Способ получения сверхвысокого вакуума
ОПИСАН И Е
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ!
66993
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Кл. 27d, 3„
Заявлено 12.Ч11!.1963 (№ 852083/24-6) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 12.XII.1964. Бюллетень № 24
Государствеиный комитет по делам изобретений и открытий СССР
МПК F 04g
УДК
Дата опубликования описания 21.1Л966
»
М
Авторы изобретения
В. С. Пархоменко и Г. A. Востров
Заявитель
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ СВЕРХВЫСОКОГО ВАКУУМА с помощью ультразвуковых колебаний установлены магнитострикционные генераторы 5.
Колебания направлены вдоль отдельных звеньев вакуумной системы. Датчики можно устанавливать таким образом, чтобы ультразвуковые колебания были направлены перпендикулярно осям емкости 1 и основного газо. провода 6.
Механическое обезгаживание может произ 0 водиться во время и после прогрева системы.
Способ получения сверхвысокого вакуума путем температурного обезгаживания вакуумной системы, отличающийся тем, что, с целью ускорения процесса обезгаживания, на вакуумную систему воздействуют ультразвуковыми колебаниями.
Подписная грушга № 180
Способы получения сверхвысокого вакуума путем температурного обезгаживания вакуумной системы известны.
Предложенный способ отличается тем, что на вакуумную систему воздействуют ультразвуковыми колебаниями. Это позволяет ускорить процесс обезгаживания вакуумных систем и сохранить сверхвысокий вакуум при вибрациях и случайных ударах.
На чертеже схематически изображена вакуумная система для осуществления предложенного способа.
Откачка емкости 1 производится форвакуумным 2 и сверхвысоковакуумным 8, например ионосорбционным титановым, насосами.
В качестве форвакуумного может быть при" менен цеолитовый насос, который можно отключать с помощью крана 4.
Для механического обезгаживания системы
Предмет изобретения
166993
Составитель Т. Рабчук
Техред Т. П. Курилко
Корректор Л. Е. Марисич
Редактор П. Вербова
Типография, пр. Сапунова. 2
Заказ 3549/17 Тираж 1250 Формат бум. 60X90 /з Объем 0,07 изд. л. Цена 5 коп.
ЦНИИПИ Государственного комитета по делам изобретений и открытий СССР
Москва, Центр, пр. Серова, д. 4
