Способ определения поверхностного сопротивления проводящей пленки

 

Изобретение относится к технике неразрушающего контроля полупроводниковых и металлических систем и может использоваться для измерения сопротивления RS квадрата поверхности тонких проводящих пленок ня диэлектрических подложках. Цель изобретения - повышение точности при определении поверхностного сопротивления низкоомной проводящей пленки. Устрой- , реализующее способ определения повер тостного сопротивления проводящей пленки, содержит СЗЧ-гекератор 1, не.аллический штырь 2, дзухзондовую гзмерительную линию (ДИЛ) 9 с измерительными зондами 3,4, излучахель 5, перед которым располагают образец 6 исследуемой проводящей пленки,регистратор 7. Сначала перед излучателем 5 размещают эталонный образец с наименьшим .Ј из заданного диапазона. Зонг;ы 3 и 4 перемещают вдоль ДНЛ 9 до получения максимальногс уровня сигнала с зонда 3 и минимального - с зонда 4. Затем вводят в ЛИЛ 9 «--еталлический штырь 2, изменяют его положение вдоль ДИЛ 9 и глубину погружения , добиваясь повышения максимального уровня сигнала на зонде 3. Затем вместо эталонного образца помещают исследуемый образец G и измеряют суммарный сигнал с зондов 3 и 4. Величину RS определяют по градуировочной кривой. 2 ил. (С (Л С& N) С СО

СОЮЗ СОВЕТИ(ИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН (51)5 G 01 R 27/04

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

H А STOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И 01НРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4462301/09 (22) 20. 07. 88 (46) 07, 02. 91. Бюл. 1 . 5 (71) Физико-энергетический пнс-.итут АН ЛатвССР (72) 10.К.Григулис, У ° P.Порис и Я.Э.Силиньш (53) 621.317.343 (088.8) (56) Черняев В,Н, и др. Активцьп

СВЧ-контроль сопротивления металлических пленок. — Приборы и системы управления, 1972, 11 9, с. 55-56.

Потапов А.И. и др. Технологичес— кий неразрушающий контроль пластмасс. — Л.: Химия, 1979, с. 267-270 (54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПОВЕРХНОСТНОГО СОПРОТИВЛГНИЯ ПРОВОДЯ!11 ЕЙ ПЛЕНКИ (57) Изобретение относцтся к технике неразрушающего контроля полупроводниковых и металлических систем и может использоваться для измерения сопротивления Е квадрата поверхности тонких проводящих пленок на диэлектрических подложках. Цель изобретения — повышение точности при опреÄÄSUÄÄ 1626191 А 1 де..- ении поверхностного сопротивления низка мной проводящей пленки. Устрой— с-во, реализующее способ определения понер. :гостного сопротивления проводящей ленки, содержит СВЧ-генератор

1, ii ° аллический штырь 2, двухзондовую i эмерительную линию (ДИЛ) 9 измерительными зондами 3,4, излучатель

5,перед которымрасполагают обра ец 6 исследуемой проводящей пленки,регистрагор 7, Сначала перед излучателем

5 размещают эталонньгй образец с. наименьшим R> из заданного диапазона.

Зонцы 3 и 4 перемещают вдоль Д1ГЛ 9 до получения максимальногс ровня сигнала с зонда 3 и минимального— с зонда 4. Затем вводят в,111Л 9 еталлический штырь 2, измечяют его положение вдоль ДИЛ 9 и глубину погружения, добиваясь повышения максимального уровня сигнала на зонде 3.

Затем вместо эталонного образца помещают исследуемый образец G и измеря— ют суммарный сигнал с зондов 3 и 4.

Величину R> определяют пп градуировочной кривой. 2 ил., 1626191

Изобретение относится к технике неразрушающего контроля тонкопленочных полупроводниковых и металлических систем и может использоваться для измерения сопротивления квадрата поверхности тонких проводящих пленок на диэлектрических подложках, например пленочных покрытий движущихся рулонных материалов. 10

Цель изобретения — повышение точности при измерении поверхностного сопротивления ниэкоомной проводящей пленки.

На фиг,1 приведена C груктурная электрическая схем» устройства,реализующего способ определения поверхностного сопротивления проводящей пленки; на фиг.2 — график зависимости величины разности суммарных сигналов (= о ги г г = г41 от сопротивления квадрата поверхности

Р. пленки при измерениях известным способом (кривая 1) и пр едл аг аемым (кривая II) (I« I о суммарный

Ъ сигнал на зондах при измерении эталонного образца с наименьшим В

I I — суммарные сигналы при измере-! нии контролируемого образца).

Устройство содержит СВЧ-генера30 тор 1, металлический штырь 2, измерительные зонды 3 и 4, излучатель 5, образец 6 исследуемой проводящей пленки, регистратор 7. вход 8 двухзондовой измерительной линии 9.

Способ реали lvl

Измерения проводят н трехсантиметровом диапазоне электромагнитных

40 волн. Эталошилй образец с наименьшим

R из заданного диапазона размещают

5 за излучателем 5 на некотором расстоянии (2,0 + 0,5 мм). Зонды 3 и 4 перемещают вдоль линии 9 до получения 45 максимального уровня сигнала с первого зонда 3, т.е. устанавливают зонд

3 в максимуме поля стоячей волны н измерительной линии 9, и минимального уровня сигнала с > второго зонда, 50 т ° е ° в минимуме стоячей волны. В этом положении зонды 3 и 4 фиксируют. В измерительную линию 9 вводят отражатель — металпичеcl,ий штырь 2 диаметром 0,8 % 0,05 мм и» глубину 5 мм. Путем перемещения штыря 2 вдоль измерительной линии 9 и измененiгcм глубины погружения доби«он тся повышения максимального урания сигнала на первом зонде. Положение штыря 2 фиксируется ° Сигналы с зондов 3 и 4 подают на регистратор 7 и определяют суммарный сигнал с зондов 3 и 4. Далее вместо эталонного образца помешают исследуемый образец 6 и определяют суммарный сигнал с зондов 3 и 4. По величине суммарного сигнала и градуировочной кривой на фиг.2 судят о величине R исследуемого образ5 ца 6.

Способ может быть исполbçован для контроля сопротивления низкоомных тонких проводящих пленок н процессе их напыления, а также для контроля других параметрон тонких слоев,снязанных с параметром R+ llапример слоеного сопротивления и их толщины и удельного сопоотинления.

Фор мул аизобретения

Способ определения пог ерхностного сопротивления проводящей пленки,заключающийся в возбуждении ГВЧ-энергией днухзондовой измерительнсй линии, измерении суммарного сигнала на выходах ее зондон при размещснин перед выходным концом днухэондоной измерительной линии образца исследуемой проводящей пленки и определение поверхностного сопротивления проводящей пленки по градуирово ной занисимости, отличающийся тем, что, с целью повышения точности при определении поверхностного сопротив— ления низкоомной проводящей пленки, предварительно перед выхс дным концом двухзондовой измеритсль«ой линии размещают эталонный cбразец с наименьшим значением понсpxllocтного сопротивления н измеря ..мом диапазоне значений, перемещают первый и второй зонды вдоль двухз <я. оной изМЕРИтЕЛЬНОй ЛИНИИ ДО II(iil v <Ч ЯИЯ МИнимального значения сигll,ill, на первом зонде и максимальногс па втором зонде и фиксируют полож< пия первого и второго зондов, затем нн 1лят в двухзондовую измерительную линию между ее входным коппс м « «ндами металлический штырь, кот< рый перемещают вдоль двухзондоной « «с рительной линии, и изменяют < улицу его погружения до получения ..;<к<..ималь-. ного значення сигнала н» г<ыходе первого зонда.

1626)9I

50

Флг. 2

Редактор И.Горная

Заказ 276 Тиун 409 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Иосква, Ж-35„ Раушская наб., д, 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород,„ул. Гагарина, 101 ь| рА а,I2 0 egg 150 2ОО 2М о,0%

Составитель P. Кузнецова

Техред N,Дидык Корректор А.0сауленко