Интерферометр для контроля асферических поверхностей второго порядка

 

Изобретение относится к измерительной технике. Цель изобретения - повышение точности и производительности контроля за счет одновременного контроля всей рабочей зоны асферической поверхности второго порядка. Пучки лучей источника 1 монохроматического излучения собираются конденсором 2 на диафрагме 3. Затем проходят через светоделитель 4 и объектив 5. Параллельные пучки лучей после объектива 5 частично отражаются светоделителем 6, а частично попадают в объектив 7, который формирует в апланатической точке-предмете первой поверхности 10 линзы 9 изображения диафрагмы 3. При этом в апланатической точке-изображении поверхности 10, совпадающей с вершиной поверхности 10 линзы 9, формируется безаберрационное изображение диафрагмы 3. Пучок лучей, последовательно отразившись от контролируемой асферической поверхности 12, от сферической поверхности 11 линзы 9, еще раз от контролируемой асферической поверхности 12, проходит через линзу 9, объектив 7, светоделитель 6, объектив 5 и, отразившись от светоделителя 4, попадет в блок 13 регистрации, в котором с опорным пучком лучей после отражения от светоделителя 6 формирует интерференционную картину. По этой картине судят о качестве асферической поверхности. Точность и производительность контроля повышается благодаря тому, что вся асферическая поверхность контролируется за один прием. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК

23905 А1 (19) (11) uD4 С 01 В 9/02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

1 (21) 4313016/24-28 (22) 06.10,87 (46) 23. 11.89. Бюл. N 43 (72) В.А.Феоктистов, А.Г.Хуснутдинов и М.М.Назмеев (53) 535.411 (088.8) (56) Пуряев Д.Т. Методы контроля оптических асферических поверхностей.

М.: Машиностроение, 1976, с, 83-88, рис.30. (54) ИНТЕРФВРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ АСФЕРИЧЕСКИХ ПОВВРХНОСТЕЙ ВТОРОГО ПОРЯДКА (57) 11зобретение относится к измерительной технике. Цель изобретения— повышение точности и производительности контроля за счет одновременного контроля всей рабочей зоны асферической поверхности второго порядка. Пучки лучей источника 1 монохроматического излучения собираются конденсором 2 на диафрагме 3. Затем проходят через светоделитель 4 и объектив

5. Параллельные пучки лучей после объектива 5 частично отражаются све2 тоделителем 6, а частично попадают в объектив 7, который формирует в апланатической точке-предмете первой поверхности 10 линзы 9 иэображения диафрагмы 3. При этом в апланатической точке-иэображении поверхности 10, совпадающей с вершиной поверхности 11 линзы 9, формируется безаберрационное изображение диафрагмы 3. Пучок лучей, последовательно отразившись от конт, ролируемой асферической поверхности

12, от сферической поверхности 11 линзы 9, еще раз от контролируемой асферической поверхности 12, проходит через линзу 9, объектив 7, светоделитель 6, объектив 5 и, отразившись от светоделителя 4, попадет в блок.. регистрации, в котором с опорным пучком лучей после отражения от светоделителя 6 формирует интерференционную С, картину, IIO ToH K THHe T o KB честве асферической поверхности. Точ- 2 ность и производительность контроля повышается благодаря тому, что вся асферическая поверхность контролирует ся за один прием. 1 ил, 1523905, Изобретение относится к измерительной техник и может быть использовано для контроля асферических поверхностей второго порядка.

Целью изобретения является повышение точности и производительности контроля за счет одновременного контроля всей рабочей зоны асферической поверхности второго порядка.

На чертеже представлена функциональная схема интерферометра.

Интерферометр содерл;ит источник 1 монохроматическаго излучения и последовательно установл нные по ходу пуч- 15 ка лучей источника 1 монохроматического излучения конденсатор 2, диафрагму 3, светоделитель 4, объектив 5, передний фокус которого совмещен с диафрагмой 3, формирователь 6 опорно- 20 го пучка лучей выполненный, например, 1

Э в виде светоделителя, установленного перпендикулярно оптической оси интерферометра, объектив 7, ножевую диафрагму 8, установленную с возможностью 25 поворота вокруг оптической оси интерферометра так, что ее рабочая кромка совмещена с оптической осью интерферометра, линзу 9, первая поверхность

10 которой по ходу пучка лучей источ3 1 ника 1 выполнена выпуклой сферической так, что ее апланатическая точ аизображение совмещена с вершиной в .орой поверхности линзы 9, вторая по. верхность 11 линзы 9 выполнена в вv-де сферы с полупрозрачным покрытн-: радиус кривизны которой равен рас янию между фокусами контролируемой асферической поверхности 12, олок регистрации, оптически связанный через светоделитель 4 с линзой 9. Линза 9 установлена так, что апланатическая точка-предмет первой поверхности совмещена с фокусом объектива 7.

Контролируемая асферическая поверхность 12 устанавливается так, что один из ее фокусов совмещается с вершиной второй поверхности 11 линзы 9, а другой ее фокус совмещен с центром кривизны поверхности 11. При этом лин-5 за 9 и контролируемая асферическая поверхность 12 составляют автоколлимационную систему. Ножевая диафрагма

8 перекрывает половину пучка лучей, выходящего из объектива 7, и служит для экранирования пучка лучей, отраженного вершиной поверхности 1! в обратном направлении.

Интерферометр работает следующим образом.

Пучки лучей источника 1 монохроматического излучения собираются конденсором 2 на диафрагме 3, проходят через светоделитель 4 и объектив 5.

Параллельные пучки лучей после объектива 5 частично отражаются светоделителем 6, а частично попадают в объектив 7.. Частично отражающая поверхность светоделителя 6 является эталонной плоскостью, формирующей опорный пучок лучей интерферометра, Объектив 7 формирует в апланатической точке-предмете первой поверхности 10 линзы 9 иэображение диафрагмы 3, в апла натической точке-изображениипервой поверхности 10, совпадающей с вершиной поверхности 11 линзы 9, формируется беэаберрационное изображение диафрагмь. 3. Далее пучок лучей падает на контролируемую асферическую поверхность

12, отразившись от нее, затем от по" верхности 11 линзы 9 и вторично от контролируемой асферической поверхности 12, проходит через линзу 9 и попадает в объектив 7. Параллельный пучок лучей после объектива 7 проходит через светоделитель 6 и интерферирует с опорным пучком лучей. Далее

>ба пучка лучей проходят через объектив 5, отражаются от светоделителя 4 и попадают в блок регистрации, в котором по анализу интерференционной картины судят о качестве контролируемой поверхности 12. При вращении ножевой диафрагмы 8 интерференционная картина последовательно соответствует всей контролируемой поверхности. формула изобретения

Интерферометр для контроля асферических поверхностей второго порядка, содержащий источник монохроматического излучения и последовательно установленные по ходу пучка лучей источника конденсор, диафрагму, све,тоделитель, объектив, передний фокус которого совмещен с диафрагмой, формирователь опорного пучка лучей, второй объектив, линзу, вторая по ходу пучка лучей от источника поверхность которой выполнена в виде сферы, и блок регистрации, оптически связанСоставитель Л.Заболотский

Редактор И.Мулла Техред И.Дидык

Корректор Л,Бескид

Заказ 7032/43 Тираж 683 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Проиэводственно-иэдательский комбинат "Патент", г.Ужгород, ул. Гагарина, 101

1523905, 6 ный через светоделитель с линзой, ка выполнена выпуклой сферической отличающийся тем, что, с так, что ее апланатическая точка-изоцелью повьппения точности и произво- бражение совмещена с верщиной второй дительности контроля он снабжен но- поверхности линзы, линза устанволена

Э

5 женой диафрагмой, установленной с воз- в положение, в котором апланатическая можностью поворота вокруг оптической точка-предмет первой по ходу пучка .. оси интерферометра между вторым объ- лучей поверхности совмещена с фокуективом и линзой так, что ее рабочая сом второго объектива, а вторая по кромка совмещена с оптической осью 10 ходу пучка лучей от источника поверхинтерферометра, первая поверхность ность линзы выполнена с полупрозрачлинзы по ходу пучка лучей от источни- ным покрытием.