Способ фоторегистрации видеосигнала с экрана электронно- лучевой трубки видеоконтрольного устройства растрового электронного микроскопа

 

Изобретение относится к области электронной микроскопии и может быть использовано во всех случаях, когда производится фоторегистрация видеосигнала с экрана электронно-лучевой трубки видеоконтрольного устройства. Цель изобретения - повышение информативности фотоснимков-достигается путем барельефного воспроизведения деталей изображения и выравнивания общего контраста. Экспонирование фотоматериала осуществляют в течение двух одинаковых по длительности развертки кадров при одинаковой амплитуде видеосигнала и яркости свечения экрана. После окончания развертки первого кадра исследуемый объект смещают вдоль одного из направлений перпендикулярно оптической оси микроскопа на величину не менее элемента разложения изображения и не более размера наименьшей детали поверхности объекта для данного увеличения микроскопа. При экспонировании в течение развертки второго кадра изменяют полярность видеосигнала на противоположную.

СОЮ) СОВЕТСНИХ

CO AËÈСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН

А1 (19> « (И> (g))5 Н 01 Р 37/28

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н А ВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

° °

° °

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ

ПО ИЭОБРЕТЕНИЯМ И ОП)РЫТИЯМ

ПРИ ГННТ СССР (21 ) 4486057/24-21 (22) 23,09.88 (46) 0 .06.90. Бюл. Р 21 (72) М.А.Кипнис (53) 621,385.833 (088 ° 87 (56) Гоулдстейн Д. и др. Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ. — М,: Мир, 1984 °

Техническое описание к растровому электронному микроскопу РЭМ-200.Сумы, 1982. (54.) СПОСОБ ФОТОРЕГИСТРАЦИИ ВИДЕОСИГНАЛА С ЭКРАНА ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОЙ

ТРУБКИ ВИДЕОКОНТРОЛЬНОГО УСТРОЙСТВА

РАСТРОВОГО ЭЛЕКТРОННОГО МИКРОСКОПА (57) Изобретение относится к области электронной микроскопии и может быть использовано во всех случаях, когда производится фоторегистрация видеосигнала с экрана электронно-лучевой трубки видеоконтрольного устройства, Изобретение относится к электронной микроскопии и может быть использовано при проведении исследований в таких областях, как биология,геология, физика твердого тела и материаловедение.

Цепь изобретения — повьппение информативности фотоснимков за счет барельефного воспроизведения деталей изображения и выравнивания общего контраста.

На экране электронно-лучевой трубки (ЭЛТ) видеоконтрольного устройства растрового электронного микроскопа (P3M) формируют изображение

Цель изобретения — повьппение информативности фотоснимков -. достигается путем барельефного воспроизведения деталей изображения и выравнивания общего контраста. Экспонирование фотоматериала осуществляют в течение двух одинаковых по длительности развертки кадров при-одинаковой ампли" туде видеосигнала и яркости свечения экрана. После окончания развертки первого кадра исследуемый объект смещают вдоль одного иэ направлений перпендикулярно оптической оси микроскопа на величину не менее элемента разложения изображения и не более размера наименьшей детали поверхности объекта для данного увеличения микроскопа. При экспонировании в течение развертки второго кадра изменяют полярность видеосигнала на проти- С воположную. исследуемого участка поверхности с требуемой яркостью свечения экрана

ЭЛТ. Экспонирование фотоматериала осуществляют в течение двух одинаковых по длительности развертки кад" ров при одинаковой амплитуде видеосигнала и яркости свечения экрана.

После окончания развертки первого кадра исследуемьй1 объект смещают вдоль одного иэ направлений перпендикулярно оптической оси микроскопа на величину не менее элемента разло" жуя изображения и не более размера наименьшей детали поверхности объекта для данного увеличения P3N, При

1569911 экспонировании в течение развертки второго кадра изменяют полярность видеосйгнала на противоположную.

Изменение полярности видеосигна5 ла при экспонировании приводит к выравнйванию общего контраста,а смещение исследуемого объекта между двумя развертками кадра в сочетании с изменением полярности видеосигнала позволяет получить барельефное воспро: :изведение деталей изображения, Ба рельефность на фотоснимке создается вследствие образования двух чернобелых краев одной линии, причем оптическая плотность одной увеличива-. ется, а второй уменьшается, Элементом изображения является область на исследуемом объекте, на которую попадает электронный зонд, и информация 20 из которой передается в одно пятно на экране ЭЛТ, поэтому смещение объекта на величину менее элемента иэображения не создает барельефности, Смещение объекта на величину более 25 размеров наименьшей существенной детали поверхности,. которую исследуют при данном увеличении, приводит к, двойному негативно-позитивному изоб— ражению на, одном снимке. Выбор опре- З0. деленного значения смещения в указанном интервале обусловлен характером исследуемого объекта и определяется в каждом конкретном случае индивидуально.

Выбор среднего уровня яркости ЭЛТ . и амплитуды видеосигнала осуществляется из условия обеспечения при фоторегистрации максимального числа дискретных уровней яркости изображе- 40 ния исследуемого объекта за время . экспозиции, равное длительности двух разверток кадра при неизменной полярности видеосигнала. Это позволя,ет получить высококачественный элект- 45 ронно-микроскопический фотоснимок, используя прямолинейный участок характе1 ристической кривой фотоматериала.

Пример, Проводят фоторегистрацию видеосигнала в РЭМ-200,Объект исСледования: гальванически позолоченные серебряные контакты с поверхностными дефектами, При фотографировании с экрана ЭЛТ используют аппарат "Зенит Е", объектив "Гелиос 44-2" диафрагма 11, пленку Фото-64,фото11 11 обработка стандартная . Наилучший электронно- микроскопический фото снимок обеспечивающий максимальное число

9 дискретных уровней яркости иэображения исследуемых контактов,нолучен путем подбора среднего уровня .яркости

ЭЛТ, амплитуды видеосигнала и времени экспозиции, которое оказалось равным 40 с, увеличение 400 ..В дальнейшем средняя яркость ЭЛТ и айплитуда видеосигнала .остаются неизменными ° и контролируются с помощью осциллограАа С1-68. В видеоконтрольном устройстве микроскопа РЭМ-200 используется ЭЛТ типа 18 ЛИ4Б, для которой минимальный диаметр пятна состав-. ляет 100 мкм, поэтому .при данном увеличении элемент изображения на образце 0,25 мкм, Наименьшая существенная деталь поверхности контактов, которую необходимо выделить и проанализировать, примерно равна 3 мкм, Для барельефного воспроизведения деталей изображения и выравнивания общего контраста изменение полярности смещение исследуемых контактов производится между одноКратными запусками кадровой развертки длительностью 20 с. Образец смещается рукоятками перемещения столика объектов по одной из осей XY-координат, Из серии снимков с различным смещением образца в пределах приведенного интервала наиболее информативный снимок получен при смещении 1 мкм.

В результате обработки видеосигнала удалось проанализировать и выделить мелкие дефекты гальванического покрытия на всех участках исследуемых образцов.

Формула изобретения

Способ фоторегистрации видеосигнала с экрана электронно-лучевой трубки видеоконтрольного устройства растрового электронного микроскопа, снабженного механизмом перемещения образца во взаимно перпендикулярных направлениях, .включающий формирование на экране кадра изображения видеосигнала, регулирование яркости свечения экрана и экспонирование фотоматериала, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью повышения информативности фотоснимков за счет барельефного воспроизведения деталей иэображения и выравнивания общего контраста, экспонирование фотоматериала осуществляют в течение двух одинаковых по длительности развертСоставитель В, Гаврюшин

Техред М.Ходанич Корректор О,Ципле

Редактор О.Галовач

Заказ 1454 Тирам 403 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по.изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, 3-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина, 101

S 156991 ки кадров при одинаковой амплитуде видеосигнала и яркости свечения экрана, причем после окончания развертки первого кадра исследуемый обьект

5 смещают вдоль одного иэ направлений перпендикулярно оптической оси микроскопа на величину не менее злемен1 4 та разложения изобракения и не более размера наименьшей детали поверхности обьекта для данного увеличения микроскопа, а при экспонировании в течение развертки

Второго кадра изменяют полярность видеосигнала на противопслокную.