Натекатель

 

Изобретение относится к электровакуумной технике и может быть использовано для поддержания давления в вакуумной камере. Целью изобретения является повышение точности дозирования за счет перемещения клапан при воздействии на мембрану электрореологической жидкости. Устройство содержит корпус 1, мембрану 2, клапан 3, сопло 4. Электроды 6 предназначены для воздействия на электрореологическую жидкость 5. 1 ил.

СОЮЗ СООЕТСНИХ

OOW

РЕСПУВ ЛИК (g))g Н 01 7 37/18

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ"

ПРИ ГКНТ CCCP

1 (21 ) 4458809/24-21 (22) 12.07.88 (46) 07.06.90. Бнл. М- 21 (71) Московский институт электронного машиностроения (72) А.Т.Александрова и F.,H.Ñóëèìîâà (53) 621.52 (088.8) (56) Вакуумная техника.. — М.: Машиностроение. l985, с.119...SU„„569909 A 1

2 (54) НАТЕКАТЕЛЬ (57) Изобретение относится к электровакуумной технике и может быть ис" пользовано для поддержания давления в вакуумной камере. Целью изобретения является повыпение точности дозирования за счет перемещения клапана при воздействии на мембрану электрореологической жидкости. Устройство содержит корпус 1, мембрану 2, клапан 3, седло 4. Электроды 6 предназначены для воздействия на электрореологическул жидкость 5, 1 ил.

)569909

Изобретение относится к электровакуумной технике, в частности к устройствам, предназначенным для подцержания давления в вакуумной камере н строго ограниченных пределах. . Цель изобретения - повышение точности дозирования и упрощение конст. рукции за счет того, что клапан перемещается при "дыхании" мембраны,приводимой в движение электрореологической жидкостью, которая изменяет свой объем при прохождении через нее электрического тока (изменение объема электрореологической жидкости за счет электродилатансии).

На чертеже представлен натекатель.

Натекатель содержит корпус 1,разделенный на две части герметичной упругодеформируемой мембраной 2,на которой расположен игольчатый клапан

3, входящий в седло 4 ° По другую сторону от мембраны находится электрореологическая жидкость 5, в которую помещены электроды 6, связанные с ис- 25 . точником электрического напряжения Ф (не показан) . входит в седло 4. Таким образом, изменяя напряжение электрического поля, осуществляют перемещение клапана по заданному закону.

В натекателе может использоваться электрореологическая жидкость следующего состава, мас.7.: аэросил 0,1

3,0; вода 0,005 — 0,6; диатомит

5,5 - 5,0, нафтенат алюминия 4,0—

8,0; диэтиламин 0,025 - 1,0; приборное масло 82,4 - 98,7. Игла клапана выполнена из стали СТ4, седло из ме-ди.

Натекатель позволяет получать плавное .перемещение клапана (регулировать натекание) с большой точностью, равной точности регулирования электрического напряжения, повысить надежность работы в результате упрощения его конструкции и эксплуатации. При этом появляется возможность автоматизации процесса натекания. ормула изо брет ения

Натекатель, содержащий корпус, в котором размещены клапан и седло, отличающийся тем, что, с целью повьппения точности дозирования и упрощения конструкции, полость корпуса разделена герметичной мембраной на два объема, в одном из которых размещен клапан, закрепленный на мембране, а в другом; заполненном электрореологической жидкостью,размещены электроды, соединенные с внешним источником электрического напря40

Натекатель работает следующим образомм.

На электроды б подается электрическое напряжение. Между ними возникает напряженность электрического поля, которая воздействует на электрореологическую жидкость, изменяется ее вязкость, ° в результате чего меняется плотность, а следовательно, и объем. Объем. жидкости меняется, и мембрана приходит в движение. Вместе с ней перемещается клапан З,который

Составитель Д. Рау

Техрец M.Ходанич

Редактор О,Головач

Корректор О,Ципле

Заказ 1454 Тираж 404 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при !"KHT СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5 бПроизводственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, хл. Гагарина, 101

Натекатель Натекатель 

 

Похожие патенты:
Изобретение относится к ускорительной технике, в частности к устройствам для инжекции ионов на орбиту и для выбрасывания их с орбиты, и может быть применено для изготовления и установки перезарядных фольг тандемных ускорителей, а также для изготовления и установки мишеней или подложек мишеней для ядерно-физических экспериментов

Изобретение относится к литографической системе, содержащей множество узлов литографической системы. Каждый узел литографической системы содержит устройство литографии, расположенное в вакуумной камере для нанесения картины на подложку, систему блокировки нагрузки для переноса подложек в и из вакуумной камеры, и дверцу для обеспечения доступа в вакуумную камеру для целей обслуживания. Система блокировки нагрузки и дверца каждого узла литографической системы обеспечены на одной стороне и направлены к свободному пространству на стороне литографической системы, в частности, в зоне обслуживания. Технический результат - повышение производительности. 3 н. и 11 з.п. ф-лы, 12 ил.
Наверх