Способ микропозиционирования объекта

 

Изобретение относится к измерительной технике с использованием оптических средств измерений и может быть использовано в волоконно-оптических системах сбора , обработки и передачи информации Цель изобретения - повышение точности установки обьекта в заданной точке пространства и расширение функциональных возможностей способа При реализации способа используют излучающий световод 1, приемный световод 2, сферический отражатель 3. Световоды первоначально удалены на одинаковое расстояние от оси зеркала и их торцы установлены на одинаковом расстоянии от плоскости зеркала, равном радиусу кривизны зеркала. 4 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (5!)5 G 01 В 11/02

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4604329/28 (22) 10.11.88 (46) 15,01.91, Бюл, N. 2 (72) В,И.Аджалов, В.M.Ãàðè÷åâ, Г.Л.Есаян, С.Г.Кривошлыков и В.П,Скиба (53) 534.784(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

N 1416862, кл. G 01 В 11/02, 1986. (54) СПОСОБ МИКРОПОЗИЦИОНИРОВАНИЯ ОБЪЕКТА (57) Изобретение относится к измерительной технике с использованием оптических средств измерений и может быть использо„„5LJ„„1620825 А1 вано в волоконно-оптических системах сбора, обработки и передачи информации, Цель изобретения — повышение точности установки объекта в заданной точке пространства и расширение функциональных возможностей способа. При реализации способа используют излучающий световод

1, приемный световод 2, сферический отражатель 3. Световоды первоначально удалены на одинаковое расстояние отоси зеркала и их торцы установлены на одинаковом расстоянии от плоскости зеркала, равном радиусу кривизны зеркала. 4 ил.

1620825

Т П=Т, (щ!.п!) 1/2х

Х Hmn (C, О1, () ), ko) 1 ——

Ро

k (О

Ро

kN

Ро

k (L)

1 ——

Ро где С =45

Pp — k c0 — —, R

v> = — 2k и (A + u ); (cu) 1/2 г р. — (г К cu (Л+ О );

Н вЂ” двумерные полиномы Эрмита);.

Л вЂ” величина смещения отражателя;

Изобретение относится к измерительной технике с использованием оптических средств измерений и может быть использовано в волоконно-оптических системах сбора, обработки и передачи информации. 5

Цель изобретения — повышение точности установки объекта в заданной точке пространства и расширение функциональных возможностей способа;

На фиг. 1 изображена схема реализации .10 способа; на фиг. 2 — 4 — графики зависимости коэффициентов возбуждения мод LPoo, LPp< и LP >p во втором световоде при возбуждении в первом моды LPoo.

На фиг, 1 изображены излучающий све- 15 товод1, приемный световод 2, сферический отражатель 3. Световоды изначально удалены на одинаковое расстояние от оси зеркала d и их торцы установлены на одинаковом расстоянии от плоскости зеркала, равном 20 радиусу кривизны зеркала R.

При реализации способа в световоде 1 возбуждают фундаментальную моду LPpp, а на выходе световода 2 детектируют эту моду и раздельно от нее не менее чем на одну 25 моду LPpn или LPnp, o = 1,2„,.

При этом зеркало перемещается перпендикулярно оптической оси.

B соответствии с теорией можно в явном виде определить соотношения, опре- 30 деляющие коэффициент связи мод градиентных световодов 1 и 2 с градиент.— ным, параметром (о в схеме фиг. 1. Интегралы перекрытия моды m первого световода и и второго световода Tm имеют следующий вид:

|о — I ехр )к 2 + 2)2 2 г ехр (— kru !Aã + uã )—

Ро

Коэффициенты связи мод равны квадратам модулей соответствующих интегралов перекрытия

Umn = l Tmn l2

На фиг. 2-4 приведены результаты вычислений коэффициентов связи мод LPoo, LPp1 и LP >o второго световода с модой LPoo первого световода от смещения Лдля различных величин d. Анализ приведенных зависимостей позволил установить. что коэффициенты связи фундаментальной моды с модами LPpn и LPnp, и = 1,2,... имеют немонотонный характер, Следовательно, измеряя дополнительно к основной моде мощность мод Р „или Р«, можно получать дополнительную информацию о положении обьекта и, следовательно, выставлять его в заданную точку. пространства с большей точностью. Также следует отметить возможность выставления обьекта в "ненулевую точку" по максимуму сигнала в той или иной моде (гогда как в прототипе это можно сделать только путем высокоточных абсолютных измерений).

Пример. Для возбуждения моды LPpp и выделения моды LPo< использовались синтезированные на ЭВМ модовые фильтры.

Модой LPoo, полученной в результате фиг)ьтрации коллимированного излучения

Не — Ne лазера Лà — 38, возбуждался градиентный световод с диаметром серцевины 50 мкм и диаметром оболочки 125 мкм. Фильтрация моды LPot в приемном световоде и измерение интенсивности этой моды велись одновременно с плавным перемещением отражателя в.диапазоне )- 10 мкм от исходного, нулевого положения, Максимум интенсивности, т,е. выставление обьекта в заданную точку. наблюдался на уровне

3 дБ при смещении отражателя на 2.85 мкм 0,03 мкм. Таким образом, по сравнению с прототипом предложенный способ обеспечивает повышение точности установки обьекта в заданной точке пространства и расширение функциональных возможностей способа, Формула изобретения

Способ микропозиционирования объекта, заключающийся в том, что оптически со1620825 бог,7

) oo прягают два многомодовых волоконных световода посредством сферического отражателя, связанного с объектом, вводят оптическое излучение в один световод, измеряют уровень мощности излучения во втором световоде и по изменению этого уровня судят о пространственном расположении объекта, отличающийся тем, что, с целью повышения точности установки объекта в заданной точке пространства и расширения функциональных возможностей способа, в первом световоде воэбужда5 ют фундаментальную моду LPoo, а уровень излучения во втором световоде измеряют в фундаментальной моде и не менее чем в одной моде 1.Роп или LPoo, fl = 1,2....

1620825

UB.

Составитель Е.Воронин

Техред М.Моргентал Корректор О.Кравцова

Редактор Н.Горват

Производственно-издательский комбинат "Пате ", . р нт", r. Ужго од, ул.Гагарина, 101

Подписное.

Заказ 4237 т ниям и отк ытиям при ГКНТ СССР

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и р

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб;, 4/5

Способ микропозиционирования объекта Способ микропозиционирования объекта Способ микропозиционирования объекта Способ микропозиционирования объекта 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения малых перемещений

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано как чувствительный элемент при измерении широкого класса физических величин

Изобретение относится к измерительной технике, к оптоволоконным датчикам перемещений

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в волоконно-оптических системах сбора, обработки и передачи информации

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике контроля и может быть использовано при литографической обработке изделий для контроля топологических структур на фотошаблонах и пластинах в процессе их формирования

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при прецизионных измерениях перемещений объекта

Изобретение относится к измерительной технике и используется при изготовлении кристаллических элементов

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для преобразования линейных перемещений

Изобретение относится к измерительной технике

Изобретение относится к измерительной технике, конкретно к интерферометрам для измерения малых (0,5 мкм) перемещений

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано в машиностроении, черной и цветной металлургии при производстве проката, в резино-технической и химической промышленности при производстве трубчатых изделий без остановки технологического процесса

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано в системах АСУ ТП промышленных предприятий

Изобретение относится к волоконно-оптическим системам передачи в измерительной технике и может быть использовано для измерения перемещений объекта

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть применено для измерения линейных размеров и профилей объектов в машиностроении, приборостроении, в автоматических линиях по производству проката
Изобретение относится к гистологии, касается морфометрической оценки тучных клеток мезометриальной брыжейки крыс

Изобретение относится к волоконно-оптическим системам измерения и может быть использовано для измерения перемещений объекта

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для широкого круга измерительных задач при оценке не плоскостности, не перпендикулярности, величин прогибов и др
Наверх