Лазерный интерференционный плоскомер

Авторы патента:

G01B11/30 - для измерения шероховатости или неровностей поверхностей

Изобретение относится к средствам измерения отклонения от прямолинейности и плоскости. Целью изобретения является повышение точности измерения отклонения от плоскостности и прямолинейности. Луч лазерного интерферометра 1 направляется плоским зеркалом 2 через оптическую пластину 15 в измерительный блок на уголковый отражатель 14, проходит оптические клинья 10 и 11 и попадает на уголковый отражатель 9, проходит через оптические клинья 12 и 13 и, отразившись от грани призмы 14, направляется в визирную марку 3. При перемещении измерительного блока по контролируемой поверхности происходит изменение оптической длины пути лазерного луча, который и характеризует отклонение. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (si)s G 01 8 11/30

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ.

7 8 (21) 4663317/28 (22) 16,03.89 (46) 07.08.91. Бюл. М 29 (72) А.А,Смирнов, А,M.Øàðêèí и Л.А.Карпова (53) 531.715,27 (088.8) (56) Оптико-механическая промышленность, В 2, 1974, с.21 вЂ” 22. (54) ЛАЗЕРНЫЙ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ

ПЛОСКОМЕР (57) Изобретение относится к средствам измерения отклонения от прямолинейности и плоскостности. Целью изобретения является повышение точности измерения отклонения

„„,", Ц„„1б68864 А1 от плоскостности и прямолинейности. Луч лазерного интерферометра 1 направляется плоским зеркалом 2 через оптическую пластину 15 в измерительный блок на уголковый отражатель 14, проходит оптические клинья 10 и 11 и попадает на уголковый отражатель 9, проходит через оптические клинья 12 и 13 и, отразившись от грани и ризмы 14, направляется в визирную марку

3, При перемещении измерительного блока . по контролируемой поверхности происходит изменение оптической длины пути лазерного луча, который и характеризует отклонение. 1 ил.

1668864

Составитель Н. Захаренко

Редактор О. Головач Техред M.MoðãåíTàë Корректор О, Кундрик

Заказ 2649 Тираж57 1 Подписное

8HMMilN Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. ужгород, ул.Гагарина, 101

Изобретение относится к средствам измерения отклонения от прямолинейности и плоскостности.

Цель изобретения вЂ” повышение точности измерения отклонения от плоскостности и прямолинейности.

На чертеже представлена схема плоскомера.

Лазерный интерференционный плоскомер содержит последовательно расположенные лазерный интерферометр 1, плоское зеркало 2, установленное с возможностью вращения перпендикулярно оптической оси, визирную, марку 3 и блок обработки информации,.измерительный блок в виде установленного с возможностью перемещения вдоль оси корпуса 5 с тремя наконечниками 6 вЂ” 8, один из которых установлен с возможностью перемещения перпендикулярно оптической оси, и последовательно расположенных вдоль оптической оси корпуса 5 уголкового отражателя

9, двух пар оптических клиньев 10, 11 и 12, 13 и второго уголкового отражателя 14.

Плоскомер содержит также две оптические пластины 15 и 16, расположенные с

-I противоположных сторон корпуса 5 и предназначенных для создания замкнутой оптической системы..

Плоскомер работает следующим образом, Луч лазерного интерферометра 1 направляется плоским зеркалом 2 через оптическую пластину 15 в измерительный блок на уголковый отражатель 14, отразившись от которого проходит оптические клинья 10 и 11, отражатель 9, отразившись от него, луч проходит вторую пару оптических клиньев

12 и 13, преломляется и, отразившись QT грани призмы 14, направляется в визирную марку 3. При перемещении измерительного блока по контролируемой поверхности на5 конечник 7 и измерительный блок перемещаются в вертикальной плоскости, что влечет за собой изменение оптической длины пути лазерного луча, величина которого характеризует отклонение от прямолиней10 ности и плоскостности, Формула изобретения

Лазерный интерференционный плоскомер, содержащий последовательно распо15 ложенные лазерный интерферометр, плоское зеркало, установленное с возможностью перемещения в направлении, перпендикулярном оптической оси, визирную марку и блок обработки информации, свя20 эанный с лазерным интерферометром, о тл и ч а ю шийся тем, что. с целью повышения точности измерения отклонения от плоскостности и прямолинейности, он снабжен измерительным блоком, выпол25 ненным в виде установленного с возможностью перемещения вдоль оси корпуса с тремя наконечниками, один из которых уСтановлен симметрично относительно двух других с воэможностью перемещения пер30 пендикулярно оптической оси, и последовательно расположенных вдоль оси корпуса уголкового отражателя, ориентированного основанием параллельно оптической оси и скрепляемого с подвижным наконечником, 35 двух пар оптических клиньев, ориентированных основаниями в противоположные стороны, и второго уголкового отражателя, ориентированного аналогично первому,

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля чистоты обработки высокоотражающих металлических поверхностей изделий, не имеющих регулярной составляющей шероховатости

Способ измерения шероховатости поверхности детали // 1657950

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано, в частности, в оптических рефлектометрических способах в машиностроении, оптической, электронной и других отраслях промышленности для бесконтактного экспрессного измерения среднеквадратичного отклонения Rq микронеровностей от средней линии профиля

Устройство для контроля параметров шероховатой поверхности // 1652815

Изобретение относится к измери- , тельной технике, я частности к оптическим средствам контроля шероховатой поверхности, и может использоваться для контроля параметров шероховатой поверхности после механообрайотк , i(c ib изобретения - повышение точности и информативности контроля и расшире нк функциональных возможностей за счг;г устранения погрешности от неравномерности чувствительности Изобретение относится к измерительной технике, в частности к оптическим средствам ггнтроля параметров шероховатой поверхности, и может быть использовано для контроля параметров шероховатой поверкног ги после механообработки

Способ интерференционного контроля формы поверхности оптической детали из пористого стекла // 1649265

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано, в частности, для контроля формы поверхности оптической детали из пористого свекла (ПС)

Бесконтактный способ определения высоты шероховатости поверхности // 1649264

Изобретение относится к измерительной технике, точнее к оптическим измерительным методам определения высоты шероховатости поверхности

Устройство для бесконтактного контроля качества обработки поверхности плоских деталей // 1649263

Бесконтактный оптический способ определения среднеквадратичной высоты шероховатости поверхности // 1647242

Способ определения распределения крутизны микронеровностей шероховатых поверхностей // 1645811

Способ определения оптической анизотропии прозрачных образцов // 1640542

Способ определения функции распределения углов наклона микронеровностей шероховатой поверхности // 1635000

Устройство для определения качества поверхности // 2104480

Изобретение относится к медицинской промышленности, в частности, к способу получения реактива для определения активированного парциального тромбопластинового времени (АПТВ) из отходов производства соевого лецитина

Способ исследования оптического диска оригинала и устройство для его осуществления // 2107893

Устройство для измерения шероховатости и волнистости поверхности при фиксированных значениях базовой длины // 2116616

Изобретение относится к технике измерения и может быть использовано для контроля выпуска продукции с регламентированными параметрами шероховатости и волнистости в металлургической, машиностроительной, электронной, оптической, полиграфической промышленности, в самолетостроении, в технологиях нанесения покрытий

Устройство для измерения поверхностных характеристик // 2124701

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к устройству для измерения поверхностей и профилей с помощью интерферометрии

Способ и устройство для высокоточного бесконтактного измерения расстояний поверхностей // 2148790

Изобретение относится к области оптических измерений, прежде всего шероховатости поверхностей

Способ контроля параметров наружной резьбы и устройство для его осуществления // 2151999

Изобретение относится к оптическому приборостроению, а именно к измерительной технике с помощью оптоэлектронных приборов, и может быть использовано при производстве и эксплуатации деталей и устройств, имеющих наружную резьбу

Способ контроля параметров внутренней резьбы и устройство для его осуществления // 2152000

Способ детектирования положения линии сгиба на упаковочном полотне и устройство для его осуществления // 2153160

Изобретение относится к способу детектирования положения линии сгиба или аналогичной неровности на движущемся упаковочном полотне на подобном материале

Устройство для определения шероховатости поверхности // 2156437

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при определении шероховатости сверхгладких поверхностей, например плоских зеркал, полированных подложек и т.п

Устройство для контроля шероховатости поверхности изделия // 2156955

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к устройствам для контроля шероховатости поверхности изделия