Устройство для контроля поверхностей детали
Изобретение относится к измерительной технике и используется при изготовлении кристаллических элементов. Целью изобретения является расширение номенклатуры контролируемых поверхностей. Направляют излучение от источника 1 через поляризатор 2, щелевую диафрагму 7 и положительную линзу 6 на торцы детали 5, между поверхностями которой происходит многократное отражение излучения. На выходе из детали 5 улучшение проходит двухщелевую диафрагму 8 и анализатор 3 и попадает на фотодетектор 4, при этом в зависимости от качества отработки поверхностей детали 5 изменяется интенсивность прошедшего через деталь 5 излучения. 1 ил.
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК (51) 5 G 01 В 11/02
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
Н ABTGPCH0MY СВИДЕТЕЛЬСВ ГВУ
ГОСУДАРСТВЕКНЫЙ КОМИТЕТ
ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЬГИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР (21) 4004111/25-28 (22) 09 ° 01.86 . (46) 23.10.90. Бюл. г 39 (72) А.А.Олейников, Т.Г.Некрич, А.М.Болдырев и В.П.Вумилин (53) 53 1.715.27(088.8) (56) Ванюрихин Л,И. и др. Оптико-электронные поляризационные устройства.
Киев: Техника, 1984, с. 136. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ПОВЕРХНОСТЕЙ ДЕТАЛИ (57) Изобретение относится к измерительной технике и используется при изготовлении кристаллических элемен„„SU„, 1 1 11 А1
2 тов. Целью изобретения является расширение номенклатуры контролируемых поверхностей. Направляют излучение от источника 1 через поляризатор 2, щелевую диафрагму 7 и положительную линзу 6 на торцы детали 5, между поверхностями которой происходит многократное отражение :излучения. На выходе из детали 5 улучшение проходит двухщелевую диафрагму 8 и анализатор
3 и попадает на фотодетектор 4, при этом в зависимости от качества отработки поверхностей детали 5 изменяется интенсивность прошедшего через деталь 5 излучения. 1 ил.
1601511 симости от качества обработки поверхностей детали 5 изменяется интенсивность прошедшего через деталь 5 излучения .
В случае контроля полированных кристаллических элементов излучение выходит из детали 5, но посредством системы из двух плоских зеркал 9 и
10, предназначенных для установки вдоль контролируемой детали 5, паоаллельно общим по обе стороны от нее, отражается в деталь 5. Последующий контроль производится как и в первом случае.
Формула и з о б р е т е н и я
Составитель H.Çàõàðåíêî
Техред Л.Сердюкова Корректор С.Шевкун
Редактор Л.Зайцева
Заказ 3266 Тираж 494 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР
113035, Москва, 3-35, Раушская наб., д. 4/5
Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина,101
Изобретений относится к измерительной технике и используется при иЗготовлении кристаллических элементов.
Цель изобретения - расширение номенклатуры контролируемых поверхностей.
На чертеже представлена схема устройства для контроля поверхностей детали.
Устройство содержит источник излучения и последовательно установленные по ходу излучения от источникЭ поляризатор 2, анализатор 3 и
Фотодетектор 4, контролируемую деталь 5, положительную линзу 6, предназначенную для установки между кфнтролируемой деталью 5 и поляризатором 2, щелевую диафрагму 7, расположенную между линзой 6 и поляризатором 2, двухщелевую диафрагму 8, предназначенную для установки между кфнтролируемой деталью 5 и поляризатором 2, а также систему из двух плоских зеркал 9 и 10, предназначенных для установки вдоль контролируемой детали 5, параллельных образующим по обе стороны от нее.
Устройство работает следующим образом.
Предварительно полируют торцы деталей 5 - кристаллических элементов.
Направляют излучение от источника 1 через поляризатор 2, щелевую диафрагму 7 и положительную линзу 6 на торцы детали 5, между поверхностями которой происходит многократное отражение излучения. На выходе из детали
5: излучение проходит двухщелевую диафрагму 8 и анализатор 3 и попадает ®0 на фотодетектор 4, при этом в зави1. Устройство для контроля поверхностей детали, содержащее источник излучения и последовательно установленные по ходу излучения от источника поляризатор, анализатор и Фотодетектор, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью расширения номенклатуры контролируемых поверхностей, оно снабжено положительной линзой, предназначенной для установки между контролируемой деталью и поляризатором, щелевой диафрагмой, расположенной между линзой и поляризатором, кольцевой диафрагмой, предназначенной для установки между контролируемой деталью и поляризатором.
2. Устройство по и. 1, о т л ич а ю щ е е с я тем, что оно снабжено системой из двух плоских зеркал, предназначенных для установки вдоль контролируемой детали, параллельно образующим по обе стороны от нее.
