Способ получения пленки заданной толщины

Авторы патента:

Изобретение относится к измерительной технике. Целью изобретения является расширение технологических возможностей путем получения пленок с заданным распределением показателя преломления по толщине. Для этого предварительно направляют монохроматический свет на поверхность участка контрольного образца, не предназначенную для напыления модулированным потоком вещества, под углом к ней, а на оставшуюся поверхность - по нормали, и производят напыление, в процессе которого осуществляют монотонно ступенчато меняющуюся во времени модуляцию потока вещества, определяют разность фаз пучков излучения, отраженного от обоих участков, и при нулевой разности напыление прекращают, по параметрам осуществленной модуляции рассчитывают коэффициент модуляции, напыляют вещество на подложку и контрольный образец, имеющий два участка, освещают контрольный образец монохроматическим светом по нормали к поверхности, модулируют поток вещества, напыляемого на один из участков контрольного образца, с рассчитанным коэффициентом модуляции, измеряют параметры пучков, полученных при отражении от участков контрольного образца, и по соотношению параметров судят о достижении заданной толщины. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (si)s 6 01 В 11/06

ГОСУДАРСТВЕННЫИ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4372123/24-28 (22) 17.12 87 (46) 07.08.90. Бюл, hL 29 (75) М.Л. Трунов (53) 531.717.1(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

М 1388709, кл. G 01 В 11/06, 1987. (54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПЛЕНКИ ЗАДАННОЙ ТОЛЩИНЫ (57) Изобретение относится к измерительной технике. Целью изобретения является расширение технологических возможностей путем получения пленок с заданным распределением показателя преломления по толщине. Для этого предварительно направляют монохроматический свет на поверхность участка контрольного образца, не предназначенную для напыления модулированным потоком вещества, под углом к ней, а на оставшуюся. поверхность вЂ” по норИзобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при получении одно- и многослойных покрытий с заданным распределением показателя преломления по толщине.

Цель изобретения вЂ” расширение технологических возможностей путем получения пленок с заданным распределением показателя преломления по толщине, На чертеже изображена устройство для контроля толщины пленки в процессе ее получения.

Устройство содержит лазер 1, светоделители 2-6, зеркала 7 и 8, фотоприемники

9-11 и модулятор 12.

Способ осуществляют следующим абра,>SU„, 1583736 А 1 мали, и производят напыление, в процессе которога осуществляют монотонно ступен чато меняющуюся во времени модуляцию потока вещества, определяют разность фаз пучков излучения, отраженного от обоих участков, и при нулевой разности напыление прекращают, па параметрам осуществленной модуляции рассчитывают коэффициент модуляции, напыляют вещество на подложку и контрольный образец, имеющий два участка, освещают контрольный образец монохроматическим светом по нормали к поверхности, модулируют поток вещества, напыляемого на один из участков контрольного образца, с рассчитанным коэффициентом модуляции, измеряют параметры пучков, полученных при отражении

m участков контрольного образца, и по соотношению параметров судят о достижении заданной толщины. 1 ил.

Монохраматический свет от лазера 1 с помощью светоделителя 4 и зеркала 7 направляют на поверхность П2 участка контрольного образца, не предназначенную для напыления модулированным потоком вещества, под углом к ней, а на поверхность П1 участка контрольного образца, предназначеннуюдля напыления модулированным потоком вещества, по нормали к ней.

Производят напыление на контрольный образец, в процессе которого осуществляют монотонно ступенчато меняющуюся во времени модуляцию потока вещества. Модуляцию начинают осуществлять при коэффициенте модуляции, близком (или равном) к единице. В процессе напыления этот коэффициент ступенчато уменьшают

1583736 через равные интервалы времени на постоянную величину, Определяют разность фаз пучков излучения, отраженного от обоих участков контрольного Образца. Для этого пучок, отраженный От участка П1, с по- 5 мощью светоделителя 5 направляют на фотоприемник 10, туда же направляют и пучок, отраженный от участка П2, с помощью зеркала 8 через светоделитель 5, При нулеьой разности фаз напыление прекращают, по 10 параметрам осуществленной модуляции определяют показатель преломления пленки и соответствующую этому показателю оптическую толщину пленки, По расчетным формулам определяют коэффициент модуляции 15 орМ напылении на кОИТЭОльный Образец и подложку, Осу .цествля!От напыление вещества HB подлОжкy и контрольный Образец, имеюший два участка, . помощь!О светоделителей 2 и 3 и. ерез свегоделители 2, 4, 5 20 и 6 освещают контрольный oG p8I38!.I 4o Ho" хроматическим светом по нормали K ооВАрхности, осуществляют модуляции потока вещества, напь!ляемОГО HB участок П1 контрольного образца, с Определенным по рас- 25 ч8тным формулам кo!ôôèциентОм модуляции, ФОТОприем!.!иками 9 N 1 1 измеряют параметры пучков, полу-,енных при отражении от участков П2 и П1 и прошедших по пути к фотоприем!-!икам 9 и 11 соатветст- 30 вен но через светодели гели 3 ; 6, по соотношени!О параметров !.удят о дос.!ижении заданнОй Толщины.

Формула изобретения

CAocoQ получений пленки заданнОЙ 35 толщины, з&кл!Оча!Ощ!!йся в том, что Г!роизводя !. !.!Впыле! !Ие вещесл-ва на подложку и контрольныи Об !Вэец, име!Ощии дв,"! j !88!ка, освещают контрольный образец монохроматическим светом по нормали к поверхности, модулируют поток вещества, напыляемого на один из участков контрольного образца, измеряют параметры пучков, полученных при отражении или пропускании света через оба участка, и по соотношению параметров судят о достижении заданнойтолщины, отл ича ю щи йся тем, что, с целью расширения технологических возможностей путем получения пленок с заданным распределением показателя преломления по толщине, перед напылением на подложку и контрольный образец направляют монохроматический свет на поверхность участка контрольного образца, не предназначенную для напыления модулированным потоком вещества, под углом к ней, а.на поверхность участка контрольного образца, предназначенную для напыления модулированным потоком вещества, по нормали к ней, производят напыление на контрольный образец и в процессе напыления осуществляют монотонно ступенчато меняющуюся во времени модуляцию потока вещества, определяют разность фаз пучков излучения, отраженного от обоих участков, и при нулевой разности прекращают напыление, по параметрам осуществленной модуляции определяют показатель преломления пленки и соответствующую этому показателю оптическую толщину пленки, а модуляцию потока вещества, напыляемого на один из участков контрольного образца при напылении на контрольный образец и подложку, осуществляют с коэффициентом модуляции, выбираемым в зависимости От оптической толщины, 1583736

Составитель В.Костюченко

Редактор Н.Тупица Техред М.Моргентал Корректор ЛЛатай

Заказ 2245 Тираж 490 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР . 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб„4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101

Способ получения пленки заданной толщины

Изобретение относится к измерительной технике и может использоваться в электронной промышленности при неразрушающем контроле толщины тонких пленок

Способ контроля оптических толщин слоев при нанесении на подложку многослойных покрытий // 1567873

Изобретение относится к измерительной технике, к контролю оптических толщин отдельных слоев в процессе нанесения многослойных интерференционных покрытий оптическими методами

Способ измерения толщины слоев многослойной пленки // 1566204

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для одновременного измерения толщины слоев многослойных пленок

Способ определения толщины покрытия тонкостенного изделия // 1562690

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к способам определения толщины пленочных покрытий тонкостенных изделий

Способ определения толщины пленки // 1548664

Изобретение относится к измерительной технике, к оптическим методам определения толщины покрытий и пленок

Устройство контроля оптических световозвращателей // 1534300

Изобретение относится к области оптических измерений и может быть применено для градуировки оптико-электронных кварцевых гравиметров

Устройство для контроля толщины тонких пленок // 1516772

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля толщины тонких пленок в процессе их напыления

Устройство для контроля толщины кристаллических пластин в процессе доводки // 1479823

Изобретение относится к измерительной технике, может быть использовано для контроля толщины кристаллических пластин интерференционно-поляризационного фильтра в процессе доводки

Интерференционный способ определения толщины плоскопараллельных объектов из оптически прозрачных материалов // 1474456

Изобретение относится к измерению толщины пластинок оптическими методами

Устройство для контроля толщины пленок в процессе нанесения // 1467387

Изобретение относится к измерительной технике

Устройство для неразрушающего измерения толщины диэлектрических и полупроводниковых пленок // 2102702

Интерферометрическое устройство для измерения физических параметров прозрачных слоев (варианты) // 2141621

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для бесконтактного измерения толщины и показателя преломления прозрачных слоев

Способ измерения толщины листового стекла и устройство для его осуществления // 2146355

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для бесконтактного автоматического измерения толщины прозрачных материалов, например листового стекла, в непрерывном производственном процессе

Интерферометрическое устройство для бесконтактного измерения толщины // 2147728

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к оптическим интерферометрам, и может быть использовано для непрерывного бесконтактного измерения геометрической толщины прозрачных и непрозрачных объектов, например листовых материалов (металлопроката, полимерных пленок), деталей сложной формы из мягких материалов, не допускающих контактных измерений (например, поршневых вкладышей для двигателей внутреннего сгорания), эталонных пластин и подложек в оптической и полупроводниковой промышленности и т.д

Способ измерения толщины тонкого слоя прозрачной жидкости // 2149353

Изобретение относится к оптическим способам измерения толщин слоев прозрачных жидкостей и может быть использован для бесконтактного определения толщин слоев прозрачных жидкостей в лакокрасочной, химической и электронной промышленности, а также в физических и химических приборах

Способ измерения оптической толщины плоскопараллельных прозрачных объектов // 2152588

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к интерференционным способам измерения оптической толщины плоскопараллельных объектов и слоев

Устройство для контроля линейных размеров по принципу триангуляции // 2153647

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано в черной и цветной металлургии для измерения толщины проката в условиях горячего производства без остановки технологического процесса

Способ контроля толщины пленки в процессе ее нанесения // 2157509

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для неразрушающего контроля толщины пленок, в частности в устройствах для измерения и контроля толщины пленок фоторезиста, наносимых на вращающуюся полупроводниковую подложку в процессе центрифугирования в операциях фотолитографии

Способ контроля толщины пленки в процессе ее нанесения и устройство для его реализации // 2158897

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для неразрушающего контроля толщины и измерения разнотолщинности пленок, в частности в устройствах для нанесения фоторезиста в операциях фотолитографии

Способ измерения толщины тонкого слоя прозрачной жидкости // 2165071

Изобретение относится к оптическим способам измерения толщины слоя прозрачной жидкости