Способ металлизации оксидных материалов

 

Изобретение относится к технологии металлизации оксидных материалов и может быть использовано в электронной, радиоэлектронной и электротехнической промышленности. Для получения на оксидах медных проводников с высокой адгезией и снижения удельного сопротивления покрытия наносят на поверхность порошок оксида меди, размещают два электрода, прикладывают напряжение до образования дуги. Затем перемещают катод по поверхности оксида со скоростью 0,5-4,0 мм/с, а напряжение поддерживают на уровне, обеспечивающем силу тока через расплав в пределах 0,3-0,8 А. Полученные медные проводники имеют удельное сопротивление (1,9-2,2)<SP POS="POST">.</SP>10<SP POS="POST">-2</SP> Ом<SP POS="POST">.</SP>мм<SP POS="POST">2</SP>/м и адгезию к корунду 800-910 кг/см<SP POS="POST">2</SP>. 1 табл.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК

„„SU„,1 49940 (51)5 С 04 В 41 88

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ вижный электрод перемещают с заданной скоростью, поддерживая ток постоянным. Расплав окиси меди под действием электростатических сил перемещается за катодом, образуя токопровоЪ дящий канал, являющийся продолжением анода. По достижении заданной длины канала катод останавливают и произ-. водят обдув канала газом-восстановителем (аргон-метановой смесью). При этом окись меди восстанавливалась до металла. В процессе восстановления сопротивление канала значительно уменьшается и, соответственно, уменьшается падение напряжения при поддержании постоянной силы тока. Когда процесс стабилизируется и перестает меняться падение напряжения, источник питания отключают. Для вычисления удельного сопротивления материала

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

1 (21) 4257942/23-33 (22) 06.04.87 (46) 15.03.90. Бюл. У 10 (71) Могилевское отделение Института физики АН БССР (72) М.А. Майданик, Д.Г. Непокойчицкий и Д.И. Степанов (53) 666.3.056.5(088 ° 8) (56) Авторское свидетельство СССР

Ю,850756, кл. С 25 D 5/54, 1979.

Авторское свидетельство СССР

N 320862, 1967. (54) СПОСОБ ИЕТАЛЛИЗАЦИИ ОКСИДНЫХ

МАТЕРИАЛОВ (57) Изобретение относится к технологии металлизации оксидных материалов и может быть использовано в электронИзобретение относится к технологии металлизации оксидных материалов и может быть использовано в электронной, радиоэлектронной и электротехнической промышленности.

Целью изобретения является получение на оксидах медных проводников с высокой адгезией и снижение удельного сопротивления покрытия.

Процесс металлизации производят следующим образом.

Игольчатый металлический электрод фиксируют на поверхности керамического изделия. На поверхность оксида наносят порошок окиси меди. Отрицательный подвижный электрод Ilриводят в соприкосновение с положительным неподвижным электродом. Включают источник питания и формируют дугу. По приборам выставляют заданный ток. Под2 ной, радиоэлектронной и электротехнической промышленности. Для получения на оксидах: медных проводников с высокой адгезией и снижения удельного сопротивления покрытия наносят на поверхность порошок оксида меди, раз" мещают два электрода, прикладывают напряжение до образования дуги. Затем перемещают катод по поверхности оксида со скоростью 0,5-4,0 мм/с, а напряжение поддерживают на уровне, обес" печивающем силу тока через расплав в пределах 0,3-0,8 А. Полученные медные проводники имеют удельное сопротивление (1,9-2,2) ° 10 Ом мм /м и адгезию к корунду 800-910 кг/см .

1 табл.

1549940

Опыт

330

2,1

1,9

1,9

1,9

2,0

2,2

2,0

l,9

2,2

3,0-3,3

0,3

0,5

0,8

0,3

0,5

0,8

0,3

0,5

0,8

0,5

0,5

0,5

1,5

1,5

l,5

4

2

4

6

8

Прототип

Составитель С. Кохан редактор Т. Лазаренко Техред. M.Дидык Корректор В. Кабаций

Заказ 245 Тираж 561 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета;по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, MocKBa, M-35, Раушская наб., д. 4/5 Ф

Производственно-издательский комбинат Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина,101

r канала измерялось линейное сопротивение и длина полученного канала, сниалась профиллограмма поперек канала. атем металлический канал вытравливался 204-ным раствором азотной кислоты, снова снималась профилограмма его поперечного сечения. На основании профилограмм рассчитывалась площадь канала и определялось удельное сопротив-10 ление.

Для определения адгезии припоем

ДС 65 к участку металлизированного канала прийаивалась медная пластинка.

Измерялась сила, при которой происхо- 15 дит отрыв этого участка от подложки.

При помощи микроскопа измерялась плоадь паяемого участка, затем производился расчет прочности на разрыв. На керамику наносились прямолинейные металлическое каналы длиной 30 мм.

Результаты испытаний сведены в таблицу, где V — скорость подвижного электрода, мм/с; I — сила тока, А;

:р — удельное сопротивление металличес25

;:кого слоя, Ом мм /м; б - адгеэия ме,таллического слоя к подложке, кг/мм .

,.Неподвижные электроды изготавливались из медной проволоки ф 1,5 мм, с заточкой на конус, перемещаемые - из стальной проволоки ф 1,5 мм. Обдув производился аргон-метановой смесью с содержанием метана 43, В качестве металлизируемого образца использовалась алюмооксидная керамика А 995, изготовленная в виде пластин, в качестве металлизирующего материала - порошкообразная окись меди ГОСТ 4469"48, ч.д.а.

Формула и з о б р е т е н и я

Способ металлизации оксидных материалов путем размещения на поверхносI ти образца двух электродов, приложения напряжения для образования электрической дуги, перемещения одного из электродов по поверхности и воздействия защитно-восстановительной среды, отличающийся тем, что, с целью получения на оксидах медных проводников с высокой адгезией и снижения удельного сопротивления покрытия, на поверхность образца предварительно наносят слой порошка оксида меди, после образования дуги катод перемещают со скоростью 0,5-4,0 мм/с, нап-, ряжение поддерживают на уровне, обеспечивающем силу тока через расплав в пределах 0,3-0,8 А; ч