Трехкоординатное измерительное устройство
Изобретение относится к техническим измерениям. Цель изобретения - расширение области использования за счет обеспечения измерений в диапазоне температур (-65) - (+300)°С. Измеряемый объект 20 размещают на базовой поверхности 3 столика 2. Координаты контролируемых точек объекта определяют при помощи оптико-электронного измерительного узла 12, состоящего из объектива 13, осветителя 14, привода 15 перемещения объектива по 3-м координатам и узла 16 отсчета. Между столиком 2 и объективом 13 размещен узел 4 нагрева и охлаждения, выполненный в виде кварцевых пластин, параллельных базовой поверхности столика и имеющих герметизированную полость между ними. Эта полость связана с узлом 9 подачи и отвода охладителя. На кварцевой пластине, обращенной в сторону столика, закреплен пленочный нагреватель и нанесен отсчетный индекс в виде системы перекрестий. Столик 2, узел 4 нагрева и охлаждения, отсчетный индекс и объектив 13 размещены внутри герметичной камеры 17 с узлом ее вакуумирования. Вакуумирование камеры предотвращает выпадение росы при измерении объекта при минусовых температурах. Исходные координаты фиксируются измерительным узлом 12 при нормальной температуре, а потом проводят измерения при температуре -65°С, которая обеспечивается подачей в герметичную полость охладителя (жидкого азота или его паров), и при температуре +300°С, которая обеспечивается пленочным нагревателем. 5 ил.
союз соВетских
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ ПРИ ГКНТ СССР ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛ6СТВУ (21) 4454828/28 (22) 05,07.88 (46) 15,08.91. Бюл. М 30 (72) Л.А.Хорошевский и В.В.Логинов (53) 531.717 (088,8) (56) Микроскопы универсальные измерительные УИМ-23, тип УИМ-200Э ГОСТ 14968-69, (54) ТРЕХКООРДИНАТНОЕ ИЗМЕРИТЕЛЬНОЕ УСТРОЙСТВО (57) Изобретение относится к техническим измерениям. Цель изобретения — расширение области использования за счет обеспечения измерений в диапазоне температур (-65) — (+300) С. Измеряемый объект 20 размещают на базовой поверхности 3 столика 2. Координаты контролируемых точек объекта определяют при помощи оптико-электронного измерительного узла 12, состоящего из объектива 13, осветителя 14, привода 15 перемещения объектива по 3-м координатам и узла 16 отсчета. Между столиком 2 и объективом 13 размещен узел 4 „„Я „„1670331 Al нагрева и охлаждения, выполненный в виде кварцевых пластин, параллельных базовой поверхности столика и имеющих герметизированную полость между ними. Эта полость связана с узлом 9 подачи и отвода охладителя. На кварцевой пластине, обращенной в сторону столика, закреплен пленочный нагреватель и нанесен отсчетный индекс в виде системы перекрестий. Столик 2, узел 4 нагрева и охлаждения, отсчетный индекс и объектив 13 размещены внутри камеры 17 с узлом ее вакуумирования. Вакуумирование камеры предотвращает выпадение росы при измерении объекта при минусовых температурах. Исходные координаты фиксируются измерительным узлом 12 при нормальной температуре, а потом проводят измерения при температуре -65 С, которая обеспечивается подачей в герметичную полость охладителя (жидкого азота или его паров), и при температуре +300 С, которая обеспечивается пленочным нагревателем. 5 ил, 1670331 Изобретение относится к техническим измерениям. Цель изобретения — расширение области использования эа счет обеспечения измерений в диапазоне температур от -65 С до+300 С. На фиг.1 представлена конструктивная схема устройства, общий вид; на фиг.2— основание, вид сверху; на фиг.З вЂ” разрез АБВГ на фиг,2; на фиг,4 — вид Д на фиг,З; на фиг,5 — вид Е на фиг,З. Трехкоординатное измерительное устройство содержит основание 1, базовый столик 2, выполненный иэ материала с минимальным коэффициентом линейного расширения, с базовой поверхностью 3, узел 4 нагрева и охлаждения (фиг,1 — 3),выполненный в виде кварцевых пластин 5 и 6, имеющих герметизированную полость 7 между ними с встроенными штуцерами 8, узел 9 подачи и отвода охладителя, сообщенного с герметичной полостью 7 через штуцеры 8, и пленочного нагревателя 10 (фиг.3), закрепленного в полости 7 на кварцевой пластине 5, обращенной в сторону столика 2. Устройство содержит отсчетный индекс 11 (фиг.4), оптико-электронный измерительный узел 12, состоящий из объектива 13, осветителя 14, привода 15 перемещения обьектива по трем координатам и узла 16 отсчета. Устройство содержит герметизированную камеру 17 с узлом 18 ее вакуумирования, причем столик 2, пластины 5 и 6, отсчетный индекс 11 и объектив 13 размещены внутри герметичной камеры 17, а герметизация пеоемещений объектива обеспечивается эластичной мембраной 19. Устройство работает следующим образом. Измеряемый объект 20, например контактирующее устройство с зондом, устанавливают на базовую поверхность 3 столика 2 внутри вакуумной камеры 17 и совмещают с отсчетным индексом 11. Указанное совме5 40 щение фиксируют оптико-электронным измерительным узлом 12 в качестве исходных координат объекта 20. Для измерения координат объекта при температуре минус 65 С относительно исходных координат в герметичной камере 17 создается вакуум 10 мм рт.ст., что предотвращает выпадение росы. В полость 7 подается жидкий азот, обьект охлаждают до -65 С и измеряют при помощи оптико-электронного узла 12 его координаты. После этого удаляют охладитель и включают пленочный нагреватель 10, раэгерметиэируют камеру 17, нагревают объект до +300 С и измеряют его координаты. Формула изобретения Трехкоординатное измерительное устройство, содержащее основание и установленчые на основании столик с базовой поверхностью и измерительный узел, выполненный в виде объектива с приводом его перемещения по трем координатам и узла, отсчета, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью расширения области использования за счет обеспечения измерений в диапазоне температур от -65 до +300 С, оно снабжено узлом нагрева и охлаждения в виде установленных между базовым столиком и объективом двух полированных кварцевых пластин, параллельных базовой поверхности столика и имеющих герметиэированную полость между ними, узла подачи и отвода охладителя, сообщенного с герметизированной полостью, и пленочного нагревателя, установленного на кварцевой пластине, обращенной в сторону столика, отсчетным индексом в виде системы перекрестий, нанесенных на кварцевой пластине, обращенной в сторону столика, и установленной на основании герметичной камерой с узлом ее вакуумирования, в которой размещены столик, кварцевые пластины, отсчетный индекс и объектив, а столик выполнен иэ материала, не изменяющего линейные размеры при изменении температуры. 1670331 1670331 Вид А 7окопрободящий слой SnП Вид Е Составитель Н. Бочаров Техред М.Моргентал Корректор M.Kó÷åðÿsàÿ Редактор С. Лисина Заказ 2734 Тираж 366 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035,Москва,Ж-35, Раушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул.Гагарина, 101
