Высокочастотный ионный источник

 

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУбЛИК

© < M И Е

ИЗ0ЬРКт ндд

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Х0 161817

Класс

2lg, 21вт

МПК

G 21

Заявлено 27.!!.1963. (№ 821945/26-24) 1 ОСУААРСТ ВЕН Н Ь| И

КОМИТЕТ ПО AEAAM

ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЪ|ТИИ

СССР

Опубликовано 01.1Ъ .1964. Бюллетень № 8

УЛК

Подггисная ару»пи Л3 82

Заявитель

Предприятие Госкомитета по использованию атомной энергии

Авторы изобретения

В. А. Романов и А. H. Сербинов

ВЫСОКОЧАСТОТНЬ!Й ИОН НЬ!Й ИСТОЧ Н И К

Высокочастотные ионные источники с фокусирующей системой известны.

Предлагаемый источник отличается от известных тем, что для управления ионным током пучка ме>кду его катодом и первым электродом фокусирующей системы помещен управляющий электрод.

На чертеже изображен высокочастотный ионный источник с управляющим электродом.

Источник содержит систему вытягивания, состоящую из изолирующей диафрагмы 1, катода 2, держателя 3 изолирующей диафрагмы или анода, изолятора 4, отштампованного из пирекса. Посадочное гнездо изолятора расточено. Катод 2 установлен в держателе 5 с помощью медной гайки б.

Центровка управляющего электрода 7 относительно оси канала катода 2 производится кольцевым выступом изолятора 4, который плотно входит в кольцевую выточку управляющего электрода. Верхняя часть буртика кольцевой выточки упирается в плоскую часть изолятора 4, образующую кольцо вокруг выступа, что позволяет фиксировать электрод 7 на расстоянии 0,5 лглг от нижней поверхности катода 2. Управляющий электрод имеет отверстие диаметром 1 лгм для прохождения ионного пучка. Механические усилия, возникающие при сборке и тепловых расширениях во время работы, воспринимаются компенсирующей пружиной 8, которая упирается в держатель 9 управляющего электрода. Для лучшей центровки все электроды фокусирующих линз имеют скользящую посадку.

Когда в разрядной камере 10 возбужден разряд и между анодом 11 и катодом 2 приложено напряжение, ионный пучок, сформированный в ионнооптнческой системе, проходит через канал катода, как в любой зондовой системе вытягивания. Если потенциал управляющего электрода 7 равен или близок к потенциалу катода 2, тс ионный пучок проходит через управляющий электрод 7 и попадает в область системы фокусировки.

При повышении потенциала управляющего электрода ионный пучок после выхода из канала катода 2 начинает тормозиться и вследствие влияния объемного заряда расширяться. По мере увеличения потенциала управляющего электрода 7 ионный пучок вначале попадает на управляющий электрод и частично на катод, затем все ббльшая часть ионного тока попадает на катод и, когда потенциал управляющего электрода 7 будет выше потенциала анода 11, весь ионный ток поступит на нижн|ою часть канала катода 2, не входя в область фокусирующей системы. Изменяя

¹ 161817

Составитель М. Грибова

Техред А. Кудрявицкая Корректор Г. Е. Опарина

Редактор П. Шлаин

Поди. к печ. 20/VI — 64 г. Формат бум. 60X 90 /а Объем 0,16 изд. л.

Заказ 1222/4 Тираж 1025 Цена 5 коп.

ЦНИИПИ Государственного комитета по делам изобретений и открытий СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр, Сапунова, 2. потенциал управляющего электрода, можно менять величину ионного тока от нуля до максимума, соответственно режиму работы системы вытягивания.

Если на запертый управляющий электрод подавать отрицательные относительно катода импульсы, то мокино получать импульсы ионного тока с амплитудой, соответствующей -,оку в постоянном режиме.

Описываемый источник предназначен для электростатических ускорителей.

Предмет изобретения

Высокочастотный ионный источник с фокусирующей системой, отличающийся тем, что, с целью управления ионным током пучка, между катодом источника и первым электродом фокусирующей системы помещен управляющий электрод.

Высокочастотный ионный источник Высокочастотный ионный источник 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к плазменной технике и может использоваться для генерации потоков заряженных частиц, например ионов, в технологических целях и в космических двигательных установках

Изобретение относится к электронно-лучевым и пучково-плазменным приборам СВЧ и предназначено для использования в качестве усилителя или генератора мощного излучения в аппаратуре научного и прикладного назначения

Изобретение относится к электронике, в частности к электронно-лучевым СВЧ-приборам, предназначенным для усиления или генерации мощного излучения, и может быть использовано в аппаратуре научного и прикладного назначения

Изобретение относится к технике СВЧ и может использоваться при создании радиоаппаратуры для связи, радиолокации, в измерительной технике, в научном приборостроении

Изобретение относится к области плазменной обработки при изготовлении полупроводников
Изобретение относится к поверхностно-плазменным источникам отрицательных ионов, а именно к способам получения отрицательных ионов в поверхностно-плазменных источниках, и может быть использовано в ускорителях заряженных частиц или устройствах для осуществления термоядерного синтеза

Изобретение относится к технике получения импульсных мощных ионных пучков

Изобретение относится к плазменной технике, а более конкретно - к плазменным источникам, предназначенным для генерации интенсивных ионных пучков, и к способам их работы

Изобретение относится к источникам заряженных частиц и применяется в ускорительной технике

Изобретение относится к технологии электромагнитного разделения изотопов

Изобретение относится к технике получения ионных пучков, в частности пучков многозарядных, высокозарядных и поляризованных ионов
Наверх