Способ определения газовой компоненты
Изобретение относится к полупроводниковому газовому анализу и может быть использовано для качественного определения газовой компоненты. Цель изобретения - повышение селективности способа за счет колебательного возбуждения молекул. Способ заключается в регистрации предварительно откалиброванного параметра - начала изменения электрофизических свойств (электропроводности, работы выхода) полупроводниковой пленки при повышении температуры термического источника колебательно-возбужденных молекул при подаче в рабочую камеру неизвестной газовой компоненты. В камере размещают термический источник колебательно-возбужденных молекул в виде снабженного нагревателем высокотемпературного диэлектрика. Подают исследуемую газовую компоненту, повышают температуру диэлектрика. Регистрируют температуру начала изменения электропроводности или работы выхода электрона.
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК (19) (51)s G 01 N 27/12
ГО У
ПО И
HP ник исп ния — по нико испо ния тивн возб
ДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ
ЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ
ГКНТ СССР
BTOPCKOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4 (22) 0 (46) 2 (72) Э (53) 5 (56) М
Вод
ЩИ
ДА
А
N 1 (54)
КО (57) И
648817/25-25
4.01.89
3.11.90. Бюл. N. .43 ,Е,Гутман, И.А.Мясников и В.М.Телия
43.274 (088,8) ясников И.А., Малинова Г,В, Полупроиковые зонды, раздельно регистрируюсвободные радикалы и молекулы.—
СССР, 1964, т. 159, с. 894, вторское свидетельство СССР
42796, кл. G 01 N 27/02, 1986, СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ГАЗОВОЙ
ПОНЕНТЫ зобретение относится к полупроводвому газовому анализу и может быть льзовано для качественного определеазовой компоненты. Цель изобретения
ышение селективности способа за счет зобретение относится к полупроводому газовому анализу и может быть ьзовано для качественного определеазовой компоненты. ель изобретения — повышение селексти способа за счет колебательного ждения молекул. ущность способа заключается в том, ализируемый газ подают из баллона зовой коммуникации в предварительвакуумированную герметичную касодержащую чувствительный элемент ический источник колебательно-возбуж х молекул. Чувствительный элемент авляет собой полупроводниковую пленида металла, нанесенную на огнеупорзолирующую подложку из кварца, енную платиновыми контактами для изчто а или г нос меру, и тер денн предс ку ок ную снаб колебательного возбуждения молекул, Способ заключается в регистрации предварительно откалиброванного параметра начала изменения электрофизических свойств (электропроводности, работы выхода) полупроводниковой пленки при повышении температуры термического источника колебательно-возбужденных молекул при подаче в рабочую камеру неизвестной газовой компоненты. В камере размещают термический источник колебательно-возбужденных молекул в виде снабженного нагревателем высокотемпературного диэлектрика. Подают исследуемую газовую компоненту, повышают температуру диэлектрика, Регистрируют температуру начала изменения электропроводности или работы выхода электрона. мерения электропроводности. Термический источник колебательно-возбужденных молекул изготовлен в виде высокотемпературного диэлектрика, снабженного нагревателем. После подачи газа в рабочую камеру нагревают источник и, варьируя его нагрев, регистрируют ту температуру, при которой начинается изменение электропроводности или работы выхода полупроводниковой пленки оксида металла при подаче в рабочую камеру неизвестных газовых кОмпонент. По калибровочным данным качественно определяют газовую компоненту, соответствующую этой температуре.
Данные калибровки измеряемого параметра — температуры источника колебательновоэбужденных молекул, соответствующей началу изменения электропроводности или
1608549
Составитель Н.Преображенская
Техред M.Ìîðãåíòàë Корректор Л.Патай
Редактор И.Горная
Заказ 3612 Тираж 511 Подписно е
ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5
Произволственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул.Гагарина, 101 работы выхода полупроводниковой пленки
ZnO при подаче в рабочую камеру известных газовых компонент, соответственно равны, С: Oz 320; N2 610; Т2 690; Ог 900; Нг
1200, После подачи неизвестной газовой компоненты чувствительный элемент выдерживают до постоянного значения электропроводности или работы выхода электрона, Затем повышают температуру термического источника, при этом начинается изменение электропроводности и работы выхода чувствительного элемента, качественно определяют газовую компоненту.
П р и м е.р 1. Определение дейтерия в качестве неизвестной газовой компоненты с помощью чувствительного элемента из окиси цинка.
Полупроводниковую пленку Zn0 наносят на огнеупорную изолирующую подложку из кварца, снабженную платиновыми контактами для измерения электропроводности. Подготовленный таким образом чувствительный элемент помещают в вакуумную камеру и напускают неизвестную газовую компоненту до давления 10 торр, затем повышают температуру термического источника и следят за электропроводностью полупроводниковой пленки. При достижении 900 С начинается изменение электропроводности пленки ZnO, По калибровочным данным этой температуре соответствует дейтерий.
Пример 2. Определение кислорода в качестве неизвестной газовой компоненты.
5 Последовательность операций такая же, как в примере 1, но в качестве электрофизического параметра измеряют работу выхода, Формула изобретения
10 Способ определения газовой компоненты, заключающийся в том, что анализируемый газ подают в герметичную камеру, содержащую чувствительный элемент, представляющий собой полупроводнико15 вую пленку оксида металла, и измеряют изменение ее электропроводности или работы выхода электрона, отличающийся тем, что, с целью повышения селективности способа за счет колебательного возбуждения
20 молекул, в камере размещают термический источник колебательно-возбужденных молекул в виде снабженного нагревателем высокотемпературного диэлектрика, подают исследуемый газовый компонент, по25 вышают температуру диэлектрика и регистрируют температуру начала изменения электропроводности или работы выхода электрона пленки оксида металла, по которой качественно on30 ределяют газовую компоненту.
