Устройство для резки хрупких материалов

 

Изобретение относится к механической обработке твердых хрупких неметаллических материалов, а именно для разделения полупроводниковых материалов на пластины на станках многолезвийной резки, и может быть использовано в электронной промышленности. Целью изобретения является повышение производительности. Устройство содержит шарнирный параллелограмм 8, позволяющий подавать монокристаллу одновременно два движения: возвратно-поступательное и колебательное, что приводит к уменьшению длины линии контакта инструмента с монокристаллом. Это позволяет увеличить нагрузку на единичное алмазное зерно и, таким образом, повысить его диспергирующие возможности. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (51)4 В 28 D 5 02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А BTOPCKOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

f10 ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4352402/23-33 (22) 29.12.87 (46) 15.09.89. Вюл. Р 34 (71) Ворошиловградский машиностроительный институт (72) С.С.Ерошин, В.В.Гаврилюк, Г.И.Галигузов и В.П.Сорока (53) 679.89 1(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

У 937171, кл. В 28 D 5/04, 1981, Патент США Р 2907380, кл. В 28 D 5/04, 1980. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ РЕЗКИ ХРУПКИХ МАТЕРИАЛОВ (57) Изобретение относится к меха нической обработке твердых хрупких неметаллических материалов, а имен„„SU„„1507579 А 1 но для разделения полупроводниковых материалов на пластины на станках многолезвийной резки,и может бытьиспользовано в электронной промьпппенности. Цепью изобретения является повышение производительности. Устройство содержит шарнирный параллелограмм 8, позволяющий подавать монокристаллу одновременно два движения: возвратно-поступательное и колебательное, что приводит к уменьшению длины линии контакта инструмента с монокристаллом. Это позволяет увеличить нагрузку на единичное алмазное зерно и, таким образом, повысить его диспергирующие возможности. 1 ил.

150757

Формул а изобретения

Устройство для резки хрупких материалов, содержащее каретку со смонтированным на ней механизмом подачи слитка, слиткодержатель с приводом и многолезвийную пилу, о тл и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения производительности, механизм подачи слитка выполнен в виде шарнирного параллелограмма, на одной стороне которого консольно за-, креплен слиткодержатель, а противоположная сторона одним концом связана с приводом, а другим соединена с кареткой при помощи кулисы.

Составитель В.Мои

Техред М.Ходанич сеев

Редактор А.Маковская

Корректор С Некмар

Заказ 5500/ 19 Тираж 519 Под пи с н ое

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г.Ужгород, ул. Гагарина,101

Изобретение относится к механической обработке твердых хрупких неметаллических материалов, а именно к разделению полупроводниковых ма5 териалов на пластины на станках многолезвийной резки, и может быть использовано в электронной промышленности.

Целью изобретения является повышение производительности.

На чертеже представлена кинематическая схема устройства.

Устройство содержит привод возв-, ратно-поступательного перемещения слиткодержателя, состоящий из двигателя с редуктором 1, ходового винта 2, к которому при помощи гайки с шарниром 3 присоединен нижний (по схеме) конец кулисы 4. Верхний ко- 20 нец кулисы входит в ползун 5, соединенный шарниром с кареткой 6, которая может перемещаться по направляющей 7 и фиксироваться относительно »ее К кулисе 4 прикреплен шарнирный параллелограмм 8 ° На стороне параллелограмма, противоположной кулисе 4, укреплен слиткодержатель

9 с монокристаллом 10. Груз 11 не1 обходим для создания усилия прижима 3р монокристалла 10 к многолезвийной плите 12, которая установлена на упругих элементах 13 и соединена с вибратором 14.

Устройство работает следующим образом.

Привод возвратно-поступательного перемещения слиткодержателя с помощью шарнира 3 сообщает возвратно-поступательное движение нижнему (по схеме) концу кулисы 4, которая двигается относительно ползуна 5, при,соединенного шарниром к каретке

6, зафиксированной относительно направляющей 7. Кулиса 4 передает движение шарнирному параллелограмму 8, 45 который сообщает слиткодержателю 9 с прикрепленным к нему монокристаллом 10 возвратно-поступательное и колебательное движения относительно многолезвийной пилы 12, установлен- 50

9 4 ной на упругих элементах 13 и получающей возвратно-поступательное движение от вибратора 14. Груз 12 обеспечивает необходимый прижим монокристалла 10 к многолезвийной пиле 12. Фиксирование каретки 6 в различных положениях относительно направляющей 7 позволяет изменять амплитуду колебаний слиткодержателя 9. Если каретка 6 зафиксирована в верхнем (по схеме, изображенной на чертеже) положении, то в этом случае обеспечивается встречная обработка монокристалла, если она зафиксирована в нижнем (по схеме) положении, то обработка монокристалла — попутная. Применение встречной обработки предпочтительно при резке монокристаллов, сапфира, ГГГ, т.е. обладающих высокой твердостью, а попутной — при обработке монокристаллов CaAs и других менее твердых монокристаллов.

Прчменение устройства для резки твердых и хрупких материалов многолезвийной пилой повышает производительность резки монокристаллов за счет снижения длины линии контакта инструмента с монокристаллом, что приводит к увеличению нагрузки на единичное алмазное зерно, которое в этом случае более эффективно разрушает материал в зоне обработки.