Устройство двустороннего контактного фотокопирования

 

Изобретение относится к устройствам для экспонирования при контактном печатании. Цель изобретения - упрощение конструкции устройства, снижение его металлоемкости и энергопотребления, а также расширение функциональных возможностей. Устройство содержит плиту 1, прозрачное основание 2, вакуумную раму 3, мембрану 4, канал 5 разрежения, упругие направляющие 6 и 7, прокладки 8 и 9, фотошаблоны 10 и 11, источники 12 и 13 активного излучения, экспонируемый материал 14, светоотражающие покрытия 15 и 16 на основании 2 и мембране 4, упругие элементы 17, 18 для подъема вакуумной рамы 3. При отсутствии вакуумирования имеются зазор между шаблонами 10, 11 за счет упругости материала направляющих 6 и 7 и зазор между рамой 3 и основанием 2. При вакуумировании через канал 5 вакуумная рама 3 опускается и плотно прижимается к основанию 2, мембрана 4 давит на упругую направляющую 6, обеспечивая плотный контакт фотошаблона 10 с верхним фоторезистивным слоем материала 14 и нижнего фоторезистивного слоя материала 14 с фотошаблоном 11. После экспонирования объем вакуумной рамы 3 заполняется атмосферным давлением, что обеспечивает зазор между фотошаблонами 10 и 11 под действием сил упругости направляющей 6 и зазор между вакуумной рамой 3 и основанием 2 под действием упругих элементов 17 и 18. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (g))g С 03 В 27/02

ГОСУДАРСТ8ЕННЫЙ НОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ

ПРИ ГННТ СССР (21) 4675134/24-10 (22) 07. 02,89 (46) 15 11 90. Вюп. И 42 (72) Г1.Г. Бекельман и В, В,Целковский (53) 778 ° 11 (088.8) (56) Автор с кое с вид ет ел ьство СССР

Р 699474, кл. С 03 В 27/02, 1979. (54) УСТРОЙСТВО ДВУСТОРОННЕГО КОНТЛКТНОГО ФОТОКОПИРОВЛНИЯ (57) Изобретение относится к устройствам для экспонирования при контактном печатании. Цель изобретения— упрошение конструкции устройства, снижение его метяллоемкости и энергопотребления, а также расширение функциональных возможностей. Устройство содержит плиту 1, прозрачное основание 2, вакуумную раму 3, мембрану 4, канал 5 разрежения, упругие направляюшие 6 и 7, прокладки 8 и 9, фотошаблоны 10 и 11, источники 12 и

13 актиничного излучения, экспонируемый материал 14, светоотражающие по„, ЯО„„4606957. А 1 крытня 15 и 16 на основании 2 и мембране ч,упругие элементы 17, 18 для подъема вакуумной рамы 3. При отсутствии вакуумирования имеются зазор между шаблонами 10, 11 за счет упругости материала направляю1иих 6 и 7 и зазор между рамой 3 и основав вием 2. При вакуумирогянип через канал 5 вакуумная рама 3 опускается и пл от по прижимается к основа нию 2, ме:1раня 4 давит на упругую направляюшую 6, обсспечивая плотный контакт фотошяб: она 10 с верхним фоторезистивным слоем материала 14 и нижнего фоторезистивного слоя матери;:.ля 14 с фотошяблоном 11. После экспонирования объем вакуумной рамы

3 заполняется атмосферным давлением, что обеспечивает зазор между фотошяблонами 10 и 11 под действием спл угпругости направляющей 6 и зазор между вакуумной рамой 3 и основанием

2 под действием упругих элементов

17 . -: 18. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.

1606957

Изобретение относится к устройствам для экспонирования при контактном печататттти, в частности предназначено для двусторонней контактной фотопечати .

Целью изобретения является упрощение конструкции с одновременным уменьшением металлоемкости, энергопотр ебл ения, расшир ение функциональных возможностей за счет обеспечения копирования на основе металлизированных масок, а также повышение качества фотокопирования.

Па фиг. 1 представлена принципи- . альная схема устройства в положении зазора между фотошаблонами при .перемещении экспонируемого материала с фотбрезистивными слоями; на фиг. 2— то же, в положении контакта фотошаблона с материалом при экспонировании фоторезистивных слоев, Устройство состоит из плиты ттрозрачного основания 2, вакуумной рамы 3, мембраны 4, канала 5 разреже- 25 ния, упругих направлятощих 6 и 7, прокладок 8 и 9, фотошаблонов 10 и 11, источников 12 и 13 актиничного излучения, экспонируемого материала в виде ленты с фоторезистивными слоями

14; светоотражающих покрытий 15 и 16 на основании и на мембране, упругих элементов 17 и 18 для подъема вакуумной рамы.

Устройство работает следующим обРазом.

Узел совмещения и копирования, представляющий собой совмещенные фотошаблоны 10 и 11 на упругих прямоугольньтх направляющих 6 и 7, располагается на прозрачном основании 2 в .вакуумной раме 3. При отсутствии вакуумирования имеется зазор между шаблонами за счет упругости материала напРавляющих 6 и 7 и зазор между ра- 45 мой 3 и основанием 2, осуществляемый поднятием рамы упругими элементами

17и 18, При вакуумировании через канал 5 разрежения вакуумная рама 3 опускается и плотно прижимается к основанию, что способствует дальнейшему разрежению объема под вакуумной. рамой 3 и давлению мембраны 4 на упругую направляющую 6, что обеспечивает в конечном итоге плотный контакт фотошаблона 10 с верхним фоторезистивным слоем материала 14 и нижнего фоторезистивного слоя материала 14 с фотошаблоном 11. После обеспечения контакта производится экспонирование фоторезистивных слоев источниками 12 и 13 актиничного излучения скво зь экспозиционные окна в упругих направляющих 6 и 7, сквозь отверстие в основании 2 и сквозь незащищенные отражающим покрытием участки поверхности основания 2 и мембраны 4. По окончании экспонирования после снятия вакуумирования через канал 5 разрежения снимается давление на мембрану

4 и вакуумную раму 3 и обеспечивается под действием сил упругости материала направляющей 6 зазор меткцу фотошаблонами 10 и 11 и под действием упругих элементов 17 и 18 зазор между вакуумной рамой 3 и основанием 2.

Перемещение материала с фоторезистивными слоями с гарантированным зазором между фотошаблонами исключает повреждение фоторезистивных слоев на материале основой фотошаблона и повреждение и равно загрязнение мас кирующего слоя .фотошаблона, что определяет качество фотокопирования, В предлагаемом устройстве узел совмещения выполнен в виде двух уттругих параллельно расположенных прямоугольных направляющих, соединенных между собой по торцовой стороне посредством прокладок, зазор между которыми соответствует величине

2а + b где а — толщина одного фотошаблона, Ъ вЂ” зазор между фотошаблонами, равный гд е т," — касательная напряжения, G — модуль упругости направляющих, выполненных из изотропного материала, при этом в направляющих узла совмещения выполнены соосные экспозиционные окна, а средство вакуумирования выполнено в виде одного канала разр ежения.

Кроме того, в устройстве в прозрачном основании выпо.".нено отверстие, соответствующее по форме экспозиционным окнам направляющих, и нанесено светоотражающее покрытие на

5 мембрану вакуумной рамы и на основание вне экспозиционных окьн.

Прямоугольность направляющих опре делена тем, что напряженному состоянию чистого сдвига соответствует напряженное состояние по двум взаимно перпендикулярным площадкам.

Ввиду отсутствия необходимости выполнения вакуумных присосок для фотошаблонов в основании и в вакуумной раме и других конструктивных доработок в целях обеспечения зазора между шаблонами конструкция предложенной вакуумной рамы обладает меньшей сложностью и меньшей металлоемкостью. При этом достижение зазора и контакта между основанием и рамой достигается не подачей и отводом воздуха, а только отводом воздуха и применением упр.угих элементов, благодаря указанному упрощению и уменьшению металлоемкости, что непосредственно ведет к уменьшению энергопотребления устройства в целом.

Наличие в прозрачном основании отверстия, соответствующего по форме и размерам экспозиционным окнам направляющих, совместно с нанес енным на остальную поверхность основания и на поверхность мембраны светоот-. ражающим покрытием обеспечивает повышение качества иэображения при фотокопировании за счет снижения температурных погрешностей при экспонировании. Отверстие в прозрачном основании способствует уравнению величин потоков актиничного излучения при экспонировании верхнего и нижнего слоев фоторезиста, осуществляемого расположенными с двух сторон источниками.

Таким образом, конструкция предлагаемого устройства обладает меньшей сложностью и меньшей металлоемкостью, что ведет также к уменьшению .энергопотребления устройства в целом.

В устройстве расширены функциональ ные возможности в связи с обеспечением копирования на основе металлизи- рованных масок, что ведет к повышению качества фотокопирования.

069 57

6 формула изобретения

1. Устройство двустороннего контактного фотокопирования, содвржащее два совмещенных относительно друг друга фотошаблона, расположенные в вакуумной раме на прозрачном основании узла совмещения и копирования, снизу и сверху относительно которого установлены осветители, и средства вакуумирования, о т л и ч а ю щ е ес я тем, что, с целью упрощения конструкции с одновременным уменьшением металлоемкости и энергопотребления и расширения функциональных возможностей за счет обеспечения копирования на основе металлизированных масок, узел совмещения и копирования

2О выполнен в виде упругих параллельно расположенных прямоугольных направляющих, соединенных между собой по торцовым сторонам посредством прокладок, зазор между которыми соответствует величине

L=2a+b, где а — толщина одного фотошаблона, Ь вЂ” зазор между фотошаблонами, равный

Лг

Ь "p

G где — касательная напряжения, G — модуль упругости направляю35 щих, выполненных из иэотрочного упругого материала, при этом в направляющих узла совмещения вып олнены соосные экспозиционные окна, а средство вакуумирования выполнено в ниде одного канала разрежения.

2. Устройство по п. f, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения качества изображения при фотокопировании за счет снижения температурных погрешностей, в прозрач° ном основании вьполнено отверстие, соответствующее по форме. экспозиционным окнам направляющих, а на мембране вакуумной рамы и на основании вне экспозиционных окон нанесено свегоотражающее покрытие.

1606957

1<орректор А.Осауленкс

Тираж 3 75

Подписное

ВЦИИПИ Государственного комитета по изобретениям и. открытиям при ГК ;ll СССР

113035, Москва, И-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат Патент", г, Ужгород, ул. Гагарина, 101

Редакт.ор К. Коп Ia

Заказ 3549

Составитель B,Àðõèïoâ

Х ехр ед М. Дидык