Устройство для измерения внутренних напряжений в покрытиях

 

Изобретение относится к измерительной технике н может быть использовано при определении внутренних напряжений в тонких пленках. Целью изобретения является повышение точности путем уменьшения влияния нестабильности температуры. Излучение лазера направляется на блок преобразования излучения, выполненный в виде прозрачной пластины со сферической выемкой, проходит его и попадает на подложку с покрытием. Излучение отражается от сферической выемки и от полложки с покрытием. Совмещают отраженные части излучения на экране системы регистрации и получают интерференционную картину, по которой определяют внутренние напряжения . 1 з.п. ф-лы, 2 ил.(

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН (51)5 < 01 В 11/16

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

И АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4699782/28 (22) 05.06.89 (46) 30.05.91. Бюл. 1 20 (72) А.Г.Анчугин, М.Л.Трунов, Н.Д.Савченко, Г.С.Салищев и Ю.П.Фирцак (53) 531. 781. 2 (088. 8) (56) Fnnos А.Е. Stress developed

to optical film coating. — Appl.

0pt., 1966, 5, N 1, р. 51-61. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗИЕРЕНИЯ ВНУТРЕННИХ НАПРЯЖЕНИЙ P. IIOKPIiIIHHX (57) Изобретение относится к измерительчой технике и может быть использовано при определении внутренних

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при определении внутренних напряжений в тонких пленках.

Целью изобретения является повышение точности путем уменьшения влияния .нестабильности температуры.

На фиг. 1 изображено устройство для измерения внутренних напряжений в покрытиях; на фиг. 2 — разрез А-А на фиг. 1.

Устройство содержит лазер t подложку 2, предназначенную для нанесения покрытия, держатель 3 с опорой 4, предназначенные для установки подложки 2 с покрытием,. систему 5 регистрации интерфереHIIHQHHoH картины, блок преобразования излучения, выполненный в виде прозрачной пластины 6 со сферической выемкой 7, ориентированный сферической выемкой 7 к подложке 2

„„SU„„1652814 А 1

2 напряжений в тонких пленках. Целью изобретения является повышение точности путем уменьшения влияния нестабильности температуры. Излучение лазера направляется на блок преобразования .излучения, выполненный в виде прозрачной пластины co cheрической выемкой, проходит его и попадает на подложку с покрытием. Излучение отражается от сферической выемки и от подложки с покрытием. Совмещают отраженные части излучения на экране системы регистрации и получают интерференционную картину, по которой определяют внутренние напря-. жения. 1 з.п. A-лы, 2 ил. и установленный с возможностью перемещения в плоскости, расположенной под углом 66 к плоскости, касательной поверхности подложки 2 в зоне измерений, удовлетворяющим соотношению Фа и

R-b

g (arccos

R СЛ

4Ь ,где R — радиус сферической выемки 7s

Ь вЂ” ее глубина, консольный зажим 8 предназначенный

Ф для крепления подложки 2 с покрытием и размещенный на держателе 3.

Устройство работает следующим образом.

Излучение лазера 1 направляется фв посредством зеркала и линзы На блок преобразования излучения, выполненный в виде прозрачной пластины 6 со сферической выемкой 7, проходит его и попадает на подложку 2 в точке, расположенной от консольного эажи1652814 ма 8 на расстоянии, равном двум третьим расстояния между зажимом 8 и опорой 4. Окрестности этой точки образуют зону измерений. Часть излучения отражается от подложки 2 с покрытием, а часть отражается сферичаской выемкой 1. Перемещая блок преобразования излучения в плоскости, расположенной под углом оС к плоскости, касательной поверхности подложки 2 в зоне измерений, совмещают эти части излучения на экране системы 5 регистрации и получают интерференционную картину в виде колец

НЬютона.

В процессе измерений при напылен ни покрытия подложка 2 изгибается, что приводит к перемещению колец

Ньютона. По направлению перемещенИя колец определяют знак внутренних напряжений, Величину напряжений определяют по расчетной формуле.

Формула изобретения

1. Устройство для измерения внутрен

Них напряжений в покрытяях, содержащее,, 15 лазер, подложку, предназначенную для нанесения покрытия, держатель с опорой, предназначенные для установки подложки с покрытием, и систему регистрации интерференционной картины, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности, оно снабжено блоком преобразования излучения, выполненным в виде прозрачной пластины со сферической выемкой, ориентированным сферической выемкой к подложке и установленным с возможностью перемещения в плоскости, расположенной под углом bC к плоскости, касательной к поверхности подложки в зоне измерений, удовлетворяющим соотношению

R-b ф((arccos где R — радиус сферической выемки;

Ь вЂ” ее глубина.

2. Устройство по п. 1, о т л и25 ч а ю щ е е с я тем, что оно снабжено консольным зажимом, предназначенным для крепления подложки с покрытием и размещенным на держателе °

1652814

Составитель В. Костюченко

Техред М.Дидык Корректор А.Обручар

Редактор М.Циткина

Заказ 1766 Тираж 397 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина, 101