Патент ссср 160550
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
С011 ИЛЛИСТИЧ ЕСКИХ
РЕСПУБЛИК
ОЕ1ИСАHNE
И 3 О В Р ET Е Ы И. Н
K ABYQPCKGMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ № 160550
Класс
2l g, 2101
МПК
О 21
Заявлено 07.XI1.1962 (№ 806937/26-24) ГОСУДАРСТВЕННЫЙ
КОМИТЕТ НО ДЕЛАМ
ИЗОБРЕТЕНИИ ИОТКРЫТИИ
СССР
Опубликовано 31.1.1964. Бюллетень № 4
Подписная группа № 84
В. С. Кортов и В. С. Перетягии
ВЫСОКОЧАСТОТНЫЙ ИОННЫЙ ИСТОЧНИК
Известны высокочастотные ионные источники, в которых наряду с металлическим зондом-катодом присутствует экранирующий его со стороны разряда диэлектрический зонд, имеющий иногда форму слабо конической:. почти плоской диафрагмы.
Предлагаемый высокочастотный ионный источник отличается от существующих тем, что для создания условий, облегчающих вытягивание ионов из плазмы и получения больших ионных токов, а также для наилучшей фокусировки выходящего пучка, диэлектрический вытягивающий зонд выполнен в виде плоской диафрагмы, катод — в форме металлического кольца. Катод помещен вблизи поверхности зонда со стороны, обращенной к области высокочастотного разряда. Кроме того, установлен дополнительный электрод, имеющий форму кольца и находящийся под напряжением относительно катода.
На чертеже изображен в разрезе вытягивающий диэлектрический зонд с дополнительным электродом.
Из образованной в вытягивающем зонде I плазмы отсасываются ионы. При этом процессе рекомбинация ионов на помещенном внутри зонда катоде 2, выполненном в виде металлического кольца, сводится к минимуму, что приводит к увеличению иснного тока.
Поток отсасываемых ионов благодаря введению дополнительного электрода 8 над катодом 2 можно сфокусировать на отверстии 4 зонда. Кроме того, при достаточном напряжении между катодом 2 и дополнительным электродом 8 можно зажечь собственный тлеющий разряд. Этс приводит к тому, что электроны, образующиеся при тлеющем разряде, будут частично компенсировать объемньш заряд вокруг катода 2, облегчая отсос плазмы.
Испытания предложенной конструкции показали, что при разряде в гелии и давлении в баллоне порядка 10 — - л1л1 рт. ст. можно получить ионный ток до 4 миллиампер при вытягиваюшем потенциале 1200 в и разности потенциалов между электродами 2 и 8, равной
600 в.
Предмет изобретени я
Высокочастотный ионный источник с диэлектрическим зондом-диафрагмой, о т л и ч аю шийся тем, что, с целью создания условий, облегчающих вытягивание ионов из плазмы и получения больших ионных токов, а также д,"".ÿ наилучшей фокусировки выходящего пучка, диэлектрический вытягивающпй зонд выполнен в виде плоской диафрагмы, катод выполнен в форме металлического кольца и помещен вблизи поверхности зонда со стороны, обращенной к области высокочастотного разряда, и установлен дополнительный электрод, имеющий форму кольца и находящийся под напряжением относительно катода. № 160550
Составитель Зайкин"
Редактор Кутафина Техрсд A. А. Камышникова Корректор М. И. Козлова
Поди к пои 6Д 1 — 64 и Формат бум. 60) 90it; Объем 0,26 изд. л.
Заказ 0306:16 Тирани 476 Цена " Knfi.
ЦНИИПИ Государствениnro комитета по делам изобретений н открытий СССР
Москва, Центр, пр. Серова, д. 4.
Типография, пр. Сапунова, 2.
