Устройство для испытания на адгезию токопроводящих пленок на диэлектрических подложках

 

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано в процессе изготовления микроэлектронных схем и оптических элементри. Целью изобретения является повышение точности и производительности испытания и расширение диапазона контролируемых значений адгезии. Устройство содержит источник I напряжения, электростатический зонд 2, соединенный с приводом 3 его осевого перемещения, держатель 4, предназначенный для размещения на нем подложки 5 с пленкой 6, и систему 7 контроля, выполненную в виде измерителя электрической емкости между токопроводящей пленкой 6 и зондом 2. Принцип работы устройства заключается в создании электростатического поля, благодаря которому зонд 2 прижимается к пленке 6. Привод 3 осевого перемещения яонда обеспечивает усилие его отрыва в случае, когда сила прижатия превышает адгезию пленки 6 с подложкой 5. 1 ил. & (Л

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИН (51) 5

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А BTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4638983/28 (22) 16 в !! .88 (46) 15,02 ° 91, Бюл I!- 6 (72) P,À.Баявитов и В.В.Холопов (53) 620 ° 179.4(088 ° 8) (56) Заводская лаборатория, !974, У 4, с 433-434. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИСП!!ТА!!ИЯ IIA АД»

ГЕЗИЮ ТОКОПРОВОДЯЩИХ !ШЕНОК HA ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ !!ОДЛОЖКЛХ (57) Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано в процессе изго гон» пения микроэлектронных схем и оптических элементрн ° Целью изобретения является повышение точности и производительности испытания и расширение

„„SU„„1627931 А 1

2 диапазона контролируемых значений адгезии, Устройство содержит источник I напряжения, электростатический зонд 2, соединенный с приводом 3 его осевого перемещения, держатель 4, предназначенный для размещения на нем подложки 5 с пленкой 6, и систему 7 контроля, выполненную в виде измерителя электрической емкости между токопроводящей пленкой 6 и зон» дом 2 ° Принцип работы устройства заключается в создании электросгати» ческого поля, благодаря которому зонд 2 прижимается к пленке 6. Привод 3 осевого перемещения зонда обеспечивает усилие его отрыва в случае, tO когда сила прижатия превышает адгезию пленки 6 с подложкой 5 ° ил

t < ;, и .it 1< <3

П(."Е. -:- !i I t ()1) 10 и). -,, Г, «.(:на .;-„-!f 1. .t () I I ) (ГГ) Ч 1 1 И К 1

l ! l i I Е (- !.. t 1 i i :! с) Н д Гг- . !г г. fl, О(- 1 г ) < ) г ь ! (- < г

Г ) (! : г : JT! . " 1<1)!1.<(0",«. .Нн Ч

1< и,; 0)ijp:1:,(;i ..i .;(--,е .Тр та

1 - - <);; .!t ) <1<1 <)г!<Ка(Г le!C! ..j!"

<.г)t! ",r) г !" . !ОР OJl 1(TPOC 1 TTJ«(BOK!(H

«

rf — !.<)1tjiÄ!3:; (в(: !1 (!.1!е(<.<я, об",. ад ! t! 1.. ("<. :. T ) 1р)1 я Ги)3г)(ОTС я (. . СИЛОЙ Грг

< .- <2 (=О j. (1.:! I " t ь Т,,, "11!! 1()! (<.г г

i,с)цО(; < Ро :

< <

1,, < :

1< I г, .

jif 1 tjr" t < irtt <

; ;fr! t! <гс < г;

О чс и

1!г - tl!i

t t («< tjI!();)(1т <)ас, ь (j I A <) I t j ) ". с < ы х г ,(< (с<

«О Г! Е (!Р((пожЕНИ3! HJt Р г.: КИ ЕМКОСТЬ ъ(( о!(д< нса (ора "чонд-пленка" оста(тгя по .тоянной. 3то прои< ходит в случае, когда Р()д - Рас (P(JJJ, - адгезия (,(е(< к(к; 01л ) (<к< (1!)i.(Р qjt P c -Онд !

:!.(Jlpf1J. .rit3((fJ)f на! р;.-ли о грывае-.ся

t « ф РМ а)(< (Ю! Jr ("

l! (3

/ .! !бр . по г:0 1ч, ) -ttr

< г ток<) п()<аводг)(3J(Q Н(, ("«1 вонг!В долу(THI!Ort . 1Ч ЕНИЕ !, . !" с ) г 1«,.) „(,Jt ОП,,) )! p -;С с: (И т 3д,п !

t.У<. i(!!It <1 <(ГП(П:11 а РМЬ(11 i(0TH Hl(H l 1 !<0)< чи )!)с 1 )!!!!

< < с К! Т Р, 1 -! У! (0 r

:

) < ((: В I < С (O(11<ЫХ it)i о! г!песк <(х эле ме((.< 1.(ÐI.I TI; 1Ml.!

ii! (Я ((0331 (

tI Ii)(«!! 1 !, гитропируо -вии „. < <:! -!, «< .i.,:ii > 1 с ) И tl )!l! I", Н.< (И 1(0 <Е)(.1,)<:< 1:(,, «!(:!(òè(tåñJ(è

<(:, ((!Hit

li » меиеннс И)Ме!)ИТВПЯ eM:(OÑTJt В )с(r ñ 1 Hr.- е(Г!птр,",г !Io! ) ус гройства за

ОТ!)!)(В ОМ

::т по !<<кале прибора вичуап! « < .,си ровать г<омент отрыва пленки и сразу же прсоводить отбраковку негод (f»x по:г:; и, на 1 або ),,х де Га ях, беа при е;(еll<(я гестовых обри()цов и приводит

К,<.КОРЕН:JIB Пi):; С:;;1 О!(Р(ДЕЛЕНИЯ

-,! е:<) и) Te,е„, )BLL <(HJ(i-. проиаводи гс: 1! ) II труда, : c. ", f)0IT<ñ I Bo !Jàá0 l .)ет сr! Д ) юи(ик(Г)б

)ок, !

Ip: !«(ц!и !)абОТЫ;« t j !<С Гьа 3a!CJJf()r<а . >< Ь r !(И(111 г, !, " 1 <ТИ i(3СК01 0

Я, - . = ): ЛЬТ .. (< j ЗВ»ВаЮтCJJ !

,";;; :

: —; . О...".((!.)Г и, т. к )i;po"

l:,,! . и ri!l )ЕЕ 6, ПР((ВОД < Or Г В< ГО

.:",Г Г I<

<< . lt t J fj

t! t r . < :. i1

<г t!t..!!j j!l )lJ III t« (H 3 !r(<< <:з

)(LtltrJ(.!t .«(> В,С<:.t! ном ! ".<(1< .)\. <<Г (;, < .(л !IJ!;l Р О i ()и)(<:, I Ия 3< !. г<а

jg t1 B, <;

1б279 3, 10

С I cii l i p> ! Крс ц П, 1, r едак „;; 101 1н,.

3aKа.1 3 >

i и 1>,.1ж 3 7 H 1l i i,l l l ) ;! 1, 1, ч,1,,3с—

Прои 1 во,1.

i, li ) Ь i ..1с Ч . i но производить с помощью устройства определение годных и негодных деталей, Фор мул а изобретения

Устройство для исг1ытания на адгеэию токопроводящих пленок на диэлектрических подложках, содержащее источник напряжения, электростатический зонд, соединенный с источником, держатель, предназначенный для размеще» ния подложки с покрытием, и систему контроля адгезии, о т л и ч а ющ е е с я тем, что, с целью повышения точности и производительности. ь 1 =; .1Я 11 Ii 1ГшиРс 11 1н,11с! I i1с1 1О)1.1 контролируе11ык значе111111,гц1 i зии, о

ГIi2ГжЕ11О 11ссв tiссСОМ i ГЕB01 О ИЕ j)Еfi "1i.

НИЯ ЗОНД II0CЧЕЦ11Ий ВЫ11О11НЕН В В1

11еталличес кого стержня нанесси11ы на его раСочую поверк11ость;.1о

ОКИСЛа МЕтаЛЛа, Гос1ЩННа, Ц11ЭЛЕК Г11И

ЧЕСКая ПрОНИцас-МОСТЬ И 311LK Г,: И«.: К

Прос НО(ТЪ КОТОрого ВЫЙ!)а I ii S qI)ic> iid зонах соотве"сcтвенно с 1 1 i0 м,1о

10 ° 10 м, от 9 до 100 В/«От д, 9 ° 10 Б/М а С1 Г ГЕМа К1111 ВГ.,Н В1.

8 полнена в я 1це 11çìc,; ò-, .; 1 Kl ou

ЧЕСКОй ЕМКОСТИ МЕЖДУ ГОКОссРОВОДЯЩЕВ пленкой и электрос гатиче кчм зондо:",