Способ интерференционного контроля формы поверхности оптической детали из пористого стекла

 

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано, в частности, для контроля формы поверхности оптической детали из пористого свекла (ПС). Цель изобретения - повышение достовеоности контроля в процессе изготовления оптической детали за счет исключения неоднородной (местной) деформации деталей из ПС при контроле. При мнтенфервнцкенном контроле формы поверхностей оптических деталей из пористого стекла обьем пор полностью заполняют жидкой фазой абразивной суспензии, в которой обрабатывается деталь, а интерференционную картину наблюдают при заполненных порах. 2 лл.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (5ц5 6 01 В 11/30

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4695224/28 (22) 24.05.89 (46) 15,05,91. Бюл. ¹ 18 (71) Ленинградский институт точной механики и оптики (72) В, Е. Степанов (53) 531.715.1(088,8) (56) Бардин А. Н. Технология оптического стекла. М., Высшая школа, 1963. с. 519. (54) СПОСОБ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОГО

КОНТРОЛЯ ФОРМЫ ПОВЕРХНОСТИ ОПТИЧЕСКОИ ДЕТАЛИ ИЗ flOPMCTOf

СТЕКЛА

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано, в частности, для контроля формы поверхности оптической детали из пористого стекла (ПС).

Цель изобретения — повышение достоверности контроля в процессе изготовления оптической детали за счет исключения неоднородной (местной) деформации деталей из ПС при контроле.

На фиг. 1 показана схема размещения пористых деталей при интерференционном контроле; на фиг. 2 — графически представлено изменение формы пористой детали в зависимости от степени заполнения жидкой среды.

На схеме изображены сосуд 1, жидкость (вода) 2, блокировочная пластина 3 и контролируемые детали 4.

Способ осуществляется следующим образом.

После съема со станка и очистки оптических поверхностей от следов полировочного материала блок с закрепленными пористыЯ2,, 1(Ы9265 А1 (57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано, в частности, для контроля формы пов(-:рхности оптической детали из пористого стекла (ПС). Цель изобретения -- повышение достоверности контроля в процессе изготовления оптической детали за счет исключения неоднородной (местной) деформации деталей из ПС при контроле, При интенференциснном контроле формы поверхностей ости -вских деталей из пористо о стекла объем пор

Il0IIH0cTI3I0 заполняют жидкой фазой абразивной суспензии, в которой обрабатывается деталь, а интерференционную картину наблюдают при заполненных порах. 2 ил. ми деталями 4 помещают в сосуд с жидкостью 2 так, чтобы контролируемые поверхности выступали над жидкостью, Объем пор деталей полностью заполняют жидкой фазой абразивной суспенэии, в которой изготавливают детали 4.

Время отстоя деталей 4 в вода определя(от экспериментально по стабилизации цвета интерференционной кар.-ины контролируемых поверхностей. Оно складывается из времени, необходимого для компенсации тепловых деформаций, имеющих место при механической обработке оптических деталей, Представленная схема обеспечивает постоянное заполнение объема пор жидкостью (испарение воды из поверхностного слоя пористых деталей компенсируется ее самопроизвольным капиллярным течением) и устраняет возможную местную деформацию ПС при контроле. Следовательно, получаемая интерференционная картина отражает только точность механической об1649265

Составитель Л. Лобзова

Техред М. Моргеитал Корректор М, Демчик

Редактор Н, Федорова

Заказ 1867 Тираж 392 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская иаб„4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул.Гагарина, 101 работки и дает реальное представление о форме поверхности в процессе обработки.

Форма (профиль) поверхностей пористых деталей 4 может быть проконтролирована на интерферометре ИТ-70, Если деталь 4 на время контроля не помещать в воду, то испарение ее иэ пор стекла приво.дит к существенной деформации поверхности уже через 2 мин после съема блока со станка. Проведение измерений в течение 2 мин после прекращения процесса полирования деталей 4 является практически невозможным, так как еще имеют место тепловые деформации материала, Кроме того, выполнение предварительной операции очистки поверхностей перед контролем требует большего времени (3-5 мин). Пористая деталь имеет формы 5, 6 и 7 (см. иа фиг. 2) соответственно заполненную водой, после

5 мин нахождения на воздухе, обезвоженную.

Нестабильность интерференционной картины контролируемых поверхностей данных пористых деталей при нахождении их на воздухе наблюдается в течение 46 ч, т. е, до завершения перехода от объемной жидкостной фазы в порах к моиомолекулярному слою, ко орый уже ие вызывает местной и общей деформации пористой детали, соответствующей истинному профилю поверхности, практически совпадает с цветом

5 в случае насыщения материала водой, Процесс высушиваиия пористых деталей сопровождается контракцией материала, что обусловлено увеличением отрицательного капиллярного давления внутри пор при uc t0 парении жидкости.

Формула изобретения

Способ интерференционного контроля формы поверхности оптической детали из пористого стекла, заключающийся в том, что

15 получают интерференцианную картину поверхности контролируемой детали, наблюдают зту картину и по ней судят о форме поверхности детали, отличающийся тем, что, с целью повышения достоверности

20 контроля в процессе изготовления оптической детали, перед получением интерференционной картины полностью заполняют объем пор контролируемой детали жидкой фазой абразивной суспензии, в которой об25 рабатывалась деталь при ее изготовлении, а наблюдение интерференционной картины производят при заполненных порах.