Способ определения коррозионной активности полимерных материалов

 

Изобретение относится к исследованию свойств полимерных материалов для защиты и герметизации полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Цель - повышение достоверности результатов определения коррозионной активности полимерных материалов, так как отсутствуют зоны коррозии, связанные с присоединением проводников к тестовой структуре. Способ заключается в изготовлении тестовой структуры с металлическими проводниками поверх слоя диэлектрика с нанесенным на них слоем полимеров. При этом измерение сопротивления этих проводников проводится путем прокалывания эластичного полимерного прозрачного материала над контактными площадками.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (я)5 G 01 И 17/00

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4463144/25-28 (22) 20.07.88 (46) 07.10;90. Бюл, М 37 (71) Московский институт электронного машиностроения (72) В,Б.Нестеров и А,А.Теверовский (53) 6.210.199 (088.8) (56) Заявка Японии М 49 — 42430, кл. Н 014 1/00, 1974. (54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ КОРРОЗИОННОЙ АКТИВНОСТИ ПОЛИМЕРНЫХ МАТЕРИАЛОВ (57) Изобретение относится к исследованию свойств полимерных материалов для защиИзобретение относится к области исле- дования свойств полимерных материалов для защиты и герметизации полупроводниковых приборов и интегральных схем.

Цель изобретения — повышение достоверности определения коррозионной активности полимерных материалов путем исключения погрешностей в местах соединения контактных площадок с проводами измерителя.

Способ реализуется следующим образом., Изготавливается тестовая полупроводниковая пластина с нанесенными поверх изоляционной пленки металлическими проводниками определенной длины и контактными площадками, на ее часть с проводниками наносится исследуемый полимерный материал, а часть с контактными площадками по кры вается эластичн ы м материалом с минимальной корроэионной активностью (например, кремнийорганическим) и прокалывается над контактными площадка„, Я2„„1597697 А1 ты и герметизации полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Цель— повышение достоверности результатов определения коррозионной активности полимерных материалов, так как отсутствуют зоны коррозии, связанные с присоединением проводников к тестовой структуре. Спопоб заключается в изготовлении тестовой структуры с металлическими проводниками поверх слоя диэлектрика с нанесенным на них слоем полимеров. При этом измерение сопротивления этих проводников проводится путем прокалывания эластичного полимерного прозрачного материала над контактными площадками, ми заостренными щупами, подключенными к измерителю сопротивления, Такие измерения при необходимости можно повто рять, так как после извлечения щупов пленка полимерного материала закрывает место прокола. Это удобно в случае необходимости исследования корроэионной активности.высокомодульных полимеров.

Пример. Были сделаны тестовые структуры (кремний КЭФ вЂ” 20, площадь структуры 25 мм, изолятор — слой О2 толщи2 ной 0,12 мкм), на каждой структуре 3 алюминиевых проводника, закороченных на концах на контактные площадки площадью

2 мм, сопротивление каждого проводника

24 OM. Затем по 5 пластин было залито кремнийорганическими компаундами ГК и

СИЭЛ 159-167. Материалы ГК и СИЭЛ 159—

167 отверждались по рекомендованным для них режимам, а затем все пластины помещались в термовлагокамеру и выдерживались в условиях 120 С, 98% о.в. Через каждые 24 ч проиэводился замер сопротивления про1597697

Составитель Г. Алехов

Редактор А. Шандор Техред M.Ìoðãåíòàë Корректор С. Шекмар

Заказ 3047 Тираж 482 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 водников. Для этого прокалывался полимерный материал над контактными пло.щадками.

В жестких условиях термовлагокамеры коррозия, в случае присоединения внешних 5 проводников к контактным площадкам, идет быстрее нежели - при использовании данного способа. Следовательно, в этом случае полученные результаты характеризуют не коррозионную активность полимер- 10 ного материала, а условия на контактах. При применении предлагаемого способа полученные данные характеризуют коррозионную активность полимерного материала, который может быть любым, 15

Для исследования коррозионной активности эпоксидного материала (смола ЭД вЂ” 8, отвердитель полизтиленполиамин, соотношение 10:1) его наносили на область пластин с проводниками(контактные площадки 20 защищались прижатой фторопластовой пленкой), затем эпоксидный материал отверждался по режиму 150 С, 5 ч, на контактные площадки наносился компаунд ГК и отверждался, затем пластины помещались в

ТВК и проводились измерения аналогично измерениям эластичных материалов. Время

50 отказов составило 150 ч.

Формула изобретения

Способ определения коррозионной активности полимерных материалов, по которому изготовляют полупроводниковую пластину, наносят на нее металлические проводники с контактными площадками, на проводники наносят исследуемый полимерный материал, йзмеряют электрическое сопротивление проводников, по которому судят о коррозионной активности полимерных материалов, отл и ча ю щи и с я тем, что, с целью повышения достоверности определения, на контактные площадки наносят инертный по отношению к ним эластичный прозрачный материал, а измерение сопротивления проводников осуществляют прокалывая материал над контактными площадками щупами измерителя сопротивления.