Способ определения оптической анизотропии прозрачных образцов

 

Изобретение относится к измеритепь ной технике и может быть испопьзовано для исследования структуры вещества отиче ски напряженных (разово-неоднородных объектов, что актуально в оптическом дефектоскопии кристаллооптике полупроводниковом и оптическом приборостроении Цель изобретения -повышения точности определения оптической анизотропии что обус ловлено диапазоном линейного измерения интенсивности соответствующего четырем порядкам изменения интенсивности в нулевой полосе интерференционной картины а также расширение области применения за счет определения высоты микронеровно стей поверхности образцов В способе используют высококогерентное излучение с плоским волновым фронтом формируют опорный и обаектный пучки проецируют интерференционную картину в плоскость регистрации измеряют распределение интенсивности и азимутов поляризации в нулевой полосе по которым определяют оп тическую анизотропию и высоту микроне оовностеи поверхности образца 1 ил ел

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧF CV. .ИХ

РЕСГ УБЛИК (5Нз G 01 В 11/30

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР! .) ОПИС РИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPCKOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4682299/28 (22) 20,04.89 (4б) 07,04,91. Бюл. М 13 (71) Черновицкий госуда рственн ы и ун иверситет (72) А,Г.Ушенко, M.T.Ñòðèíàäêî и M.À.Недужко (53) 531.715.27(088,8) (56) Оптико-электронные приборы для научных исследований/Под ред. Л.А.Новицкого.

М.; Машиностроение, 1986, с, 332 и 333. (54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ОПТИЧЕСКОЙ АНИЗОТРОПИИ ПРОЗРАЧНЫХ GeРАЗ ЦОВ (57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для исследования структуры вешества оптически напряженных фазово-неоднородных объектов, что актуально в оптической дефекИзобретение относится к и-.ìåðûòåëüной технике и может быть испо: эовано для исследования структуры вещества оптически напряженных фазово-неоднородных объектов, что актуально в оптической дефектоскопии, кристаллооптике, полупроводниковом и оптическом приборостроении.

Цель изобретения — повышение точности определения оптической анизотропии, что обусловлено диапазоном линейного измерения интенсивности, соответствующего четырем порядкам изменения интенсивности в нулевой полосе интерференционной картины, а также расширение области применения за счет определения высоты микронеровностей поверхности образцов, „. Я3„„164О542 А1 тоскопии, кристаллооптике, полупроводниковом и оптическом приборостроении, Цель изобретения — повышения точности определения оптической анизотропии, что обусловлено диапазоном линейного измерения интенсивности, соответствующего четырем порядкам изменения интенсивности в нулевой полосе интерференционной картины, а также расширение области применения эа счет определени высоты микронеровностей поверхности образцов. В способе используют высококогерентное излучение с плоским волновым фронтом, формируют опорный и объектный пучки, проецируют интерференционную картину в плоскость регистрации, измеряют распределение интенсивности и азимутов поляризации в нулевой полосе, по которым определяют оптическую анизотропию и высоту микронеровностей поверхности образца. 1 ил.

На чертеже изображена принципиальная схема устройства, реализующего способ определения оптической анизотропии прозрачных образцов.

Устройство содержит источник 1 излучения, дающий высококогерентное излучение с плоским волновым фронтом, светоделитель

2, поворотные зеркала 3 и 4, оптический смеситель 5, магнитооптический модулятор б, анализатор 7 и фотоэлектронный умножитель B.

Предлагаемый способ осуществляется следующим образом.

Полупрозрачная пластина 2 разделяет излучение,от источника 1 излучения на два пучка; объектный, который направляется к

1640542

Далее, путем перемещения образца 9, определяют новые указанные значения и, таким образом, накапливают соответствующие статистические массивы данных, по которым определяют оптическую анизотроСоставитель Л.Лоб ова

Техред M.Moðãåíòàë Корректор T,Ìàëåö

Редактор А,Козориз

Заказ 1012 Тираж 393 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035; Москва, Ж-35, Раушская нэб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул,Гагарина, 101 исследуемому образцу 9, а также нэ опорный, который поворачивается зеркалом 3 в направлении оптического смесителя 5, на котором строго соосно смешиваются. опорное и объектное поля, в результате чего фор-. мируется нулевая интерференционная полоса, световые колебания в которой модулируются, проходя через магнитооптический модулятор 6, Поляризатор 7 преобразует модуляцию азимутов поляризации в нулевой интерференционной полосе в модуляцию интенсивностей, которую наблюдают на экране осциллографа и по которой определяют величину азимута поляризации с точностью до 10, что соответ-! ствует удвоению частоты модулирующего магнитного поля. Фотоэлектронный умножитель 8 регистрирует значение интенсивности в нулевой полосе в ситуации отключенного магнитооптического модулятора 6. пию и высоту микронеровностей поверхности образца 9.

Формула изобретения

Способ определения оптической анизот5 ропии прозрачных образцов, заключающийся в том, что пропускают монохроматическое линейно поляризованное излучение через образец, формируют интерференционную картину, анализируют интенсивность излу10 чения, прошедшего через поляризационный анализатор, и определяют оптическую анизотропию прозрачных образцов, о т л ич а ю шийся тем, что, с целью повышения точнт сти определения оптической анизот15 ропии и расширения области применения за счет определения высоты микронеровностей поверхности образцов, используют высококогерентное излучение с плоским волновым фронтом, формируют опорный

20 и объектный пучки, соосно смешивают эти пучки, проецируют интерференционную картину в плоскость регистрации, измеряют распределение интенсивности и азимутов поляризации в нулевой полосе интерфе25 ренционной картины и по ним определяют оптическую анизотропию и высоту микронеровностей поверхности образцов.