Датчик давления

 

Изобретение относится к измерительной технике, может быть использовано для измерения давления в камерах высокого давления при нормальных и криогенных температурах. Датчик давления содержит чувствительный элемент в виде монокристалла твердого раствора теллурида таллия в теллуриде индия IN<SB POS="POST">1-X</SB>TL<SB POS="POST">X</SB>TE, причем доля таллия изменяется в пределах от 0,08 до 0,20. На монокристалл нанесены омические контакты. Варьируя состав сплава, можно для конкретных экспериментов выбрать нужный интервал значений сопротивления для широкого диапазона температур. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН

„„Я0„„1527524 (51)4 0 01 1. 9 02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А BTOPGKOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ

ПРИ ГННТ СССР

1 (21) 4395400/24-10 (22) 22.03.88 (46) 07. 12.89. Бюл. У 45 (71) МГУ им.М.В.Ломоносова (72) Б.А.Акимов, А.В.Албул, А.В.Давыдов, В.П.Зломанов, Л.И.Рябова и М.Е.Тамм, (53) 531.787,(088.8) (56) Брандт Н.Б. и др. Влияние давления на поверхность ферми металлов.УФН, 1971. т.104, вып.3 с.461-464.

Авторское свидетельство СССР

У 1182291, кл. G 01 T. 9/02, 1985. (54) ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ (57) Изобретение относится к иэмери-.

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к устройствам для измерения давления.

Целью изобретения является повышение точности и расширение температурного диапазона.

На чертеже изображена структурная схема датчика давления.

Чувствительный монокристаллический элемент 1 получают методом выкалывания из монокристалла сплава In, Ò1 Òå, на него нанесены токовые 2 и потенциальные 3 контакты.

Токовые контакты 2 подсоединены к источнику питания, а потенциальные контакты 3 — к измерительному прибору.

Во всем диапазоне температур от 4,2 К до 300 К контакты являются омическими.

Измерительный ток через контакты 2 варьируется от 10 мкА до 10 ИА.

Датчик работает следующим образом.

2 тельной технике, может быть использовано для измерения давления в камерах высокого давления при нормальных и криогенных температурах. Датчик давления содержит чувствительный элемент в виде монокристалла твердого раствора теллурида таллия в теллуриде индия

In „ T1 Те, причем доля таллия изменяется в пределах от 0,08 до 0,20.

На монокристалл нанесены омические контакты. Варьируя состав сплава, можно для конкретных экспериментов выбрать нужный интервал значений сопротивления для широкого диапазона температур. 1 ил.

Чувствительный элемент помещается в камеру высокого давления с передаю- Я щей средой, представляющей собой смесь, мас.Х: трансформаторное мас- »ий ло 10; керосин 70 и пентан 20. Дав- ф ление в камере увеличивается при Т ф

300 К. При этом сопротивление датчика давления уменьшается. Величина коэффициента преобразования достаточ. на для измерения давления при Т=300 К с точностью 5 1О Па. Далее камеру выЬ держивают при комнатной температуре в течение 6 ч. Стабильность сопротивления датчика при фиксированной температуре в течение 6 ч. Стабильность ф» сопротивления датчика при фиксированной температуре свидетельствует об отсутствии течей в камере высокого давления. Затем в зависимости от целей проводимых экспериментов камеру охлажлают в криогенных жидкостях. При этом в результате раз1527524 не менее 5 10" Па. Значение x=0,08 определяет нижнюю границу изменений х выбранных сплавов.

Формула и з о б р е т е н и я

Составитель А.Зосимов

Редактор И.Горная Техред Л.Сердюкова Кооректор >.Пожо

Заказ 7503/47, Тираж 789

Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул. Гагарина, 101 ил коэААициеHTQB сжимаемости передающей давление жидкости и материала камеры происходит сброс давления при охлаждении. Полученное давление в жидком гелии контролируется тем же датчиком давления„ Калибровка датчика осуществляется отдельно при

Т = 300 К и при Т = 4,2 К известными методами. В дальнейшем этот датчик может быть использован постоянно для калибровки различных камер давления с разными передающими давление жидкостями. Малые габариты датчиков позволяют испольэовать их в различных физических экспериментах в широком интервале температур.

Значение концентрации Т1Тех в сплавах In 71 Те, используемых в ка1-х честве чувствительного элемента датчика давления, выбирается исходя из следующего. При х (0,07 сплавы становятся полуметаллическими с малым коэААициентом преобразования. С ростом х при Т=300 К коэффициент преоб- 25 разования увеличивается. При x=O 08

9 -1 10 Па, что вполне достаточно р для измерения давления с точностью

При х у 0,20 удельное ro.iðîòèâëåние чувствительного элемента при

Т = 4,2 К превышает 10 Ом см„измеряется с недостаточной точностью изза возникновения зависимости от режима охлаждения и до 307 отличается от образца к образцу. Состав х=0,20 определяет верхнюю границу концентрации

Т1 в чувствительных элементах.

Датчик давления, содержащий чувствительный элемент, в виде полупроводникового монокристалла с омическими кЬнтактами, отличающийся тем, что, с целью повышения точности и расширения температурного диапазона, в нем монокристалл представляет собой соединение теллурида таллия с теллуридом индия в виде сплава

Inq „ Т1„Те, причем концентрация Х таллия выбрана в пределах О,ОЯ 4 х < 0,2.