Устройство для обработки плоских поверхностей

 

Изобретение относится к абразивной обработке и может быть использовано для химико-механического финишного полирования плоских поверхностей, в частности полупроводниковых пластин. Целью изобретения является повышение точности обработки пластин свободным абразивом за счет устранения тепловых деформаций полировальника. Устройство содержит карусель и шпиндели с прижимными головками. Карусель выполнена в виде симметрично расположенных соосных ребристых плит и дисков, образующих две соединенные между собой каналом полости охлаждения. В зависимости от температуры среды в полостях между плитой 9 и диском 10, а также плитой 11 и диском 12 диски 10 и 12 стремятся выгнуть или наоборот сомкнуть свои концы. Вследствие того что они жестко связаны посредством плит 11 и 9, а также болтов 13 и 14 друг с другом, происходит взаимокомпенсация усилий температурных деформаций между верхними и нижними парами дисков, что позволяет оставаться неизменной плоскости полировальника. 2 ил.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

4 В 24 В 37/04 г;р °

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPCKOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

flO ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4395369/40-08 (22) 23.03.88 (46) 07.12.89. Бюл. № 45 (72) А. И. Мишин, А. Ф. Карсанов, Н. В. Бродянская и Г. Ф. Алексахин (53) 621.923.9 (088.8) (56) Патент Ф РГ № 2809274, кл. В 24 В 1/00, 1978. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОБРАБОТКИ

ПЛОСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ (57) Изобретение относится к абразивной обработке и может быть использовано для химико-механического финишного полирования плоских поверхностей, в частности полупроводниковых пластин. Целью изобретения является повышеНие точности обработки пластин свободным абразивом за

„„SU„„1526962 счет устранения тепловых деформаций полпровальника. Устройство содержит карусель и шпиндели с прижимными головка ми

Кару сель выполнена в виде симметрично расположенных соосных ребристых плит и дисков, образующих две соединенные между собой каналом полости охлаждения. В зависимости or температуры среды в полостях между плитой 9 и диском 10, а также плитой

1 и диском 12, диски 10 и 12 стремятся выгнуть или наоборот сомкнуть свои концы

Вследствие того что они жестко связаны посредством плит 11 и 9, а также болтов

l3 и !4 друг с с другом, происходит взаимо компенсация усилий температурных дефор маций между верхними и нижними парами дисков, что позволяет оставаться неизменной плоскости полировальника. 2 ил.

1526962

Формула изобретения

»

>3д1, 7 (.оставитель Л. Лроадсикий

Техред l!. Верее Корректор И. Муска

Тир»ж 662 Подписноее

Ре,>иктор H. Бобкова

Зака > 7453/!В

ВН1!НП11 Государственного комитета»о изобретениям и огкр>итиям при ГКНТ ГС(Р

l 1 3035, Москва, Ж-- 35, Рау>иск;>я í >б., д. 4>5

Проиаводственно-иадате.>ьский комбина г «Патент», r У,к>ород, ул. Гагарина, 10! з

Изобретение относится к абразивной обработке и может быть использовано для химико-механического финишного полирования плоских поверхностей деталей, в частности полупроводниковых пластин.

Целью изобретения является повышение точности обработки за счет устранения тепловых деформаций полировальника.

На фиг. 1 представлено устройство, общий вид; на фиг. 2 — карусель устройства, разрез. 10

Устройство !фиг. 1) состоит из станины

l. места 2, четырех шпинделей 3 с прижимйыми головками 4, карусели 5, приводимой во вращение от привода 6 через клиноременну ю передачу 7 и редуктор 8.

Конструктивно карусель (рис. 2) состоит из четырех соосных дисков. Между верхним диском 9, выполненным в виде плиты, и ребристым диском 10 образуется рубашка охлаждения. Симметрично им расположены нижний диск 11, также выполненный в виде 20 плиты, и ребристый диск 12, между которыми образуется компенсационная камера.

Устройство работает следующим образо м.

В начальный момент полирования охлаждающая жидкость, проходя через рубашку охлаждения, охлаждает плиту 9 и диск

10, вследствие деформации их окраинные части стремятся подняться вверх. Охлаждак>щая жидкость также воздействует на плиту

11 и диск 12, которые деформирук> гся, при этом их периферийные части стремятся опуститься вниз, т.е. периферийные части плит 9 и 11 стремятся разойтись в разные стороны. Этому препятствуют болты 13, которые воспринимают >!агрузк .

По мере увеличения выделения тепла охлаждающая жидкость нагревается, и деформация начинает приобретать противоположный характер, т.е. периферийные части плиты 9 и диска 10 стремятся опуститься вниз, а периферийные части плиты 11 и диска 12 подняться вверх, т.е. края дисков сжимаются, а центральные части стремятся удалиться друг от друга. Этому. противодействуют болты 14. Количество и сечение болтов рассчитываются из условия, исключающего воэможность деформации плит от изгиба.

Плоскостность верхнего полировальника в этом случае остается неизменной, что способствует повышению точности обработки пластин.

Устройство для обработки плоских поверхностей, содержащее карусель с притиром, шпиндели с прижимными головками, отличающееся тем, что, с целью повышения точности обработки крупногабаритных пластин интегральных схем за счет устранения влияния температурных деформаций, карусель выполнена в виде верхней и нижней плит с концентрично расположенными ребрами, смонтированных ребрами навстречу одна другой и несущих ребристые диски, жестко установленные на свободных поверхностях плит с образованием с верхней плитой рубашки охлаждения, а с нижней— компенсационной камеры, при этом рубашка охлаждения и компенсационная камера соеди иены каналом, выполненным в плитах.