Способ контроля точности изготовления круговых структур
Изобретение относится к измерительной технике, к способам контроля круговых структур (синтезированных голограмм и др.). Цель изобретения - повышение производительности контроля изготовления круговых структур посредством выполнения нескольких меток кольцевой формы. В процессе изготовления кольцевых структур выполняют непрозрачные метки кольцевой формы в нескольких непрозрачных кольцевых зонах, измеряют значения радиусов кольцевых меток, определяют отклонения значений радиусов кольцевых меток от расчетных, по которым контролируют точность изготовления кольцевых структур.
Ёф,.
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ ПО ИЗОБРЕ1ЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ ПРИ ГКНТ СССР " @ЮОЦ ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 9 If; ! С Ы ОС (21) 4714710/28 (22) 05.07.89 (46) 15.08,91, Бюл. № 30 (72) В.О,Григорьев, А.В.Лукин, Н.П.Ларионов и P.À.Ðàôèêoâ (53) 531.781.2(088.8) (56) Оптико-механическая промышленность, 1976, ¹ 7, с. 68-70. (54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ТОЧНОСТИ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КРУГОВЫХ СТРУКТУР (57) Изобретение относится к измерительной технике, к способам контроля круговых ИзоОретение относится к изл1ерительной технике, к способам контроля кру овых структур (синт:зированных голограмм и др,). Цель изобретения — повышение производительности контроля изготовления круговых структур посредством выполнения нескольких меток кольцевой формы. Способ осуществляется следующим образом. Изготовление круговой дифракционной структуры (например, синтезированной голограммы) осуществляют на делительной лашине типа M/A- IO путем выполнения концентрических колец алмазным резцом на алюминированной подложке голограммы ro данны,"л ЗВАЛ. В программу расчета синтезированной голограMMû заложены также значения радиусов дополнительных непрозрачных л1еток кольцевой формы (1 — 10 шт), которые выполняются через заданный интервал (например, 5-20 мл) в заданных непрозрачных кольцевых зонах в процессе изготовления голограммы. Затем после из„„Я „„1670387 A1 структур (синтезированных голограмм и др.). Цель изобретения — повышение производительности контроля изготовления круговых структур посредством выполнения нескольких меток кольцевой формы. B процессе изготовления кольцевых структур выполняют непрозрачные метки кольцевой формы в нескольких непрозрачных кольцевых зонах, измеряют значения радиусов кольцевых меток, определяют отклонения значений радиусов кольцевых меток от расчетных, по которым контролируют точность из отовления кольцевых структур, готовления синтезированной голограммы измеряют фактические значения радиусов кольцевых меток на контрольно-из лерительном приборе, наприл1ер, на ДИП-1 (двух координатный измерител ьн ый и ри бор) и сравнивают их с расчетными значениями, По найденным отклонениям радиусов контрольных колец можно определить погрешность Wi формирования волнового фронта синтезированной голограмл ой в долях длины волны используемого источника света по формуле Wf = д; л, где Рм — Рр где уф — фактический радиус кольцевой мстки, нанесенной в i -ой непрозрачнойкольцевой зоне; р — расчетный радиус кольцевой метки, нанесенной вi-ой непрозрачной кольцеВой зоне; ф — расчетный период i-ой кольцевой зоны; 1670387 Составитель Б,Евстратов Техред M.Ìoðãåíòàë Корректор M.Äåì÷èê Редактор Н.Никитина Заказ 2737 Тираж 372 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул.Гагарина, 101 А — длина волны используемого источника света. Формула изобретения Способ контроля точности изготовления круговых структур, выполненных в виде чередующихся прозрачных и непрозрачных кольцевых зон, заключающийся в том, что измеряют характеристики кольцевых зон и определяют отклонения характеристик от расчетных, по которым контролируют точность изготовления кольцевых зон, о т л ич а ю шийся тем, что, с целью повышения производительности и точности контроля, в процессе изготовления выполняют не5 прозрачные метки кольцевой формы в нескольких непрозрачных кольцевых зонах круговых структур, характеристики кольцевых зон определяют для меток, а в качестве характеристик кольцевых зон принимают 10 величины радиусов меток, 
