Устройство для оптической регистрации линейных перемещений объектов

 

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения перемещений объектов. Целью изобретения является повышение точности за счет двукратного прохождения излучения через решетку и расширение диапазона регистрируемых перемещений за счет перемещений, превышающих длину решетки. Излучение лазера 1 коллимируют с помощью телескопической системы 2 и посылают на дифракционную решетку 3. Бипризма 8 преобразует дифрагировавшее излучение в параллельные пучки, которые, пройдя призмы 6, 7, попадают на вторую бипризму 9, а затем пересекаются на дифракционной решетке 3. Фотоэлемент считывает полосы, которые перемещаются при перемещениях решетки 3 и призмы 7. Счетчик регистрирует число полос, по которому определяют перемещения. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (si)s G 01 В 11/00

ГОСУДАРСТВЕ ННЫ И КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (С ((1) (21) 4251882/28 (22) 28.05.87 (46) 15.08.91, Бюл. ¹ 30 (71) Институт электроники АН БССР (72) В.Н.Ильин (53) 531.717.2(088.8) (56) Лазерные интерферометры — Под ред.

Коронкевича В.П.. Новосибирск, 1978, с.

114 — 115. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОПТИЧЕСКОЙ РЕГИСТРАЦИИ ЛИНЕЙНЬ!Х ПЕРЕМЕЩЕНИЙ

ОБЬЕКТОВ (57) Изобретение относится к измерительной технике и може быть использовано для измерения перемещений объектов. Целью изобретения является повышение точности

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения перемещений объектов.

Цель изобретения — повышение точности эа счет двукратного прохождения излучения через решетку и расширение диапазона регистрируемых перемещений за счет перемещений, превышающих длину решетки, Нэ чертеже изображено устройство для оптической peru:e грации линейных пере лещений объектов.

Устр йство содержит лазер 1, расположенную по ходу его излучения телескопическую систему 2 и синусоидальную дифракционную решетку 3, фотоэлемент 4, счетчик 5, первую призму 6, расположенную за дифракционной решеткой 3 на пути одной части дифрагировавшего на ней излучения, вторую призму 7. выполненную с Ы 1670380 А1 эа счет двукратного прохождения излучения через решетку и расширение диапазона регистрируемых перемещений за счет пе ремещений, превышающих длину решетки, Излучение лазера 1 коллимируют,с помощью телескопической системы 2 и посылают на дифракционную решетку 3, Бипризма 8 преобразует дифрагировавшее излучение в параллельные пучки, которые, пройдя призмы 6, 7, попадают на вторую бипризму 9, а затем пересекаются на дифракционной решетке 3, Фотоэлемент считывает полосы, которые пеоемещак;тся при перемещениях решетки 3 и призмы 7. Счетчик регистрирует число полос, по которому определяют перемещения. 1 ил. воэможностью перемещения по направлению нормали к дифракционной решетке 3 и расположенную за первой призмой 6 на пути другой части дифрагировавшего на решетке 3 излучения, первую бипризму 8, расположенную на пути дифрагирова.1шего излучения K призмам 6, 7 и ориентированную тупым углом в их сторону, и вторую биприз лу 9, расположенную на пути излучения, прошедшего призмами 6, 7, и ориентированную тупым углом в сторону решетки 3.

Устройство работает следующим образом.

Излучение лазера 1 поступает в телескопическую систему 2, которая коллимирует излучение в пучок большего диаме1ра.

Этот пучок попадает на дифракционную решетку 3 и дифрагирует на ней. Бипризма 8 преобразует дифрагировавшее излучение в

1670380

Формула изобретения

Устройство для оптической регистрации линейных перемещений обьектов, содержащее лазер, расположенные по ходу

Составитель В. Костюченко

Редактор Н.Федорова Техред M,Ìoðãåíòàë Корректор M.Ìàêñèìèøèíåö

Заказ 2737 Тираж 369 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина. 101 параллельные пучки, один из которых поступает на первую призму 6, а другой — на вторую призму 7, Призмы 6, 7 меняют направление пучков на 180 и направляют их на вторую бипризму 9, которая сводит пучки на дифракционной решетке 3. При этом образуются интерференционно-муаровые полосы. Фотоэлемент 4 считывает полосы. В процессе измерений происходят перемещение второй призмы 7 по направлению распространения пучков и перемещение дифракционной решетки 3 нормально к своим штрихам. При этом полосы перемещаются, а счетчик 5 регистрирует их число. По числу полос определяют перемещения. его излучения телескопическую систему и синусоидальную дифракционную решетку, фотоэлемент и счетчик, о т л и ч а ю щ е ес я тем, что, с целью повышения точности и

5 расширения диапазона регистрируемых перемещений, оно снабжено первой призмой, расположенной эа дифракционной решеткой на пути одной части дифрагировавшего на ней излучения, второй призмой, выпол10 ненной с возможноСтью перемещения по направлению нормали к дифракционной решетке и расположенной за первой призмой на пути другой части дифрагировавшего на решетке излучения, первой биприэмой, рас15 положенной на пути дифрагировавшего излучения к призмам и ориентированной тупым углом в их сторону, и второй бипризмой, расположенной на пути излучения, прошедшего призмы, и ориентированной

20 тупым углом в сторону решетки.