Стекло
Изобретение относится к технологии силикатов, к производству бариевого алюмоборосиликатного стекла, предназначенного для использования в толстопленочной микроэлектронике в качестве стеклосвязки композиционных резисторов без драгметаллов. С целью повышения химической устойчивости к воде и кристаллизационной способности стекло содержит, мас.%: SIO 2 14,5-19,5 B 2O 3 22,0-27,0 AI 2O 3 18,0-20,0 BAO 28,0-30,0 SRO 1,0-2,0 CAO 1,0-2,0 MGO 1,0-2,0 ZRO 2 1,0-2,0 NB 2O 5 5,5-6,5. Температура размягчения 590-620°С, ТКЛР 57±1 .10 7, град -1, водоустойчивость 0,07-0,57%. 2 табл.
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК (51}5 С 03 С 3/064
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
H ABT0PCH0MY СВИДЕТЕЛЬСТВУ
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ
ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР
1 (21) 4496818/23-33 (22) 17.10.88 (46) 30.09.90, Бюл. Р 36 (71) Белорусский политехнический институт (72) И.К.Немкович, Н.М.Миронович, К.И.Бланк, Л.А.Беспамятнова и P.Ã.Àéíøòåéí (53) 666.112.9 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР
N 1235831, кл. С 03 С 3/064, 1984.
Авторское свидетельство СССР
N - 1413062, кл. С 03 С 3/064, 1987. (54) СТЕКЛО (57) Изобретение относится к технолоИзобретение относится к технологии силикатов, к производству бариевого:, алюмоборосиликатного стекла, предназначенного для использования в толстопленочной микроэлектронике в качестве стеклосвязки композиционных резт:-сторов без драгметаллов.
Цель изобретения — повышение химической устойчивости к воде и кристаллизационной способности.
Синтез стекол осуществляется в газовой и электрической печах в кварцевых и корундовых тиглях йри 1350 +
+50 С, выдержка 0,5-1 ч.
Конкретные составы стекол приведены в табл.1.
Свойства стекол даны в табл.2.
Таким образом, предлагаемые стекла обладают повышенными химической устойчивостью к воде и кристаллиза-.
„.SU 1595802 А 1
2 гии силикатов, к производству бариевого алюмоборосиликатного стекла, предназначенного для использования в толстопленочной микроэлектронике в качестве стеклосвязки композиционных резисторов без драгметаллов.
С целью повьппения химической устойчивости к воде и кристаллизационной способности стекло содержит, мас.X:
- SiO2 14,5-19,5; В О 22,0-27,0; А1 Оз
18,0-20,0; Ва0.28>0-30,0; SrO 1,02,0;. СаО 1,0-2,0; NgO 1,0-2,0; ZrO
1,0-2,0; НЬ О 5 5,5-6,5. Температура размягчения 590-620 С, ТКЛР 57+1 10, град, водоустойчивость 0,07-0,57Х.
2 табл. ционными свойствами, что позволяет получить на его основе боридные резисторы широкого диапазона сопротивлений с высокой стабильностью электрических параметров.
Формула изобретения
Стекло, включающее SiO 2 14,519,5 мас.7, SrO 1-2 мас.Х, СаО 12 мас.Ж, ZrO< 1-2 мас.Х, В О, A1201ф
ВаО, NgO, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения химической устойчивости к воде и кристаллизационной способности, оно содержит, .мас.Е: в 20 3 22эО 27вО
Al2О 3 18,0-20,0
ВаО 28,0-30,0
MgO 1,0-2,0 и дополнительно
ЫЬ,О, 5,5-6 5
1595802
Таблиц а 1
Компонент Содержание компонентов, мас.%, в составах
Таблиц а 2
Свойства
Состав
1 2 3 4 5
Хорошие прозрачные стекла с повышенной варочно-выработной вязкостью
Полузакристаллизованные с хорошей растекаемостью и адгезией и подложке покрытия, без трещин
Варочно-выработочные свойства
Характеристика покрытий на подложке из
22ХС после обжига при 820о С .
Температура размягчения, С
Термический коэффициент линейного расширения, )о(10 /, град 1 Водоустойчивость, 7
590 590 600 610 620
57 57+1 57+1 57+1 57t1
0,07 0,09 0,12 0,57 0,44
Составитель Т.Трифонова
Редактор Н.Киштулинец Техред J1.0ëèéíûê Корректор C.Ùeâêóí
Заказ 2884 Тираж 396 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытия р м и и ГКНТ СССР
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Производственно-издательский комбинат Патент, г.ужгород, у
1! ч л. Гага ина 101
81.0 во
Al@0q
ВаО
Sr0
СаО
Mg0
ZrОд
Nb2 0s
19,5
22,0
18,0
30i0
2,0
1,0
1,0
1,0
5,5
17,0
22,0
19,0
30,0
1,5
2,0
2,0
1,0
5,5
19,5
24,5
18,0
28,0
1,0
1i0
1,0
6,0
17,0 14,5
27,0 23,0
18,0 20,0
28,0 29,0
1,0 2,0
1,0 1,5
1,0 1,5
1,5 2,0
5,5 6,5
