Устройство для измерения толщины пленки жидкости

 

Изобретение относится к устройства для измерения гогпцнны пленки жидкостей н быть использовано в энергетике, трцлогехннке и гидродииамик( Гель изобретения - расширение области применения, а именно контроля толщин пленок жидкостей вне зависимости от их шти ктричесь.и свойств за счет использования изменения условий отражения на границе газ - жидкость . Микрометрический контактный зонд, на контактном конце которого установлен свегонод, проходяицш внутри зонда, перемешается перпендикулярно контролируемой поверхности, на которой в точке касания зонда установлен второй световод с фотопрнемником. Внешний торец световода освещается источником света. Электрический сигна i потоприемника в момент касания зондом пленки жидкости, усиливается с помощью усилителя и фиксируется регистратором . Устройство позволяет производить измерения тонщины пленки как электропроводных, так и неэлектропроводных жидкостей. 1 ил. (Л

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИН (19) 01) 1652813 А 1 (51) 5 С 01 В 11/06

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ

flO ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЬГГИЯМ

ПРИ ГННТ СССР (21) 4481800/28 (22) 20.07.88 (46) 30.05.91. Бюл. Р 20 (71) Киевский политехнический институт им. 50-летия Великой Октябрьской социалистической революции (72) M.Ê.Áåçðîäíûé, 10.В.Антошко и В.М.Подгорецкий (53) 531.717(088.8) (56) Тананайко 1).М., Воронцов Г.Г.

Методы расчета и исследования пленочных процессов. Киев: Техника, 1975, с.! 80-181. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ ПЛЕНКИ %1ДКОСТП (57) Изобретение относится к устройствам для измерения толщины пленки жидкостей и может быть использовано в энергетике, теплотехнике и гидродинамике, Цель изобретения — расширение

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к устройствам для измерения толщины пленки жидкостей, и может бить использовано в энергетике, теплотехнике и гидродинамике.

Целью изобретения является расширение области применения за счет контроля толщин пленок жидкостей вне зависимости от их диэлектрических . свойств за счет использования изменения условий отражения на границе гаэ жидкость.

На чертеже представлено устройство, общий вид.

2 области применения, а именно контроля толщин пленок жидкостей вне зависимости от их пиэлектрических свойств за счет использования изменения условий отражения на границе гаэ — жидкость, Микрометрический контактный зонд, на контактном конце которого установлен световод, проходящий внутри зонда, перемещается перпендикулярно контролируемой поверхности, на которой в точке касания зонда установлен второй световод с фотоприемником.

Внешний торец световода освещается источником света. Электрический сигнал фотоприемника в момент касания зондом пленки жидкости, усиливается с помощью усилителя и Аиксируется регистратором. Устройство позволяет производить измерения толщины пленки как электропроводных, так и неэлектропроводных жидкостей. 1 ип.

С5

Устройство состоит из трубчатого р микрометрического зонда 1, на контактном конце которого установлен све. . товод 2, проходящий внутри эона 1 к источнику 3 оптического излучения и связанный с ним оптической связью. В точке касания микрометрического зонда 1 на орошаемой поверхности 4 установлен приемный световод 5, связанный оптической связью и с фотоприемником 6, подключенным к регистратору 8 через дифАеренцирующий усилитель 7.

Устройство работает следующим образом.

16 2813

Предлагаемое устройство позволяет измерять толщину пленки жидкости вне зависимости от диэлектрических свойств жидкостей, что расширяет область применения устройства по сравнению с прототипом.

Составитель Н. Серебренникова

Техред M. Äèäûê Корректор A.Обручар

Редатор М.Циткина

Заказ 1766 Тираж 394 Подписное

ВКИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытикм при 1 h0! <:ССР

113035, Москва, Ж 35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат Патент, г.Ужгород, у I. !, г,lj)ic а, 1 )!

Излучение источника 3 поступает, в передающий световод 2, который расположен в трубчатом зонде 1 и перемещается перпендикулярно контролируемой поверхности 4. При перемещении световода 2 в газовой среде до касания поверхности пленки 9 происходят плавные изменения мощности, передаваемой на фотоприемник

6 и на выходе дидференцирующего усилителя 7 сигнал отсутствует.

При касании торцом световода 2 пленки 9 жидкости происходит скачкообразное увеличение мощности излучения, передаваемого на Аотоприемник 6 за счет изменения условий отражения на торце передающего световода 2.

Скачок электрического сигнала на выходе фотоприемника 6 приводит к появлению электрического сигнала на выходе дифЬеренцирующего усилителя 7, что фиксируется при помощи регистратора 8, и снимается значение первого отсчета на отсчетном устройстве микрометрического зонда 1. Второе значение, соответствующее соприкосновению торца световода 2 с приемным световодом 4, также фиксируется на отсчетном устройстве микрометрического зонда 1. Разность этих значений даст толщину пленки жидкости.

Формула и з о б р е т е н и я

Устройство для измерения толщины пленки жидкости, содержащее микрометрический зонд, предназначенный для контакта с контролируемой поверхностью, и регистратор, о т л ич а ю щ е е с я тем, что, с целью расширения области применения эа счет контроля толщины пленки неэлектропроводных жидкостей, оно снабжено источником оптического излучения, двумя световодами, фотоприемником и дифференцирующим усилителем, микрометрический зонд выполнен трубчатым и íà его контактном д конце установлен один из световодов, который закреплен внутри зонда и оптически связан с источником, а другой световод предназначен для установки в контролируемой поверхности в точке касания зонда и оптически связан с фотоприемником, соединенным с регистратором через дифференпирующий усилитель.

Устройство для измерения толщины пленки жидкости Устройство для измерения толщины пленки жидкости 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при травлении или формировании слоев полупроводниковых материалов

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения линейных размеров и перемещения объектов

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения толщины стенки прозрачных труб

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при получении однои многослойных покрытий с заданным распределением показателя преломления по толщине

Изобретение относится к измерительной технике

Изобретение относится к измерительной технике и может использоваться в электронной промышленности при неразрушающем контроле толщины тонких пленок

Изобретение относится к измерительной технике, к контролю оптических толщин отдельных слоев в процессе нанесения многослойных интерференционных покрытий оптическими методами

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для одновременного измерения толщины слоев многослойных пленок

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для бесконтактного измерения толщины и показателя преломления прозрачных слоев

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для бесконтактного автоматического измерения толщины прозрачных материалов, например листового стекла, в непрерывном производственном процессе

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к оптическим интерферометрам, и может быть использовано для непрерывного бесконтактного измерения геометрической толщины прозрачных и непрозрачных объектов, например листовых материалов (металлопроката, полимерных пленок), деталей сложной формы из мягких материалов, не допускающих контактных измерений (например, поршневых вкладышей для двигателей внутреннего сгорания), эталонных пластин и подложек в оптической и полупроводниковой промышленности и т.д

Изобретение относится к оптическим способам измерения толщин слоев прозрачных жидкостей и может быть использован для бесконтактного определения толщин слоев прозрачных жидкостей в лакокрасочной, химической и электронной промышленности, а также в физических и химических приборах

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к интерференционным способам измерения оптической толщины плоскопараллельных объектов и слоев

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано в черной и цветной металлургии для измерения толщины проката в условиях горячего производства без остановки технологического процесса

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для неразрушающего контроля толщины пленок, в частности в устройствах для измерения и контроля толщины пленок фоторезиста, наносимых на вращающуюся полупроводниковую подложку в процессе центрифугирования в операциях фотолитографии

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для неразрушающего контроля толщины и измерения разнотолщинности пленок, в частности в устройствах для нанесения фоторезиста в операциях фотолитографии

Изобретение относится к оптическим способам измерения толщины слоя прозрачной жидкости
Наверх