Способ получения пленки заданной толщины

Авторы патента:

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при получении однои многослойных покрытий с заданным распределением показателя преломления по толщине. Целью изобретения является расширение технологических возможностей путем получения пленок с заданным распределением показателя преломления по толщине. Монохроматический свет направляют на часть поверхности контрольного образца, не предназначенную для напыления модулированным потоком вещества, под углом к ней, а на остальную часть поверхности образца по нормали к ней. Производят напыление на контрольный образец, в процессе напыления осуществляют модуляцию потока вещества и изменяют угол падения света. Определяют разность фаз пучков излучения, отраженных от участков контрольного образца. При нулевой разности фаз напыление прекращают. По параметрам осуществленной модуляции находят коэффициент модуляции при напылении на контрольный образец и подложку, осуществляют напыление вещества на подложку и контрольный образец, имеющий два участка. При этом контрольный образец освещают монохроматическим светом и осуществляют модуляцию потока вещества с найденным коэффициентом модуляции. Определяют параметры отраженного света и по ним судят о достижении заданной толщины. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

ÄÄSUÄÄ 1583737 А 1 (g))5 G 01 В 11/06

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4411140/24 28 (22 ) 17. 03.88 (46) 07.08.90. Бюл. № 29 (75) M.Ë. Трунов (53) 531.717.1 (088.8) (56) Авторское свидетельство, СССР № 13887Р9, кл. Г 01 В 11/06, 1987. (54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПЛЕНКИ ЗАДАННОЙ

ТОЛБУХИНЫ (57) Изобретение относится к измерительной технике и может бытыиспольэовано при получении одно - и многослойньм покрытий с заданным распределением показателя преломления по толщине. Целью изобретения является расширение технологических возможностей путем получения пленок с заданным распределением показателя преломления по толщине. Монохроматический свет направляют на часть поверхности контрольного образца, не предназначенную для напыления модулированным потоком

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при получении одно- и многослойных покрытий с заданным распределением показателя преломления по толщине.

Цель изобретения вЂ” расширение технологических возможностей путем получения пленок с заданным расположением показателя преломления по толщине.

На чертеже изображено устройство для контроля толщины пленки в процес се ее получения.

2 вещества, под углом к ней, а на остальную часть поверхности образца вЂ” по нормали к ней. Производят напыление на контрольный образец, в процессе напыления осуществляют модуляцию потока вещества и изменяют угол падения света. Определяют разность фаэ пучков излучения, отраженных от участков контрольного образца. При нулевой разности фаэ напыление прекращают. По параметрам осуществленной модуляции находят коэффициент модуляции при напылении на контрольный образец и подложку, осуществляют напыление вещества на подложку и контрольный образец, имеющий два участка. При этом контрольный образец освещают монохроматическим светом и осуществляют модуляцию потока вещества с найденным коэффициентом модуляции..Определяют параметры отраженного света и по í ì судят о достижении заданной толщины.

1 ил.

Устройство содержит лазер 1, све.тоделители 2-6, зеркала 7 и 8, фотоприемники 9-10 и модулятор 12.

Способ осуществляют следующим образом.

Монохроматический свет от лазера

1 с помощью световодителя 4 и зеркала 7 направляют на поверхность П2 участка контрольного образца, не предназначенную для напыления модулированным потоком вещества, под углом о(к ней, а на поверхность П1 участка контрольного образца, предназначенную для напыления модулиро158.З737 ванным потоком вещества, по нормали к ней. Задают шаг изменения угла, под которым направляют свет. Производят напыпение на. контрольный образец, в

5 процессе которого осуществляют модуляцию потока вещества с коэффициентом модуляции р близким к единице (О, 75 < P (1,00), и ступенчато изме- няют с заданным шагом угол Е падения света на поверхность участка контрольного образца, не предназначенную дпя напыления модулированным потоком

Вещества ° Определяют разность фаэ пучков излучения, отраженного от обоих участков контрольного образца ..

Для этого пучок, отраженный от участка П1, с помощью светоделителя 5 направляют на фотоприемник 10, туда же направляют и пучок, отраженный от. участка П2, с помощью зеркала 8 через светоделитель 5. При нулевой разности фаз напыление прекращают, по параметрам осуществленной модуляции определяют показатель преломления 25 . пленки и соответствующую этому показателю оптическую толщину пленки. По расчетным формулам определяют коэффициент модулирования при напылении на контрольный образец и подложку.

Осуществляют напыление вещества на подложку и контрольный образец, имеющий два участка. С помощью светоделителей 2 и 3 и через светоделители

2, 4, 5 и 6 освещают образец монохрома иче им светом по нормали к по- 35 верхности, осуществляют модуляцию потока вещества, напыпяемого на участок . П1 контрольного образца, с определенным по расчетным формулам коэффициентом модуляции. Фотоприемниками 9и 11 измеряют параметры пучков, получен ных при отражении от участков П2 и П1

И прошедших по пути к фотоприемникам

9 и 11 соответственно через светоделители 3 и 6. По соотношению параметров судят о достижении заданной толщины, Формула изобретения

Способ получения пленки заданной толщины, заключающийся в том, что 50 производят напыление вещества на подло>кку и контрольный образец, имеющий два участка, освещают контрольный образец монохроматическим светом по нормали к поверхности, модулируют поток вещества, напыляемого на один из участков контрольного образца, измеряют параметры пучков, полученных при отражении или пропускании света через оба участка, и по соотношению параметров судят о достижении заданной толщины, отличающийся тем,.что, с целью расширения техноло- гических возможностей путем получения пленок с заданным распределением пока-. зателя преломления по толщине, перед напып ением на подл ожку и контр ол ь ный образец направляют монохроматический свет на поверхность участка контрольного образца, не предназначенную для напыления модулированным потоком вещества, под углом к ней, а на поверхность участка контрольного образца, предназначенную для напыления модулированным потоком вещества, по нормали к ней, задают шаг изменения угла, под которым направляют свет, производят. напыление на контрольный образец, в процессе напыления осуществляют модуляцию потока вещества с коэффициентом модуляции, близким к еди° нице, и ступенчато изменяют с заданным шагом угол падения света на поверхность участка контрольного об- разца, не предназначенную. для напыления модулированным потоком вещества, определяют разность фаз пучков .излучения, отраженного от обоих участков, и при нулевой разности прекращают напыление, по параметрам упо-. мянутой модуляции определяют показатель преломления пленки и соответствующую этому показателю оптическую толщину пленки, а модуляцию потока вещества, напыляемого на один из участков контрольного образца при напылении на контрольный образец и подложку, осуществляют с коэффициентом модуляции, выбираемым в зависимости от оптической толщины.! 1583 73 7

Составитель В. Костюченко

Редактор Н. Тупица Техред А.Кравчук Корректор N. Кучерявая й

Заказ 2246

Тираж 490

Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул. Гагарина, 101

Способ получения пленки заданной толщины

Изобретение относится к измерительной технике

Способ измерения толщины тонких диэлектрических пленок // 1569530

Изобретение относится к измерительной технике и может использоваться в электронной промышленности при неразрушающем контроле толщины тонких пленок

Способ контроля оптических толщин слоев при нанесении на подложку многослойных покрытий // 1567873

Изобретение относится к измерительной технике, к контролю оптических толщин отдельных слоев в процессе нанесения многослойных интерференционных покрытий оптическими методами

Способ измерения толщины слоев многослойной пленки // 1566204

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для одновременного измерения толщины слоев многослойных пленок

Способ определения толщины покрытия тонкостенного изделия // 1562690

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к способам определения толщины пленочных покрытий тонкостенных изделий

Способ определения толщины пленки // 1548664

Изобретение относится к измерительной технике, к оптическим методам определения толщины покрытий и пленок

Устройство контроля оптических световозвращателей // 1534300

Изобретение относится к области оптических измерений и может быть применено для градуировки оптико-электронных кварцевых гравиметров

Устройство для контроля толщины тонких пленок // 1516772

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля толщины тонких пленок в процессе их напыления

Устройство для контроля толщины кристаллических пластин в процессе доводки // 1479823

Изобретение относится к измерительной технике, может быть использовано для контроля толщины кристаллических пластин интерференционно-поляризационного фильтра в процессе доводки

Интерференционный способ определения толщины плоскопараллельных объектов из оптически прозрачных материалов // 1474456

Изобретение относится к измерению толщины пластинок оптическими методами

Устройство для неразрушающего измерения толщины диэлектрических и полупроводниковых пленок // 2102702

Интерферометрическое устройство для измерения физических параметров прозрачных слоев (варианты) // 2141621

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для бесконтактного измерения толщины и показателя преломления прозрачных слоев

Способ измерения толщины листового стекла и устройство для его осуществления // 2146355

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для бесконтактного автоматического измерения толщины прозрачных материалов, например листового стекла, в непрерывном производственном процессе

Интерферометрическое устройство для бесконтактного измерения толщины // 2147728

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к оптическим интерферометрам, и может быть использовано для непрерывного бесконтактного измерения геометрической толщины прозрачных и непрозрачных объектов, например листовых материалов (металлопроката, полимерных пленок), деталей сложной формы из мягких материалов, не допускающих контактных измерений (например, поршневых вкладышей для двигателей внутреннего сгорания), эталонных пластин и подложек в оптической и полупроводниковой промышленности и т.д

Способ измерения толщины тонкого слоя прозрачной жидкости // 2149353

Изобретение относится к оптическим способам измерения толщин слоев прозрачных жидкостей и может быть использован для бесконтактного определения толщин слоев прозрачных жидкостей в лакокрасочной, химической и электронной промышленности, а также в физических и химических приборах

Способ измерения оптической толщины плоскопараллельных прозрачных объектов // 2152588

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к интерференционным способам измерения оптической толщины плоскопараллельных объектов и слоев

Устройство для контроля линейных размеров по принципу триангуляции // 2153647

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано в черной и цветной металлургии для измерения толщины проката в условиях горячего производства без остановки технологического процесса

Способ контроля толщины пленки в процессе ее нанесения // 2157509

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для неразрушающего контроля толщины пленок, в частности в устройствах для измерения и контроля толщины пленок фоторезиста, наносимых на вращающуюся полупроводниковую подложку в процессе центрифугирования в операциях фотолитографии

Способ контроля толщины пленки в процессе ее нанесения и устройство для его реализации // 2158897

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для неразрушающего контроля толщины и измерения разнотолщинности пленок, в частности в устройствах для нанесения фоторезиста в операциях фотолитографии

Способ измерения толщины тонкого слоя прозрачной жидкости // 2165071

Изобретение относится к оптическим способам измерения толщины слоя прозрачной жидкости