35 том ИЛИ 47, выход которого соединен с К-входаин группы КЗ-триггеров 44.

Выходы элементов И 42 первой группы дополнительно объединены многовходо" вым элементом ИЛИ 48, прямой и инвер- 40 сный выходы которого являются соответственно вторым и первым выходами блока и подключены соответственно ко вторым входам элементов И 42 и 43 первой и второй групп. 45

Блок 14 управления (фиг.9), предназначеи для обеспечения правильных режимов работы остальных блоков устройства. Блок 14 управления содержит первый 49 и второй 50 элементы И, пер-50 вые входы которых являются соответственно пятым и четвертым входами блока, а вторые входы соединены с шестым входом блока. Выход первого элемента

И 49 является первым выходом блока и подключен к первому входу третьего элемента И 51, выход которого являет,ся третьим выходом блока. Второй и третий входы блока объединяются первым

5 8 ( элементом ИЛИ 52, выход которого является пятым выходом блока 14 управления и одновременно подключен к Sвходу RS-триггера 53. Выход второго элемента И 50 подключен к первому входу счетчика 54. Первый выход счетчика

54 подключен к R -входу RS-триггера

53, является вторым выходом блока, а второй выход счетчика 54 соединен с первым входом четвертого элемента И

55 и замкнут на второй вход счетчика

54, Второй вход четвертого элемента

И 55 является седьмым входом блока, а выход соединен с первым входом второго элемента ИЛИ 56, выход которого является четвертым выходом блока, Инверсный выход RS-триггера 53 соединен со вторым входом второго элемента И 50.

Устройство работает следующим образом, Контролируемая планарная структура устанавливается нв координатный стол 1 и ее изображение, увеличенное оптической системой 2, передается на мишень видикона телевизионного датчика 3, который развертывает полученное изображение в последовательный стандартный электрический сигнал. Работа телевизионного датчика 3 синхронизируется строчными и кадровыми синхроимпульсами от синхронизатора 6. С выхода телевизионного датчика 3 видеосигнал поступает на вход порогового элемента 5 и видеоконтрольного устройства 4. Пороговый элемент 5 осуществляет двухуровневое квантование видеосигнала по амплитуде и привязку значений выходного сигнала к логическим значениям "0" и "1". Видеокбнтрольное устройство 4 отображает иэображение планарной структуры иа экране, С выхода порогового элемента 5 видеосигнал поступает на вход блока 8 формирования "электронного окна", т.е. на вход элемента 20 задержки, на котором он задерживается нв время длительности строки, а затем поступает на вход D-триггера 21, на котором он задерживается на время длительности такта. Таким образом об-. разуется "электронное окно" размером

2х2 элемента разложения, имеющее форму уголка, которое зв время кадра поСледовательно пробегает все элементы разложения. Работа Р-триггера обеспечивается генератором 7 тактовых импульсов, который синхронизируется

1499195

10

25

35

45

50 кадровыми и строчными синхроимпульсами по соответствующим входам. При . этом синхроимпульсы подаются нв два входа элемента ИЛИ 15, где они смешиваются и по первому входу стробируют собственно генератор, собранный на двухвходовом элементе И-НЕ 16, инверторе 17, резисторе 18 и конденсаторе

l9, величины параметров которых определяют рабочую частоту генератора 7 тактовых импульсов °

Сигнал разрешения измерения, поступающий на устройство, открывает входные элементы И 49 и 50, через ко- 15 торые в блок 14 управления проходят кадровые и строчные синхроимпульсы.

Кадровые синхроимпульсы поступают на счетчик 54, работающий в режиме делителя нв два. Таким образом, работа всего устройства распадается на два кадра.

В первом кадре на выходе счетчика

54 присутствует сигнал логической

1 единицы (на выходе "I"), на выходе

"2" — логический нуль, Сигнал с выхода счетчика 54 действует на J-входы

JK-триггеров 23 и 29 блока 9 определения спектра иэображения и блока 10 привязки спектра. Поскольку на К-входах этих триггеров постоянно присутствует сигнал логической единицы, то

JK-триггеры работают как обычные 1 триггеры.

Как только s вертикальных элементах "электронного окна" появляется сочетание "0-1", свидетельствующее о том, что с данной строки в кадре начинается изображение объекта, на выходе элемента ИСКЛЮЧАЮЩЕЕ ИЛИ 28 появляется сигнал логической единицы, который переводит JK-триггер в закрытое состояние. JK-триггер 29 открывает элементы И 30, и на вход ревер.сивного счетчика 32 начинают поступать строчные синхроимпульсы. D-триггер 31 стробирует первую группу элементов И 34, которая пропускает выходной код с реверсивного счетчика, 32 через группу элементов ИЛИ 35 на адресные входы ОЗУ 41 блока 12 запоминания спектра. В течение следующей строки, как только в гориэонтапьных элементах окна появляется сочетание

"0-1", то аналогично тому, как это происходит в блоке 10 привязки спект" ра, тактовые импульсы с генератора 7 тактовых импульсов начинают поступать на вход двоичного .счетчика 25. Таким образом происходит подсчет числа элементов объекта в данной строке.

В момент, когда кончается изображение объекта в данной строке,,JKтриггер 23 переходит в выключенное состояние, что прерывает стробирование элемента,И 24 и на выходе счетчи-. ка 25 фиксируется код, соответствующий числу элементов разложения иэоб« ражения планарной структуры в данной строке. Одновременно положительный перепад с инверсного выхода JK-триггера 23 включает RS-триггер 27, который стробирует выходную группу элементов И 26, и на информационные входы ОЗУ 41 блока !2 запоминания спектра изображения подается двоичный код с выхода счетчика. Поскольку ОЗУ 4) в соответствии с сигналом из блока )4 управления работают в режиме записи, то по адресу, соответствующему номеру данной строки в изображении объекта, в него записывается число, соответствующее числу элементов разложения в иэображеиии объекта в строке.

Аналогично, при появлении в вертикальных столбцах "электронного окна" сочетаыия "1-0", Ж-триггер 29 выключается и перестает стробировать элемент И 30. На выходе реверсивного счетчика 32 фиксируется код, соответствующий номеру последней строки изображения объекта. Чтобы избежать записи нулевой информации по последнему адресу при отключении выходной группы элементов И 26 от информационных входов ОЗУ 4), D-триггер 3! после последнего счетного, строчного синхроимпульса перестает стробировать первую группу элементов И 34.и перекрывает адресные входы ОЗУ 41. Таким образом, носле первого кадра в блоке

12 запоминания спектра оказывается записан весь горизонтальный спектр иэображения контролируемой структуры.

Во втором кадре происходит собст" венно контроль изображения планарной структуры. Контроль основан на том, что для бездефектной 2п-угольной структуры независимо от ее разворота относительно строчной развертки горизонтальный спектр полностью симметричен, а если в контролируемой планарной структуре имеется некий де-.". фект, то в горизонтальном спектре появляется провал или выброс и он становится несимметричным (фиг.10).

14991

Во втором кадре на первом выходе счетчика 54 появляется сигнал логического нуля, который, воздействует на 7-входы JK-триггеров 23 и 29, переводит их в пассивное состояние и этим отключает блок 8 формирования электронного окна от остальных бло.ков устройства. Во время длительности первой строки на адресных входах ОЗУ 10

41 присутствует код с выходов реверсивного счетчика 32, соответствующий последней строке разложения изображения объекта. Код проходит через первую группу элементов И 34 благо- 16 даря тому, что на входах многовходового элемента ИЛИ 48 блока 13 анализа спектра сигналы отсутствуют и на его инверсном выходе присутствует сигнал логической единицы. Поскольку 20

ОЗУ 41 в данном кадре сигналом из блока 14 управления переводятся в режим считывания, то код числа элементов в данной строке, считанный иэ блока 12 запоминания спектра иэобра- 25 жения, проходит через первую группу элементов И 42, записывается в RSтриггерах 44 и воздействует на входы многовходового элемента ИЛИ 48 блока

13 анализа, спектра изображения, что 30 приводит к прекращению, стробирования элементов И 34 первой группы в блоке

1Т формирования адресов и первой группы элементов И 42 в блоке 13 анализа спектра изображения и к стробированию элемента И 36 и второй группы

I элементов И 40 в блоке 11 формирования адресов и второй группы элементов

И 43 в блоке 13 анализа спектра. Следующий строчной синхроимпульс прохо- М дит через элемент И 36, включает RSтриггер 37 и воздействует на счетный

1 вход прямого счетчика 33, откуда код, соответствующий номеру синхроимпульса, через вторую группу элементов И 40 и 45 группу элементов ИЛИ 35 проходит на блок 13 анализа спектра и через вторую группу элементов И 43 поступает

I на вторые входы элементов ИСКЛЮЧАЮЩЕЕ

ИЛИ инверсное 45, где происходит сравнение данного кода с кодом, хранящимся в RS-триггерах 44. Если коды не равны, то на инверсном выходе многовходового элемента И 46 появляется сигнал "1". С помощью элемента ИЛИ 47 происходит обнуление RS-триггеров 44, что подготавливает блок 13 анализа спектра к следующему циклу сравнения

12 (к сравнению следующей пары элементов спектра).

Поскольку блок 13 анализа спекТра изображения возвращен в исходное состояние, то очередной строчный синхроимпульс через третий элемент И 39 проходит на вход вычитания реверсивного счетчика 32. Таким образом, в блоке 13 анализа спектра изображения происходит попарное сравнение элементов спектра по принципу "первый — последний, второй — предпоследний и т.д. Если спектр имеет четное число элементов, то сравниваются попарно все элементы спектра, а если в спектре нечетное число элементов, то центральный элемент спектра сравнивается сам с собой, что не влияет на результат измерения. Если все элементы в спектре попарно равны, то как только реверсивный счетчик 32 выработает сигнал < О", что свидетельству-. ет об анализе последних элементов в спектре, то делается вывод о симметричности спектра, т.е. о бездефектности планарной структуры.

Как только вырабатывается сигнал либо о симметричности, либо о несимметричности спектра, то выработанный сигнал обнуляет прямой 33 и реверсивный 32 счетчики, а также RS-триггер

37 в блоке 11 формирования адресов.

Одновременно этот же сигнал включает

RS-триггер 53 в блоке !4 управления.

Сигнал с инверсного выхода RS-триггера 53 закрывает третий элемент И 51, в результате чего строчные синхроимпульсы перестают поступать на входы счетчиков 32 и 33. Этот запрет снимается обнулением RS-триггера 53 при следующем измерении сигналов с первого выхода счетчика 54.

Предлагаемое устройство обеспечивает воэможность контроля не только четырехугольных, но и более сложных

2п-угольных планарных структур, а также позволяет исключить предварительное базирование планарной структуры на координатном столе, является более универсальным, а процесс контроля становится менее трудоемким.

Формула изобретения

l. Устройство дефектоскопического контроля планарных структур, содержащее оптически соединенные и расположенные на одной оптической оси ко13

14

l499I95 ординатный стол, оптическую систему и телевизионный датчик, входы строчной и кадровой синхронизации которого подключены к соответствующим выходам синхронизатора, выход телевизионного датчика подключен к входу порогового элемента и видеоконтрольного устройства, выход порогового элемента соединен с первым входом блока формирования "электронного окна", генератор тактовых импульсов, первый и второй входы которого соединены соответственно с кадровым и строчным выходами синхронизатора, отличающееся тем,что,с целью умен ьш ения в р еме ни к он тр оля правильных 2п-угольников .за счет исключения операции базирования, в устройство введены блок определения спектра изображения, блок привязки спектра изображения, блок формирования адресов, блок запоминания спектра изображения, блок анализа спектра изображения и блок управления, причем выход генератора тактовых импульсов подключен к второму входу блока формирования "электронного окна", первый и второй выходы которого соединены соответственно с первым и вторым входами блока определения спектра изображения, третий, четвертый и пятый входы которого соединены соответственно с выходом генератора тактовых импульсов, с первым и вторым выходами блока управления, информационный выход блока определения спектра изображения соединен с информационным входом блока запоминания спектра изображения, первый и второй входы блока привязки спектра изображения соединены соответственно с вторым и третьим выходами блока формирования электронного окна, а третий и четвертый— с вторым и третьим выходами блока управления, первый выход блока привязки спектра изображения соединен с первым входом блока формирования адресов, а второй выход — с первым входом блока управления, второй и третий входы блока формирования адресов соединены соответственно с вторым и первым выходами блока анализа спектра изображения, а четвертый, пятый и шестой входы — соответственно с третьим, четвертым и пятым выходами блока упI 1 равления, управляющий выход блока формирования адресов соединен с вторым входом блока управления и являет5

10 ся первым выходом устройства, адрес1 ный выход блока формирования адресов подключен к адресному входу блока запоминания спектра изображения, управляющий вход которого соединен с вторым выходом блока управления, а информационный выход — к входу блока анализа спектра изображения, третий выход которого подключен к третьему входу блока управления и является вторым выходом устройства, четвертый и пятый входы блока управления подключены соответственно к кадровому и строчному выходам синхронизатора, шестой вход блока управления подключен к входу устройства, а седьмой вход — к первому выходу блока анализа .спектра изображения °

2. Устройство по п.I, о т л и ч а— ю щ е е с я тем, что блок определения спектра изображения содержит элемент ИСКЛЮЧАЮЩЕЕ ИЛИ, первый и вто25 рой входы которого являются первым и вторым входами блока определения спектра изображения, JK-триггер, Свход которого соединен с выходом элемента ИСКЛЮЧАЮЩЕЕ ИЛИ, К-вход подключен к источнику питания, а J-вход является пятым входом блока определения спектра изображения, элемент И, первый вход которого соединен с прямым выходом JK-триггера, а второй вход является третьим входом блока определения спектра изображения, двоичный счетчик, первый вход которого соединен с выходом элемента И, второй вход является четвертым входом блока определения спектра иэображения, а информационные выходы подключены к первым входам группы элементов И, RS-триггер, первый вход которого соединен с инверсным выходом JK-триггера, второй .вход — с третьим входом блока определения спектра иэображения, а выход— с вторыми входами группы элементов И, выход которых является выходом блока определения спектра иэображения.

3. Устройство по п. I, о тл и ч а ю щ е ес я тем, что, блок привязки спектра изображения содержит элемент ИСКЛЮЧАЮЩЕЕ

ИЛИ, первый и второй входы которого являются первым и вторым входами блока привязки спектра изображения, JKтриггер, С-вход которого подключен к выходу элемента ИСКЛЮЧАЮЩЕЕ ИЛИ, Квход соединен с источником питания, а J-вход является третьим входом бло1499195

10

45 ка привязки спектра изображения, элемент И, первый вход которого является четвертым входом блока привязки спектра иэображения, второй вход соединен с выходом JK-триггера, а выход является первым выходом блока привязки спектра иэображения, D-триггер, первый и второй входы которого соединены соответственно с первым и вторым входами элемента И, а выход является вторым выходом блока привязки спектра изображения, 4. Устройство по п.1, о т л и ч аю щ е е с я тем, что блок формирования адресов. содержит реверсивный счетчик, первый и третий входы которого являются первым и шестым входами блока формирования адресов, второй выход является первым выходом блока формирования адресов, первую группу элементов И, первые входы которых соединены с пятым входом блока формирования адресов, а вторые входы подключены соответственно к информационным выходам реверсивного счетчика, группу элементов ИЛИ, первые входы которой соединены соответственно с выходами элементов И первой группы, первый элемент И, первый и второй входы которого соединены соответственно с вторым и четвертым входами блока формирования адресов, RS-триггер, первый вход которого подключен к выходу первого элемента И, а второй вход соединен с шестым входом блока формирования адресов, второй элемент И, первый вход которого соединен с выходом RS-триггера,. а второй вход является третьим входом блока формирования адресов, третий элемент

И, первый вход которого подключен к выходу второго элемента И, второй вход соединен с четвертым входом блока формирования адресов, а выход соединен с вторым входом реверсивного счетчйка, двоичный счетчик, первый вход которого соединен с выходом первого элемента И, а второй вход — с шестым входом блока формирования адресов, вторую группу элементов И, первые и вторые входы которых соединены соответственно с информационными выходами двоичного счетчика и с вторым входом блока формирования адресов, а выходы подключены соответственно к вторым входам группы элеменI тов ИЛИ, причем выходы группы элементов ИЛИ представляют собой адресный выход блока формирования адресов.

5. Устройство по п.1, о т л и ч аю щ е е с я тем, что блок анализа спектра изображения содержит первую и вторую группы элементов И, причем первые. входы элементов И обеих групп соединены с входом блока анализа спектра, группу RS-триггеров, первые входы которых подключены соответственно к выходам элементов И первой группы, группу элементов ИСКЛЮЧАНМЦЕЕ

ИЛИ инверсное, первые и вторые входы которых соединены соответственно с выходами RS-триггеров и элементов И второй группы, многовходовый элемент

И, имеющий прямой и инверсный выходы, причем входы его соединены соответственно с выходами элементов ИСКЛЮЧАЮЩЕЕ ИЛИ инверсное, а оба выхода многовходового элемента И объединены элементом ИЛИ и дополнительно инверсный выход многовходового элемента И является третьим выходом блока анализа спектра изображения, выход элемента ИЛИ соединен с вторыми входами RS-. триггеров, входы многовходового элемента ИЛИ подключены соответственно к выходам элементов И первой группы, прямой и инверсный вйходы многовходового элемента ИЛИ являются соответственно вторым и первым выходами блока анализа спектра изображения и соответственно подключены к вторым входам второй и первой групп элементов И.!

499195.1499195

3

9uz4

14991 95

l499) 95

l 4991 95

Составитель В. Скоробогатова

Редактор И.Горная Техред М.Дидык Корректор О.Ципле

Заказ 4682/40 Тираж 789 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г.Ужгород, ул. Гагарина, 101