Автомат герметизации полупроводниковых приборов

 

Изобретение относится к специальному технологическому оборудованию для производства полупроводниковых приборов. Изобретение может быть использовано в электротехнической и электронной промышленности. Цель изобретения - снижение металлоемкости, энергоемкости, упрощение конструкции, уменьшение габаритов, повышение производительности труда. Автомат герметизации полупроводниковых приборов роторного типа содержит исполнительные органы в виде устройств для загрузки арматуры, смыкания пакетов пресс-форм, загрузки пресс-материала и выгрузки готовых изделий. В автомате на роторе в радиальном направлении расположены обоймы, в которых установлены подвижные пакеты пресс-форм с автоматическим зажимом и задавливанием пресс-материала. Исполнительные органы в аппарате связаны одним приводом посредством копиров, блоков шестерен и грузовых винтов. Пакеты пресс-форм расположены в горизонтальной плоскости. Автомат снабжен технологическими кассетами. 2 з.п.ф-лы, 2 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИН (51)4 В 29 С 43/08

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А8ТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4186553/23-05 (22) 26.01.87 (46) 15.09.89. Бюл. М- 34 (71) Специальное проектно-конструкторское и технологическое бюро полупроводниковой техники (72) В.П.Наньков и В.И.Коломиец (53) 678.057.726(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

М - 1083901, кл. В 29 С 43/08, 1980. (54) АВТОМАТ ГЕРМЕТИЗАЦИИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ (57) Изобретение относится к специальному технологическому оборудованию для производства полупроводниковых приборов. Изобретение может быть использовано в электротехнической и электронной промышленности.

Цель изобретения — снижение металлоемкости, энергоемкости, упрощение

Изобретение отноится к специальному технологическому оборудованию для производства полупроводниковых приборов и может быть использовано в электротехнической и электронной промышленности.

Цель изобретения — снижение металлоемкости, энергоемкости, упрощение конструкции, уменьшение габаритов, повьппение производительности.

На фиг.1 изображен автомат герметизации полупроводниковых приборов; на фиг.2 — обойма, разрез.

Автомат герметизации состоит из трубчатого основания 1, оголовка 2 с обоймами 3, устройства 4 автомати„„SU„„ 1007581 А1

2 конструкции, уменьшение габаритов, повышение производительности труда °

Автомат герметизации полупроводниковых приборов роторного типа содержит исполнительные органы в виде устройств для загрузки арматуры, смыкания пакетов пресс-форм, загрузки пресс-материала и выгрузки готовых изделий. В автомате на роторе в радиальном направлении расположены обоймы, в которых установлены подвижные пакеты пресс †фо с автоматическим зажимом и задавливанием пресс-материала. Исполнительные органы в аппарате связаны одним приводом посредством копиров, блоков шестерен и грузовых винтов ° Пакеты пресс-форм расположены в горизонтальной плоскости. Автомат снабжен технологическими кассетами. 2 з.п. ф-лы, 2 ил. ческой загрузки пресс-формы, устройства 5 для автоматической вибрационной дозированной загрузки прессформы пресс-материалом, неподвижного диска 6 для размещения копиров привода блока 7 шестерен, воронки 8 загрузки пресс-материала в загрузочную камеру. Кроме того, автомат содержит (фиг.2) плунжер (трансфер) 9 задавливания пресс-материала, приемную щель 10 для укладки кассеты с арматурой, щель 11 загрузки готовых изделий, корпус 12 обоймы, где размещены детали и узлы пресс-формы и ее привода, неподвижную гайку 13, грузовой винт 14 привода половинок

1. Автомат герметизации полупроводниковых приборов роторного типа, содержащий исполнительные органы в виде устройств для загрузки арматуры, смыкания пакетов пресс-форм, загрузки пресс-материала и выгрузки готовых изделий, закрытые матрицы и соосные пуансоны для задавливания пресс-материала, расположенные на периферии обойм ротора, о т л и ч а— ю шийся тем, что, с целью снижения металлоемкости, энергоемкости, упрощения конструкции, уменьшения габаритов и повьппения производительности, на роторе в радиальном направлении расположены обоймы, в которых установлены подвижные пакеты прессформ с автоматическим зажимом и задавливанием пресс-материала, причем исполнительные органы связаны одним приводом посредством копиров, блоков шестерен и грузовых винтов.

2. Автомат по п.1, о т л ь ч а— ю шийся тем, что, с целью упрощения процессов загрузки арматуры и выгрузки готовых изделий, пакеты пресс"форм расположены в горизонтальной плоскости.

3. Автомат по п.2, о т л и ч а— ю шийся тем, что он снабжен технологическими кассетами.

3 150758 пресс-формы, оканчивающийся поршнем, винт 15 привода плунжера задавливания пр есс-материала (трансфера), подвижную половинку 16 пресс-формы, неподвижную половинку 17 пресс-формы, зубчатое колесо 18 привода грузового винта подвижной половинки пресс-формы, упорное кольцо 19 опорного шарикоподшипника, копир 20 10 привода прямого вращения грузового винта, копир 21 привода обратного вращения грузового винта, копир 22 привода вращения винта плунжера задавливания пресс-материала, копир 23 привода обратного вращения винта плунжера задавливания пресс-материала, перепускной клапан 24 .

Предлагаемый автомат герметизации полупроводниковых приборов ра- 20 ботает следующим образом.

Арматура полупроводниковых приборов в кассетах или на ленте закладывается в приемную щель 10 автомата.

Затем производится смыкание полови- 25 нок пресс-формы эа счет перемещения подвижной половины 16 к неподвижной

17. Поступательное перемещение поддвижная плита 16 пресс-формы получает от грузового винта 14 через блок

7 шестерен.

Вращение блок 7 шестерен получает в момент набегания на нижний копир привода прямого вращения грузового винта 20. Обратное вращение винт 14, a следовательно, и обратное поступательное движение подвижная плита пресс-формы получают при набегании блока шестерен на верхний копир 21.

После загрузки через воронку 8 пресс-материала приводится в прямолинейное движение плунжер 9 задавливания пресс-материала посредством винта 15 и неподвижной гайки 13.

Прямое вращение винт 15 получает от блока 7 шестерен в момент набегания на нижний копир 22. Обратное вращение блок шестерен получает при набегании на верхний копир 23. Винты 14 и 15 имеют квадратные хвостовики, которые свободно перемещаются в квадратных отверстиях приводных шестерен 18 ° После выдержки пресс-материала под давлением производится размыкание половин прессформы путем отвода подвижной паповины 16 за счет обратного вращения

4 грузового винта 14. Далее производится выталкивание готовых изделий через выгрузную щель и возврат плунжера 9 посредством винта 15 в исходное положение. Все перечисленные движения исполнительных органов автомата производятся автоматически от общего привода крестовины через копиры 20-23 и блоки 7 шестерен, Копиры 20, 22, 23 располагаются на неподвижном диске 6 на своем радиусе каждый. Их положение по ходу движения крестовины определяется согласно рабочей циклограмме.

Для создания необходимого усилия на грузовом винте 14 предусмотрен перепускной клапан 24, который срабатывает при достижении определенного удельного давления в камере перед поршнем грузового винта 14, входящим в гидрокамеру подвижной половины пресс-формы 16.

Ф ор мул а и з о б р е т е ни я

1507581

<с

Уа8тиРал ие регс.чал7ариаг а агре а ñò-vcwgpgr y

enmog

rlJAjr

Физ.1

Фиг Я

Составитель С.Шорин

Редактор A.Ìàêîâñêàÿ Техред М. Ходанич Корректор М. Васильева

Заказ 5500/19 Тираж 535 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина, 101