Жидкоструйный вакуумный затвор

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

1i i1 546960

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (6I) Доиолшгтсльиое к аит. спид-иу (22) Заявлено 04.05.75 (21) 2136238/08 (51) .Ч. 1;л, Н 01J 37 18 с присоединением заявки Ко 2136239/08

1 осударственнь.к комитет

Совета Министров СССР (23) Приоритет

Опубликовано 15.02.77. Бюллетень X 6

Дата опубликования описания 14.03.77 (53) УДК 621.646(088.8) ll0 делам изобретений и ОткрытиЙ (72) Автор изобретения

В. Н. Григорьев (71) Заявитель (54) ЖИДКОСТРУЙНЫЙ ВАКУУМНЫЙ ЗАТВОР

Затвор предназначен для использования в вакуумной технике: для перекрытия потока газа и вывода через него мощных потоков электронов, света или других видов излучения из области низкого давления в область высокого давления (порядка атмосферного) .

Известен ваккумный затвор с проходным отверстием, перекрываемым струей жидкости в виде тонкой неразрывной пленки. Струя жидкости вытекает из примыкающего к вакуумному затвору резервуара высокого давления через узкую щель в корпусе, пересекает проходное отверстие затвора и после отражения от противоположной стенки корпуса удаляется из затвора. Струя разделяет область высокого и низкого давления. Под действием перепада давления струя при движении отклоняется от первоначального направления в сторону низкого давления. Этот вариант вакуумного затвора может быть изготовлен с проходным отверстием только кольцевой формы.

Однако для создания ряда устройств требуется вывод в область высокого давления электронных пучков специальной формы, которая определяется формой проходного отверстия жидкоструйного вакуумного затвора. Например, затвор с проходным отверстием в виде длинной щели, способный выводить в атмосферу электронные пучки ленточной формы, является основой для создания мощных ионизационных лазеров и усилителей света высококого (порядка атмосферного) давления, высокопроизводительных плазмохпмических установок, устройств для резки и сварки метаl5 лов и т.д.

Однако в известном устройстве ие решена задача уплотнения струей;кидкости краевых областей проходного отверстия.

В предложенном затворе уплотнение крае10 вых областей достигается посредством задания острого угла схождения противополож. ных внутренних стенок корпуса, образующих проходное отверстие. Совместно с тупым углом падения в сторону высокого давления, 15 этот позволяет использовать энергию движения струи для поддержания перепада давления на струе по всему ее периметру.

Эффективность работы жидкоструйиого ва20 куумного затвора определяется также расстоянием от щели, иа котором струя сохраняет свою однородность и неразрывность, что, в свою очередь, зависит от начальной однородности струи, которая определяется профилем

25 формирующей струю щели в корпусе затвора и точностью ее изготовления. Так для вывода в атмосферу через затвор электронных пучков с энергией 100 к.э.в. при прозрачности более

50% перекрывающая струя должна иметь тол30 щину не более 40 мк, и cc скорость около

546960

3

104 см/сек при давлении в резервуаре порядка

100 атм.

При такой высокой скорости жидкости и малой ширине щели для снижения гидравлических потерь формирующая струю щель должна иметь достаточно острые кромки при точной калибровке сечения.

Совокупность таких высоких требований к форме и точности изготовления формирующей струю щели трудно удовлетворить в неразборном корпусе затвора.

В предлагаемом затворе формирующая струю щель образована отдельными частями корпуса — основанием и плитой и накладной пластиной или посредством применения калибровочных пластин, вмонтированных в теле корпуса.

Применение накладной пластины или калибровочных пластин позволяет предварительно до сборки обработать формирующие струю острые кромки, что обеспечивает более упрощенную технологию изготовления затвора при сохранении требуемой точности.

На фиг. 1 показан общий вид затвора; на фиг. 2 — сечение Л вЂ” Л на фиг. 1, на фиг. 3— затвор с применением калибровочных пластин, укрепленных в неразборном корпусе; на фиг. 4 — то же, с разборным корпусом.

Корпус 1, выполненный в виде массивной металлической плиты, имеет проходное отверстие 2 щелевой формы. Сверху на корпусе установлена накладная пластина 3. В теле пластины и корпуса выполнены канавки, образующие резервуар 4 высокого давления, куда подается жидкость по каналу 5. жидкость через узкую щель 6, образованную острыми краями корпуса 1 и пластины 3, вытекает струей

7 и перекрывает проходное отверстие 2, ограниченное внутренними стенками 8, 9 и 10 корпуса.

Направление движения жидкости в струе задается формой щели 6, поэтому можно считать его перпендикулярным стенке 10. Угол наклона противоположной стенки 8 корпуса к струе 7 выбран таким, чтобы при падении на указанную стенку струя образовывала с ней тупой угол со стороны высокого давления и, соответственно, острый угол со стороны низкого давления. После удара о стенку 8 струя отражается вверх в сторону высокого давления. Выбранный угол падения струи на стенку

8 создает движение жидкости на ее поверхности против перепада давления и тем самым позволяет использовать энергию движения струи для поддержания за счет сил вязкости перепада давления в области около поверхности стенки, где скорость движения жидкости стремится к нулю. С этой же целью выбран острый угол отхождения внутренних стенок 9 и 10, который совместно с указанным выше наклоном стенки 9 в сторону высокого давления обеспечивает на поверхности стенки

9 движение жидкости против перепада давления и отражение струи в сторону высокого давления, т. е. вакуумное уплотнение струей проходного отверстия метру.

Длина канавок в корпусе затвора и пластине 3, образующих резервуар 4 и определяющих ширину струи жидкости, превосходитдлину проходного отверстия 2 в корпусе затвора, благодаря чему пересекающая проходное отверстие свободная струя на его краях переходит в струю, движущуюся по поверхности корпуса.

Использование калиброванных пластин 11 (фиг. 3, 4) еще более облегчает механическую обработку остры.: кромок формирующей струю ц;ели.

Как видно на фиг. 3, в корпусе 1 затвора проходное отверстие 2 перекрывается струей

7, вытекающей через щель 6, образованную острыми кромками пластин 11, вставленных в прорезь в корпусе 1. После пересечения проходного отверстия 2 струя 7 попадает на противоположную стенку корпуса и, вследствие наклона стенки, отражается вверх в сторону высокого давления. Соединение пластин 11 с корпусом должно быть достаточно прочным, а нижней пластины — вакуумно плотным.

Разборный корпус затвора, изображенный в разрезе на фиг. 4, состоит из соединенных через прокладку 12 двух частей 13 и 14, в которые вмонтированы пластины 11, образующие щель для формирования струи жидкости.

В обоих частях корпуса выполнены канавки, совместно образующие резервуар 4 жидкости высокого даьления. В резервуар 4 жидкость поступает по каналу 5 в нижней части корпуса 14. Ширина щели может меня;ься посредством замены прокладки 12.

По сравнению с цельным неразборным корпусом вакуумного затвора или корпусом, разбирающимся на крупные части, использование для формирования струи жидкости вмонтированных в корпус калиброванных пластин облегчает выполнение щели оптимальной формы с необходимой высокой точностью.

Формула изобретения

1. Кидкоструйный вакуумный затвор, содержащий корпус с проходным отверстием в виде щели, перекрываемым подаваемой под давлением струей жидкости в виде тонкой неразрывной пленки, формируемой щелью во внутренней стенке корпуса и подающей на другую его стенку, отличающийся тем, что, с целью уплотнения струей краевых областей проходного отверстия, стенка корпуса расположена к поверхности струи падающей на эту стенку под острым углом со стороны низкого давления.

2. Затвор по п. 1, отличающийся тем, что соприкасающиеся со струей части указанных стенок корпуса выполнены сходящимися под острым углом.

3. Затвор по п. 1 и 2, отличающийся тем, что формирующая струю щель образова546960 з )

Фиг 1

11 б

Составитель В. Караулов

Редактор М. Афанасьева Текрсд Е. Хмелева Корректор Т. Добровольская

Заказ 338/7 Изд. ЛЪ 219 Тираж 1019 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, %-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 на торцевой поверхностью корпуса со стороны высокого давления и расположенной на ней пластиной.

4. Затвор по пп. 1 — 3, отличающийся тем, что с целью увеличения надежности, формирующая струю щель образована краями калибровочных пластин, укрепленных в теле корпуса.

Жидкоструйный вакуумный затвор Жидкоструйный вакуумный затвор Жидкоструйный вакуумный затвор 

 

Похожие патенты:
Изобретение относится к ускорительной технике, в частности к устройствам для инжекции ионов на орбиту и для выбрасывания их с орбиты, и может быть применено для изготовления и установки перезарядных фольг тандемных ускорителей, а также для изготовления и установки мишеней или подложек мишеней для ядерно-физических экспериментов

Изобретение относится к электровакуумной технике и может быть использовано для поддержания давления в вакуумной камере

Изобретение относится к литографической системе, содержащей множество узлов литографической системы. Каждый узел литографической системы содержит устройство литографии, расположенное в вакуумной камере для нанесения картины на подложку, систему блокировки нагрузки для переноса подложек в и из вакуумной камеры, и дверцу для обеспечения доступа в вакуумную камеру для целей обслуживания. Система блокировки нагрузки и дверца каждого узла литографической системы обеспечены на одной стороне и направлены к свободному пространству на стороне литографической системы, в частности, в зоне обслуживания. Технический результат - повышение производительности. 3 н. и 11 з.п. ф-лы, 12 ил.
Наверх