Способ контроля герметичности изделий и устройство для его осуществления

 

Изобретение относится к контролю герметичности замкнутых малогабаритных изделий и позволяет снизить потребление энергии и инерционность контроля, а также упростить используемое оборудование. В устройство, содержащее масс-спектрометрическую камеру 1, азотную ловушку 2, Лорвакуумный насос 4, высоковакуумный насос 6 и соединяющие их вентили 3, 5, 7, введен вентиль 8, позволяющий изолировать внутреннюю полость ловушки 2 от откачной системы во время ее разгерметизации . При контроле герметичности заполненное пробным газом изделие 15 размещают во внутренней полости ловушки 2, используя последнюю в качестве контрольной камеры, при -этом закрыты все вентили 3, 5, 7, 8. Герметизируют крышку 10 ловушки 2, включают насос 4 и через вентили 5 и 8 откачивают камеру 1 и ловушку 2 Затем включают насос 6, открывают вентили 7 и 3 и по показаниям течеискателя судят о герметичности изделия 15. 2 с.п.ф-лы, 3 ил. й (Л

„„SU„„1652843

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

А1 (51)5 G О! М 3/02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н А BTOPCH0IVIV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

flO ИЗОБРЕТЕНИЯМ И OTHPbITHRM

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4635778/28 (22) 14.11.88 (46) 30.05.91. Бюп. N - 20 (72) А.Е.Лямин, В.Ф. Деревенских, А.И.Разов, Г.В. Шульженко, А.Г.Чернявский и В.С. Бочков (53) 620. 1 65. 29 (088 . 8) (56) Течеискатель гелиевый ПТИ-10.

Паспорт, 1980, с. 64-69, 93. (54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ГЕРМЕТИЧНОСТИ

ИЗДЕЛИЙ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСЛ ЕСТВЛЕНИЯ (57) Изобретение относится к контролю герметичности замкнутых малогабарит.ных изделий и позволяет снизить потребление энергии и инерционность контроля, а также упростить используемое оборудование. В устройство, содержащее масс-спектрометрическую каИзобретение относится к испытательной технике, а именно к контролю гер,метичности замкнутых преимущественно малогабаритных объектов„

Цель изобретения — снижение потребления энергии и инерционности контроля и упрощение используемого оборудования при контроле малогабаритных изделий путем исключения из вакуумной системы специальной вакуумной камеры для размещения изделия.

На фиг. 1 показана схема устройства; на фиг. 2 — азотная ловушка с трубопроводом лля.подачи пробного газа в изделие; на фиг. 3 — то же, без сосуда для лс дкого азота.

Устройство для ковтроля герметичности, выполненное на основе гелиево2 меру 1, азотную ловушку 2, форвакуумный насос 4, высоковакуумный насос 6 и соединяющие их вентили 3, 5, 7, введен вентиль 8, позволяющий изслировать внутреннюю полость ловушки 2 от откачной системы во время ее разгерметизации. При контроле герметичности заполненное пробньцч газом изделие 15 размещают во внутренней полости ловушки 2, используя последнюю в качестве контрольной камеры, при этом закрыты все вентили 3, 5, 7, 8. Герметизируют крышку 10 ловушки 2, включают насос 4 и через вентили 5 и 8 откачивают камеру 1 и ловушку 2.. Затем включают насос 6, открывают вентили

7 и 3 и по показаниям течеискателя судят о герметичности изделия 15.

2 с.п.ф-лы, 3 ил.

ro течеискателя, содержит массспектрометрическую камеру 1, соединенную с внутренней полостью азотной ловуш-. ки 2 через первый вентиль 3, Форвакуумный насос 4 соединен через второй вентиль 5,масс-спектрометрической камерой 1. Высоковакуумный насос 6 соединен своим входом с внутренней полостью азотной ловушки 2 через третий вентиль 7. а выходом — с форвакуумным насосом 4, который соединен с внутренней полостью азотной ловушки 2 через четвертый «елтиль 8.

Ловушка 2 представляет -< бой фланцевый стакан 9, снабженный крышкой

10, которая через герметиз рунччую прокладку крепится болта я| 1I к флан1652843 цу стакана 9 и в которой размещен сосуд 12 для жидкого азота.

На фиг. 2 представлена штатная азотная ловушка 2 на крьппке 10 ко»

5 торой смонтирован трубопровод 13 с вентилем 14 для подачи пробного газа в испытуемое изделие 15.

На фиг. 3 вместо штатной крышки

10 азотной ловушки 2 с сосудом 12 применена технологическая крьппка 16, на которой смонтирован трубопровод 17 с вентилем 18 для подачи пробиого газа в испытуемое изделие 15.

Вентиль 19 соединяет внутреннюю

5 полость ловушки. 2 с атмосферой, а вентиль 20 — высоковакуумный и форвакуумный насосы 6 и 4.

Способ контроля герметичности замкнутых изделий реализуется следуL ющим образом. I

В исходном состоянии все обесточено, все вентили закрыты. Демонтируют крьппку 10 азотной ловушки 2, размещают в ней испытуемое изделие 25

15, которое предварительно заполнено пробным газом, например гелием, после чего вновь стягивают крышку 10 болтами 11 со стаканом 9.

Включают форвакуумный насос 4, откры- 30 вают вентили 8 и 5 и проводят предва- рительную откачку масспектрометрической камеры 1 и ловушки 2, после чего вентили 8 и 5 закрывают и открывают вентиль 20. Включают питание высоковакуумного насоса 6 и выводят его на рабочий режим. Затем открывают вентили 7 и 3 и по показаниям течеискателя судят о герметичности объекта 15. Дпя контроля герметичности следующего изделия 15 вентили " и 3 закрывают, открывают вентиль 19» демонтируют крьппку 10, изымают испытанное изделие 15, размещают в стакане 9 новое изделие 15, осуществляют монтаж крышки 10, закрывают вентили

19 и 20, открывают вентиль 8, провопят предварительную откачку ловушки 2, после чего закрывают вентиль 8 и открывают вентиль 20, затем открывают вентили 7 и 3 и проводят контроль герметичности иэделия 15. При необходимости в азотную ловушку 2 заливают жидкий азот.

Способ, реализуемый по схеме, изображенной на фиг. 2, отличается

55 от предыдущего тем, что в процессе контроля герметичности в испытуемое изделие 15 через трубопровод 13 и вентиль 14 подается пробный газ под заданным давлением.

Способ, реализуемый по схеме, изображенной на фиг. 3, предполагает монтаж технологической крышки !6, снабженной трубопроводом 17 и вентилем 18. При этом могут испытываться не только малогабаритные объекты, но и объекты, объем которых не пренышает объем стакана 9,штатной азотной ловушки 2 течеискателя.

Для повьппения производительности контроля по схемам, изображенным на фиг. 2 и 3, могут испытываться одновременно несколько изделий. При этом каждое изделие снабжается индивидуальным трубопроводом и вентилем подачи пробного газа, а затем осуществляется подача пробного газа поочерец но в каждый из испытуемых изделий.

Использование внутренней полости азотной ловушки масс-спектрометрического течеискателя в качестве вакуумной камеры при контроле герметичности малогабаритнь|х замкнутых изделий позволяет: — исключить необходимость использования специальных камер, которые предназначались для размещения испытуемых изделий", — снизить энергозатраты на производство контроля, поскольку отпадает необходимость энергообеспечения устройств для откачки ранее используемой в прототипе отдельной вакуумной камеры; — сократить номенклатуру технологического оборудования (нет камеры, t нет вакуумных шлангов и трубопроводов, сообщающих камеру с течеискателем, нет оборудования для откачки вакуумной камеры); — уменьшить инерционность контро-, ля (в течеискателе азотная ловушка размещена в непосредственной близости с измерительной масс-спектрометрической камерой, что, в сравнении с прототипом, сокращает путь, проходимый молекулами пробного газа в масс-спектрометрическую камеру; — снизкть трудоемкость контроля;

- повысить производительность контроля за счет исключения затрат времени на откачку специальной контрольной камеры.

Формула изобретения

1. Способ контроля герметичности

I издез ий, заключающийся в том, что

1652843

Фиг.2

Составитель Л. Пилишкина

Редактор T. Пилипенко Техред Л,Олийнык Корректор Н. РевскаЯ

Заказ 2188 Тираж 369 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина, 101 изделие, заполненное пробным газом, размещают в контрольной камере, которую герметиэируют, откачивают и сообщают с масс-спектрометрической ка-. мерой течеискателя, с помощью послед5 ней определяют наличие пробного газа в контрольной камере, по которому судят о герметичности изделия, о т л ич а ю шийся тем, что, с целью 1ð снижения потребления энергии и инерционности контроля и упрощения используемого оборудования при контроле малогабаритных изделий, в качестве контрольной камеры используют внутреннюю полость азотной ловушки течеискателя.

2. Устройство для контроля герме тичности изделий, содержащее массспектрометрическую камеру, соединенную с ней своей внутренней полостью через первый вентиль азотную ловушку, форвакуумный насос, соединенный с масс-спектрометрической камерой через второй вентиль, и высоковакуумный насос, соединенный своим входом через третий вентиль с внутрен- ней полостью азотной ловушки, а выходом — с входом форвакуумного насоса, о т л и ч а ю щ е е.с я тем, чтв, оно снабжено четвертым вентилем, сообщающим внутреннюю полость азотной ловушки с форвакуумным насосом.