Узел откачки корпуса электронного блока и способ его герметизации

 

Изобретение относится к микроэлектронике . Цель изобретения - повышение технологичности конструкции и качества герметизации узла откачки корпуса электронного блока. Способ реализован в устройстве. Для достижения цели в капле низкотемпературного пластичного металла 3, например индия, выполнено наклоненное под углом 90° отверстие 5, сопряженное с отверстием дна углубления 2 стенки корпуса. Заполнение углубления 2 каплей низкотемпературного пластичного металла осуществляют путем механической деформации стенок отверстия 5 капли в направлении, перпендикулярном плоскости размещения ветствующей стенки, 2 с. и 4 з.п. ф-лы, 3 ил. se

союз советских социАлистических

РЕСПУБЛИК

„,ЯО„„1619432 (51)5 Н 05 К 5 06

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н АВТОРСКОМ У СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ

fo изОЬРетениям и стнРытиям

f1PH ГКНТ СССР

1 (21) 4612804/21; 4616103/21 (22) 05.12.88 (46) 07.01.91. Бюл. 0- 1 (72) А.Н.Ломакин, А.С.Иващенко, А.В.Нечипуренко и А.Ю.Чесноков (53) 621.396.67.7 (088.8) (56) Блоки микроэлектронной аппаратуры на микросборках. Конструкция и размеры. ОСТ-92-4583, с.10.

Иартынов Б.А., Райков П.Н, Кварцевые резонаторы. Элементы радиоэлектронной аппаратуры, - M.: Сов. радио, 1976, вып. 34, с, 16. (54) УЗЕЛ ОТКАЧКИ КОРПУСА ЭЛЕКТРОННОГО БЛОКА И СПОСОБ ЕГО ГЕРМЕТИЗАЦИИ (57) Изобретение относится к микроэлектронике. Цель изобретения. — повьнление технологичности конструкции и качества герметизации узла откачки корпуса электронного блока. Способ реализован в устройстве. Для достижения цели в капле низкотемпературного пластичного металла 3, например индия, выполнено наклоненное под углом 90 отверстие 5, сопряженное о с отверстием дна углубления 2 стенки корпуса. Заполнение углубления 2 каплей низкотемпературнаго пластичного металла осуществляют путем механической деформации стенок отверстия 5 капли в направлении, перпендикулярном плоскости размещения соответствующей стенки, 2 с. и 4 з.1I ° ф-лы, 3 ил.

1619432

Изобретение относится к микроэлектроннои аппаратуре, в частности к конструкциям корпусов герметичных гибридных микросборок.

Цель изобретения — повышение технологичности конструкции и качества герметизации, упрощение процесса.

На фиг. 1 показан узел откачки корпуса электронного блока; .на фиг. 2 — то же,при подаче инструмента перпендикулярно плоскости крышки; на фиг. 3 — та же,при поступательном движении инструмента клиновидной формы.

Узел откачки включает крышку

1 с углублением 2> заполненным каплей низкотемпературного металла 3.

Углубление 2 имеет отверстие 4, совмещенное с наклонным отверстием о

5, выполненным под углом 30...60 к плоскости крьшпси 1 в металле, которым заполнено углубление 2 в крышке 1; 25

В качестве металла для заполнения углубления может быть использован индий как материал, наиболее легко подвергаемый холодной сварке пластической деформацией, 30

П р и м p. p . В KpbIIHK pтолщиной

0,5 мм и менее углубление выполняется штамповкой, диаметр углубления

2,0...2,5 мм, глубина углубления

O 3...0,5 мм, диаметр отверстия в крышке О, 6...0,8 мм, диаметр откачного отверстия в металле 0,3...0,5 мм, угол наклона отверстия относительно плоскости крышки 30...60

О

В крьш1ке толщиной более О, 5 мм достаточно в качестве углубления вы/ полнить отверстие диаметром О,о...

0,8 мм с зенковкай 2,0...2 5 мм.

Углубление в крышке с указанными размерами заполняется расплавлением диска из индия марки ИН2 диаметром

1,5...2„0 мм и толщиной 0,3..,0,4 мм.

Герметизация узла откачки осуществляется после откачки и заполнения полости корпуса нейтральным газом, например азотом или аргоном, путем механической деформации металла 3 инструментом 6 без расплавления в направлении, перпендикулярном плоскости крышки 1 (фиг. 2). В результа55 те происходит холодная сварка металла

3 в отверстии 5. Хорошие результаты дает деформация индия инструментом клиновидной формы при поступательном движении инструмента относительно крьш ки 1 (фиг, 3) . Этот метод поз-.. воляет легко нормировать усилие деформации индия путем подпружинивания инструмента с обратной стороны. Дпя уменьшения усилия на крышку и наилучшего уплотнения металла при деформации рекомендуется к инструменту приложить ультразвуковые колебания с частотой 30...40 кГц и мощностью

40...60 Вт.

Для предотвращения окисления отверстие в индии выполняют непосредственно перед герметизацией блока путем рокалывания иглой.

Конструкция узла откачки корпуса позволяет легко автоматизировать процесс герметизации, который может быть использован в массовом производстве, и обеспечивать степень герметичности корпуса до 5 10 л.мкм рт.ст/с.

-5

Изобретение исключает технологический отход микроблоков на операции окончательной герметизации и обеспечивает повышение качества и надежности изделий, в которых применяются микроэлектронные блоки и микросборки. так как выход из строя микроэлектронного блока ввиду попадания припоя может привести к выходу из строя изделия в целом.

Формула изобретения

Узел откачки корпуса электронного блока„ выполненный в виде отверстия на дне углубления стенки корпуса, которое заполнено каплей низкотемпературного пластичного металла, отличающийся тем, ;то, с целью повышения технологичности конструкции, в капле низкотемпературного .;ластичногс металла о выполнено наклонное под углом 90 к плоскости размещения соответствующей стенки отверстие, которое сопряжено с отверстием дна углублениястенки корпуса.

2. Способ герметизации узла откачки корпу а электронного б ока, включающий заполн ние углубления стенки корпуса в месте расположения отверстия каплей низкотемпературного пластичного металла,. о т л и ч а— ю шийся тем, что, с целью повышения качества герметизации и упрощения процесса, заполнение углубления стенки .корпуса каплей низкотемСоставитель В.Садов

Техред Л.Олийнык

Корректор Т Малец

Редактор В. Петраш

Заказ 56 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул.. Гагарина, 1

1619432

6 пературного пластичного металла осу- сферическую форму, а ультразвуковые ществляют путем механической дефор- колебания инструмента осуществляют мации стенок наклонного отверстия в направлении, перпендикулярном плоскапли в направлении, перпендику- кости размещения соответствующей лярном плоскости размещения соответ- стенки корпуса. ствующей стенки. 5. Способ по и. 3, о т л и ч а3. Способ по п. 2, о т л и ч а — ю шийся тем, что профилированю шийся тем, что, с целью умень- ная рабочая поверхность инструмента шения усилий для обеспечения меха- 10 имеет скос, а ультразвуковые колебанической деформации стенок отверстия, ния инструмента осуществляют в напмеханическую деформацию стенок отверс- равлении, параллельном плоскости разтия осуществляют с помощью инструмента мещения соответствующей стенки корпус профилированной рабочей поверхса. ностью, который подвергают ультразвуковым колебаниям. 6. Способ по пп, 2-4, о т л и4. Способ по п. 3, о т л и ч а ю- чающий с я тем, что в качестве шийся тем, что профилированная . низкотемпературного пластичного мерабочая поверхность инструмента имеет талла используют индий,