Способ измерения расходимости пучка лазерного излучения

 

Изобретение относится к измерительной технике, Цель изобретения - расширение измеряемых значений расходимости и повышение точности измерений. Сущность изобретения в том, что измеряют диаметр сфокусированного пучка в зоне дифракции Фраунгофера, дополнительно преобразуют пучок в дискретный спектр угловых частот и измеряют угловое и линейное расстояния в плоскости регистрации между двумя угловыми частотами По резулыатам измерений судят о значении расходимости Изобретение позволяет согласовать значениеэпертуры регистрирующего устройства с размерами сфокусированного пучка. 1 ил.

СО1ОЗ CORF T C KHX

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РГ СГ1УБЛИК (я)э 0 01 J 5/50

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И OTKPblTMRM

ПРИ ГКНТ СССР

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (46) 23. 06 „92. Б1оп, lf 23 (21) 4618059/25 (22) 10.10.88 (71) Специальное конструкторское бюро

АН ЭССР. (72) Я.Г.Саскинд, К,Ю.Саар и Э.А.Урбаник (53) 536 5.(088 8) (56) Авторское свидетельство СССР

N 186563, кл. Н03 В 3/00, 1966.

Высокосов Е.П. и др. Методы измерения расходимости излучения оптических квантовых генераторов. — Измерительная техни, ка, 1978, N.. 5, с. 32. (54) спОсОБ изиБРения РАсхОДимОсти ."ПУСКА ЛАЗЕРНОГО ИГЛУаЕНИЯ

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерений расходимасти лазерного излучения.

Цель изобретения — расширение диапазона измеряемых значений расхадимости и повышение точности измерений.

На чертеже схематически изображено устройства для измерения расходимасти.

Оно содерх<ит установленные на общей оптической аси лазер 1, интерферометр 2

Фабри-Перо,фокусиаующую оптическую систему 3 и регистратор 4.

Способ реализуется следующим образам.

Излучение лазера 1 падают на интерферометр 2. где оно преобразуется в излучение с дискретным спектром угловых частот.

Фокусирующая система 3 в плоскости приемнога элемента регистратора 4 формирует иэображение этого спектра, Из известных параметров интерферометра 2 Фабри-Перо или путем непосредст-, сЫ 1630465 А1 (57) Изобретение относится к измерительной технике, Цель изобретения — расширение измеряемых значений расходимости и повышение точности измерений. Сущность изобретения в том, что измеряют диаметр сфокусированного пучка в зоне дифракции

Фраунгофера, дополнительно преобразуют пучок в дискретный спектр угловых частот и измеряют угловое и линейное расстояния в плоскости регистрации между двумя угловыми частотами. По резуль атам измерений судят а значении расходимости. Изобретение позволяет согласовать значение апертуры регистрирующего устройства с размерами сфокусированного пучка, 1 ил. венного измерения определяют угловое расстояние р между двумя выбранными частотами углового спектра, а в плоскости регистрации с помощью регистратора 4 измеряют линейное расстояние I между максимумами, соответствующими этим двум частотам. Поскольку условия для дифракции Фраунгофера выпал яются не только в фокальной плоскости и акусирующей системы 3, а в некоторой области вдоль оптическай оси, то регистратор 4 устанавливают в этой области так, чтобы расстояние 1 между двумя выбранными частотами разрешалось с наибольшей точностью.

Затем удаляют интерферометр 2 Фабри-Пера и с помощью регистратора,4 измеряют диаметр d пучка после прохождения фокусирующей системы 3. Из соотношения 9 д определяют значение О расходимости.

Возможность выбора положения регистратора 4 на оптической оси позволяет иэСоставитель С,Соколова

Техред М.Моргентал Корректор T,Ïàëèé

Редактор Т.Иванова

Заказ 2813...: Тираж 214 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушскал наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат . Патент", r, Ужгород, ул.Гагарина, 10! менять масштаб ка оптического l4306p3%8ния углового спектра, так и исходного пучка, что обеспечивает при заданной апертуре приемного"элемента регистратора 4, расширение диапазона измеряемых значений расходимости. Это исключает также погрешность измерений, обусловленную несовпадением плоскости приемного элеФента регистратора 4 с фокальной плоскостью фокусируюгцей системы 3.

Формула изобретения

Способ измерения расходимости пучка лазерного излучения, включающий пропускание пучка лазерного излучения через фокусирующую оптическую систему, измерение поперечного размера d пучка в плоскости регистрации, установленной эа фокусируюгцей системой, и определение. значения расходимости по результатам измерений, отл ича ю щи и с ятем, что, с целью расширения диапазона измеряемых

5 значений расходимости и повышения точности измерений, дополнительно преобразуют лазерное излучение в излучение дискретным спектром угловых частот, определяют линейное расстояние I в плоскости

10 регистрации и угловое расстояние р между двумя частотами углового спектра, при этом положение плоскости регистрации на оптической оси выбирают в пределах зоны дифракции Фраунгофера, а о значении

15 расходимости Осудят из соотношения. 0 д