Способ определения толщины покрытия тонкостенного изделия

 

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к способам определения толщины пленочных покрытий тонкостенных изделий. Цель изобретения - повышение точности. Способ заключается в том, что изделие с покрытием нагревают, измеряют температуру нагрева, затем поверхность покрытия охлаждают в условиях постоянного теплообмена и вновь измеряют температуру поверхности покрытия. Толщину покрытия определяют по значениям измеренных температур, времени от начала охлаждения до момента измерения температуры, известных теплофизических характеристик материалов изделия и покрытия и толщины стенки изделия. При этом толщина стенки изделия может быть определена перед нанесением покрытия путем аналогичных измерений температур после нагрева и охлаждения изделий без покрытия. Выполнив дважды аналогичные измерения на двух образцах с известными толщинами стенки изделия и покрытия, можно далее определять толщину покрытия без знания теплофизических характеристик материалов. 1 с.п. 2 з.п. ф-лы.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК щ)5 G 01 В.11/06

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А BTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4417454/25-28 (22) 23.03.88 (46) 07.05.90. Бюл. № 17 (75) И.Н.Антонов, В.Н.Дегтярев, Н.Д.Десятых и А.А.Копылов (53) 620. 179 . 142. 6 (088 .8) (56) Авторское свидетельство СССР № 1312378, кл.. С 01 В 11/06, 1985. (54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ТОЛЩИНЫ ПОКРЫТИЯ ТОНКОСТЕННОГО ИЗДЕЛИЯ (57) Изобретение относится к измерительной технике, в частности к способам определения толщины пленочных покрытий тонкостенных изделий. Цель изобретения — повышение точности. Способ заключается в том, что изделие с покрытием нагревают, измеряют темпе= ратуру нагрева, затем поверхность поИзобретение относится к измерительной технике, в частности к способам определения толщины пленочных покрытий изделий.

Цель изобретения — повышение точности.

Способ осуществляют следующим образом.

Изделие с покрытием подвергают нагреву. Нагрев может быть как технологическим при нанесении покрытия, так и от внешнего источника. При этом температура нагрева может определяться либо условиями технологического. процесса, либо ограничивается температурой термодеструкции материала.

„„SU „„1562690 А 1 крытия охлаждают в условиях постоянного теплообмена и вновь измеряют температуру поверхности покрытия. Толщину покрытия определяют по значениям измеренных температур, времени от начала охлаждения до момента измерения температуры, известных теплофизических характеристик материалов изделия и покрытия и толщины стенки изделия.

При этом толщина стенки изделия может быть определена перед нанесением покрытия путем аналогичных измерений температур после нагрева и охлаждения изделий без покрытия. Выполнив дважды аналогичные измерения на двух образцах с известными толщинами стенки изделия и покрытия, можно далее определять толщину покрытия без знания теплофизических характеристик материалов. 2 з.п.ф=лы.

lail

После окончания нагрева измеряют тем- пературу нагрева изделия с покрытием. ©»

Затем охлаждают поверхность покрытия в условиях постоянного теплообмена, С5 например, путем обдува ее струей воз- C© духа с регулируемой скоростью струи, 1

:которая и определяет значение коэф фициента теплообмена. При этом, в случае интенсивного теплообмена на поверхности покрытия, можно считать равным нулю теплообмен на противопо-,Ь ложной покрытию поверхности стенки ° и изделия. В противном случае прибегают к дополнительной теплоизоляции этой стенки. После охлаждения измеряют полученную температуру поверхности покрытия и время от начала ох1562690 лаждения до момента измерения температуры.

Искомую толщину покрытия определяют иэ выражения

} - А(— - - }), . В

1пЕ где h - толщина покрытия, d — толщина стенки изделия

10 а Л1 a e tp ts

А = — — В = -тес", В

=a, л, =л, Ч -е2-

45

В а, „1

Д вЂ” = » Q(g ° «» „„e, = Ä }ÄÄe

t -ta где

Смя-ts — температура поверхности после охлаждения в течение времени

При неизвестных теплофизических характеристиках материалов могут быть использованы два эталонных образца с известными толщинами стенки и покрытия, для которых в результате а, Л,, а и Я вЂ” коэффициенты температуропроводности и теплопроводности материалов стенки и покрытия соответственно;

a(— коэффициент теплообмена;, начальная температура после нагрева; 25 температура струи возЬ духа; — температура поверхнос-.

С ти покрытия после охлаждения в течение вре.мени

Толщина стенки изделия может быть измерена заранее, но при непрерывном технологическом процессе изготовления изделия и нанесения покрытия ее

-удобно измерять аналогичным способом, .а именно в тех же условиях, что и

;при определении толщины покрытия, осуществляют нагрев и охлаждение изделия без покрытия. При этом измеряют температуры после нагрева и после охлаждения. Из выражения (1) следует,, что при отсутствии покрытия (}1=0) толщина стенки d равна нагрева и охлаждения в описанных выше условиях находят величины 6 и g " . Па ним, используя выражение (1), находят коэффициенты А и В, которые используют затем при определении толщины покрытия изделия.

Изобретение может быть использовано как для определения толщины покрытий готовых изд лий, так и для контроля и регулирования толщины покрытия непосредственна в процессе его нанесения.

Формула изобретения ,1. Способ определения толщины покрытия тонкостенного изделия, заключающийся в том, чта изделие с покрытием нагревают, измеряют температуру поверхности покрытия и значение измеренной температуры учитывают при определении толщины покрытия, о т— л и ч а ю шийся тем, что, с целью повышения точности, предварительно определяют толщину стенки изделия, после нагрева и измерения температуры поверхность покрытия охлаждают в условиях постоянного теплообмена на ней и отсутствия теплообмена со стороны поверхности изделия, затем вновь измеряют температуру поверхности покрытия и фиксируют время от начала охлаждения до момента измерения тем-,,пературы, а толщину покрытия определяют с учетом известной толщины стен1 ки изделия, коэффициента теплообмена

;на поверхности покрытия, коэффициен,ToB TpIIJIoIIpoBopHocTH и температура-! проводнасти материалов изделия и пакрытия, значений измеренной температуры и времени от начала охлаждения ца момента измерения температуры.

2 ° Способ по п.1, о т л и ч а ю— ,:шийся тем, что для определения толщины стенки изделия производят нагрев и охлаждение изделия без покрытия в тех же условиях, чта и при последующем определении толщины покрытия, измеряют температуры поверхности изделия после нагрева и охлаждения и определяют толщину стенки иэделия с учетом измеренных температур, времени от начала охлаждения да момента измерения температуры, коэффициентов теплопроводнасти и температурапроводнасти материала изделия.

3. Способ по п.1, отличаю— шийся тем, чта предварительно осуществляют нагрев и охлаждение двух

1562690

Составитель А.Степанов

Техред Л.Олийнык Корректор Т.Малец

Редактор Г.Гербер

Заказ 1054 Тираж 490 Подписное

ВНИИГИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям нри ГКНТ СССР.

113035, Иосква, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5. производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина, 101 эталонных образцов с известными толщинами стенки и покрытия в тех же условиях, что и при последующем определении толщины покрытия, измеряют температуры поверхности покрытия на образцах после нагрева и охлаждения, по результатам измерения и известным ,толщинам определяют два коэффициента, которые затем используют при определении толщины покрытия.

Способ определения толщины покрытия тонкостенного изделия Способ определения толщины покрытия тонкостенного изделия Способ определения толщины покрытия тонкостенного изделия 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к измерительной технике, к оптическим методам определения толщины покрытий и пленок

Изобретение относится к области оптических измерений и может быть применено для градуировки оптико-электронных кварцевых гравиметров

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля толщины тонких пленок в процессе их напыления

Изобретение относится к измерительной технике, может быть использовано для контроля толщины кристаллических пластин интерференционно-поляризационного фильтра в процессе доводки

Изобретение относится к измерению толщины пластинок оптическими методами

Изобретение относится к измерительной технике

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для определения толщины и качества нанесения анодированного слоя на алюминиевую ленту

Изобретение относится к измери тельной технике и может быть использовано для контроля количества резины на валках каландра

Изобретение относится к испытательной технике и позволяет проводить контроль и отбраковку ситалловых элементов, прошедших гидролитическую обработку перед соединением их путем оптического контакта

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при измерении толщин движущихся пластин

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для бесконтактного измерения толщины и показателя преломления прозрачных слоев

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для бесконтактного автоматического измерения толщины прозрачных материалов, например листового стекла, в непрерывном производственном процессе

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к оптическим интерферометрам, и может быть использовано для непрерывного бесконтактного измерения геометрической толщины прозрачных и непрозрачных объектов, например листовых материалов (металлопроката, полимерных пленок), деталей сложной формы из мягких материалов, не допускающих контактных измерений (например, поршневых вкладышей для двигателей внутреннего сгорания), эталонных пластин и подложек в оптической и полупроводниковой промышленности и т.д

Изобретение относится к оптическим способам измерения толщин слоев прозрачных жидкостей и может быть использован для бесконтактного определения толщин слоев прозрачных жидкостей в лакокрасочной, химической и электронной промышленности, а также в физических и химических приборах

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к интерференционным способам измерения оптической толщины плоскопараллельных объектов и слоев

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано в черной и цветной металлургии для измерения толщины проката в условиях горячего производства без остановки технологического процесса

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для неразрушающего контроля толщины пленок, в частности в устройствах для измерения и контроля толщины пленок фоторезиста, наносимых на вращающуюся полупроводниковую подложку в процессе центрифугирования в операциях фотолитографии

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для неразрушающего контроля толщины и измерения разнотолщинности пленок, в частности в устройствах для нанесения фоторезиста в операциях фотолитографии

Изобретение относится к оптическим способам измерения толщины слоя прозрачной жидкости
Наверх