Заливная вакуумная ловушка

Авторы патента:

H01J37/18 - вакуумные затворы

оюзнля - . "=.СКАЯ

АНгЙЕ

ОПИС

ИЗОБРЕТЕНИЯ

275287

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 03.1Ч.1969 (М 1323594/26-25) с присоединением заявки ¹

Приоритет

Опубликовано ОЗ.VII.1970. Бюллетень ¹ 22

Дата опубликования описания 13.Х.1970.Кл. 27d, 3/06

МПК F 04g

УДК 621.521(088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Автор изобретения

М. H. Блинов

Заявитель

ЗАЛИВНАЯ ВАКУУМНАЯ ЛОВУШКА

Изобретение предназначено для использования в вакуумной технике.

В известных вакуумных ловушках, содержащих резервуар для заливки хладагента, во время работы уровень кидкого азота в резервуаре постоянно меняется. Когда ловушка полностью залита азотом, грязь из откачиваемого объема попадает в ловушку и оседает на стенках резервуара в основном около входного отверстия. По мере испарения азота уровень его падает, стенки верхней части резервуара начинают нагреваться, а осевшая грязь переходит в систему и снова пспадает в откачиваемый объем, ухудшая вакуум и загрязняя систему. Чтобы предотвратить это, необходимо поддерживать постоянный уровень азота в ловушке. Известные устройства для поддержания постоянного урогня азота в ловушках сложны и не всегда удобны.

Предлагаемая вакуумная ловушка отличается от известных тем, что в резервуар с зазором относительно его стенок помещен стакан, повернутый открытой частью к дну резервуара. Закрытая часть стакана имеет отверстие, соединенное с отверстием резервуара для заливки хладагента. В стенке стакана со стороны открытой части выполнены вырезы.

На фиг. 1 представлена ловушка в рабочем положении; на фиг. 2 вЂ” стакан.

Цилиндрический корпус I ловушки имеет штуцер 2, в который устанавливают лампу для измерения высокого вакуума. В корпусе

1 размещен цилиндрический резервуар 8, внутри которого установлен стакан 4. Резервуар и стакан приварены к нижней части трубки 5 плотным герметичным швом на расстоянии 5 вЂ” 8 ял один от другого. Корпус стакана в нижней части укорочен и имеет

10 два вЂ” четыре выреза б. Рабочий уровень азота (показан пунктиром на фиг. 2) в ловушке должен находиться на высоте вершин этих вырезов.

Перед пуском ловушки через трубку 5 за1s ливают жидкий азот. Когда уровень жидкого азота доходит до вершин вырезов в нижней части стакана, объем воздуха, заключенный между стенками стакана и резервуара, отсекается от остального объема ловушки. Обра20 зуется «воздушная подушка», которая поддерживает рабочий уровень азота в одном положении и предохраняет от охлаждения верхнюю часть резервуара в момент заполнения ловушки азотом. Таким образом, во время работы наружные стенки резервуара будут находиться при постоянной температуре до тех пор, пока в дополнительном объеме 7 не испарится азот до рабочего уровня.

Вырезы б в патроне обеспечивают постоян30 ное положение рабочего уровня азота. Сна275287

Фиа ) Фиг 2

Составитель Г. А. Жукова

Редактор Т. 3. Орловская Техред А. А. Камышникова Корректор А. И. Зимина

Заказ 2887)17 Тираж 480 Подписное

ЦНИИПИ Комигета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 чала в ловушку заливают азота меньше постоянного рабочего объема, так чтобы нижняя кромка стакана доставала до азота, а уровень его был ниже рабочего. При такой заливке начинают охлаждаться стенки резервуара и стакана, а также воздух «воздушной подушки». При охлаждении объем воздуха

«воздушной подушки» уменьшается, и воздух засасывается из атмосферы через верхние части вырезов стакана, не затопленные азотом. Когда резервуар, стакан и «воздушная подушка» достаточно охладятся и приостановится засасывание воздуха, тогда заливают ловушку азотом полностью, и в ловушке устанавливается постоянный рабочий уровень азота.

При нагревании ловушки (в случае прогрева камеры масс-спектрометра МИ-1305) объем «воздушной подушки» увеличивается, воздух начинает выходить через верхние участки вырезов малыми порциями, что предотвращает бурные выбросы воздуха через азот дополнительного объема.

Предмет изобретения

1. Заливная вакуумная ловушка, содержащая цилиндрический резервуар для хладагента, отличающаяся тем, что, с целью уменьше10 ния загрязнения откачиваемого объема при понижении уровня хладагента в ловушке, в резервуар с зазором относительно его стенок помещен стакан так, что его открытая часть обращена к дну резервуара, а закрытая часть имеет отверстие, соединенное с отверстием резервуара для заливки хладагента.

2. Ловушка по п. 1, отличающаяся тем, что в стенке стакана со стороны открытой части выполнены вырезы.

Изобретение относится к ускорительной технике, в частности к устройствам для инжекции ионов на орбиту и для выбрасывания их с орбиты, и может быть применено для изготовления и установки перезарядных фольг тандемных ускорителей, а также для изготовления и установки мишеней или подложек мишеней для ядерно-физических экспериментов

Жидкоструйный вакуумный затвор // 546960

Натекатель // 1569909

Изобретение относится к электровакуумной технике и может быть использовано для поддержания давления в вакуумной камере

Литографическая система и способ обработки подложек в такой литографической системе // 2579533

Изобретение относится к литографической системе, содержащей множество узлов литографической системы. Каждый узел литографической системы содержит устройство литографии, расположенное в вакуумной камере для нанесения картины на подложку, систему блокировки нагрузки для переноса подложек в и из вакуумной камеры, и дверцу для обеспечения доступа в вакуумную камеру для целей обслуживания. Система блокировки нагрузки и дверца каждого узла литографической системы обеспечены на одной стороне и направлены к свободному пространству на стороне литографической системы, в частности, в зоне обслуживания. Технический результат - повышение производительности. 3 н. и 11 з.п. ф-лы, 12 ил.