Тензорезисторный датчик разности давлений

 

Изобретение может найти применение при измерениях разности давлений низкотемпературных сред с возможными перегрузочными давлениями. Цель изобретения - повышение точности за счет уменьшения температурной погрешности и погрешности от рабочего давления. При воздействии разности давлений мембранная коробка 1 деформируется, вызывая смещение тяги 5 и конца стержня 4. Это в свою очередь приводит к изгибу упругой пластины 2 и деформации тензорезисторов 6. При перегрузке со стороны большего давления мембранная коробка складывается и дальнейшее перемещение мембран и изгиб упругой пластины с тензорезисторами становится невозможным. 1 ил.

COIO3 СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

1 51)5 G 01 Ь 13/02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Я A BTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ

AO ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

f1PH ГКНТ СССР (21) 4353524/24-10 (22) 31. 12.87 (46) 23. 10,90. Бюп ° ¹ 39 (71) Государственный научно-исследовательский .институт теплоэнергетического приборостроения (72) В,Л. Кенигсберг „В.М. Стучебников и В.Н. Черницын (53) 53 1 . 787 (088 . 8) (56) Заявка ФРГ K- 2531821, . кл. G 01 1 13/02, 1978. (54) ТЕНЗОРЕЗИСТОРНЫЙ ДАТЧИК РАЗНОСТИ ДАВЛЕНИИ (57) Изобретение может найти применение при измерениях разности давлений

„„SU 1601533 А 1

2 йизкотемпературных сред с возможными перегрузочными давлениями. Цель изобретения — повышение точности за счет уменьшения температурной погрешности и погрешности от рабочего давления. При ьоздействии разности давлений мембранная коробка 1 деформиру ется, вызывая смещение тяги 5 и конца стержня 4. Это в свою очередь приво-дит к изгибу упругой пластины 2 и деформации тензорезисторов 6. При перегрузке со стороны большего давления мембранная коробка складывается и дальнейшее перемещение мембран и изгиб упругой пластины с тензорезисторами становится не возможным. 1 ил.

1601533

Соста:витель 0„

Техред М,Дидык

Редактор И. Нулла

Заказ 3267 Тираж 463 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва„ Ж-35, Раушская наб., д. 4/5 ю

Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина, 101

Изобретение относится к приборостроению, в частнс сти к тензорезисторным преобразователям разности давлений.

Целью изобретения является повы5 шение точности за счет уменьшения температурной погрешности и погрешности от рабочего давления, На чертеже изображ датчи раз- 1Î ности давлений.

Тензорезисторный датчик разности давлений содержит манометрический уйругий чувствительный элемент,:выполненный в виде мембранной коробки

1 гибкую упругую пластину 2, прикрепленную к корпусу 3 и размещенную в., отверстии корпуса параллельно к н4правлению смещения подвижной стен кй мембранной коробки; передающий

А элемент в виде гибкого упругого стержня 4, один конец которого жестко закреплен на внутренней повер;хностй гибкой упругой пластины 2 перпендикулярно к ней, в ее центре, а дру- 25 гой соединен с тягой 5, тензорезисторы 6, размещенные на внешней поверхности гибкой упругой пластины, гибкую упругую трубку 7, один конец которой герметично прикреплен к кор-.

I ЗО пусу по контуру отверстия в корпусе, а другой — по контуру, например, с

1 помощью аргоно-дуговой сварки к концу гибкого упругого стержня 4.

Тензорезисторный датчик разности

35 давлений работает следующим образом.

Противоположные входные давления, действуют на мембранную коробку 1, вызывая смещение ее подвижного участка и связанного с ним с помощью тяги

5 конца стержня 4, вызывая изгиб гибкой упругой пластины 2. Зто приводит к деформации тензорезисторов 6, размещенных на поверхности гибкой упругой пластины в зонах сжатия и растяжения и соединенных в тензочувствитель-. ную схему. Деформация тензорезисторов преобразуется в электрический выходной сигнал, пропорциональный измеряемому перerrаду давлений.

При работе датчика большее давление Р„подается внутрь корпуса 3 с внешней стороны мембранной коробки 1, а меньшее давление Р - внутрь мембранной коробки 1, При перегрузке со стороны большего давления мембранная коробка складывается и дальнейшее перемещение мембран и, соответствен-. но„изгиб упругой пластины с тензорезистором становятся невозможными, Преимущество тензорезисторный датчик имеет при измерениях разности давлений низкотемпературных (криогенных) сред. Использование изобретения позволит эксплуатировать преобразователь в широком диапазоне рабочих температур, до температуры жидкого гелия. формула изобретения

Тензорезисторный датчик разности давлений, содержащий корпус с отверстием для "плюсового" давления, закрепленный герметично в корпусе ма" нометрический чувствительный элемент с тягой по своей оси„ закрепленную в корпусе и расположенную параллельно оси чувствительного элемента упругую пластину, соединенную своей центральной частью с одним концом перпендикулярного ей стержня, связанного другим концом с тягой, причем на наружной поверхности упругой пластины закреглены по обе стороны от ее центра тензорезисторы, о т— л и ч а ю шийся тем, что, с целью повышения точности за счет уменьшения температурной погрешности и погрешности от рабочего давления, в него введена размещенная коаксиально стержню упругая трубка, один конец которой герметично закреплен в корпусе, а другой герметично соединен с концом стержня, связанного с тягой, причем длина трубки меньше длины стержня, при этом стержень выполнен упругим, а чувствительный элемент выполнен в виде мембранной коробки, внутренняя полость которой сообщена с источником "минусового" .,давления.

Слюсарев

Корректор N. Максимишинец