Электроизоляционное стекло для стальных подложек

 

Изобретение относится к области технологии силикатов и предназначено для создания изоляционных покрытий стальных подложек. С целью повышения адгезии к металлической подложке и увеличения числа циклов повторного обжига электроизоляционное стекло для стальных подложек имеет следующий химический состав, мас.%: SIO<SB POS="POST">2</SB> 11,0 - 13,8

AL<SB POS="POST">2</SB>O<SB POS="POST">3</SB> 3,9 - 4,5

B<SB POS="POST">2</SB>O<SB POS="POST">3</SB> 5,3 - 7,0

BAO 56,5 - 58,2

CDO 13,9 - 18,2

COO 0,5 - 0,7

MNO 0,1 - 0,4

V<SB POS="POST">2</SB>O<SB POS="POST">5</SB> 0,5 - 0,8

CR<SB POS="POST">2</SB>O<SB POS="POST">3</SB> 0,3 - 0,6

TIO<SB POS="POST">2</SB> 0,8 - 3,0. Адгезия стекла к стальной подложке 205 - 220 кг/см<SP POS="POST">2</SP>, после 20 циклов термообработки сопротивление изоляции 10<SP POS="POST">13</SP> Ом/ @ . 1 табл.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАПИСТИЧЕ СКИХ

РЕ СI IY6flVlK

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4764500/33 (22) 05.12.89 (46) 30.08.91: Бюл. М 32 (71) Белорусский технологический институт им. С.М.Кирова (72) Н.М.Бобкова, М.П.Гласова, Л.Ф.Папко, В,М.Абдусаламов и T.À.ÇBåðåâà (53) 666.283.52 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

М 1414807, кл. С 03 С 3/062, 1987.

Авторское свидетельство СССР

М 1539174, кл, С 03 С 3/064, 1987, (54) ЭЛЕКТРОИЗОЛЯЦИОННОЕ СТЕКЛО

ДЛЯ СТАЛЬНЫХ ПОДЛОЖЕК

Изобретение относится к технологии силикатов и предназначено для создания изоляционных покрытий стальных подложек, применяемых в производстве толстопленочных гибридных интегральных схем.

Цель изобретения — повышение адгезии к металлической подложке и увеличение числа циклов повторного обжига.

Синтез стекол проводят в газовой пламенной печи при 1400 С с выдержкой при данной температуре 1 ч. В качестве сырьевых материалов используют кварцевый песок, глинозем, борную кислоту, углекислый барий, оксид кадмия. оксид кобальта, оксид марганца (II), оксид ванадия, оксид хрома, оксид титана.

Пример. Предлагаемый состав злектроизоляционного стекла содержит следующие компоненты, мас.%: SION 13,8; AlzOg

3,9; В20з 5,3; ВаО 58,2; CdO 13,9; СоО 0,7;

МпО 0,1; Н20 0,5; Сг20з 0,6; Т!02 3,0.

„„5U„„1673550 А1 (57) Изобретение относится к технологии силикатов и предназначено для создания иэоляционных покрытий стальных подложек. С целью повышения адгеэии к металлической подложке и увеличения числа циклов повторного обжига электроиэоляционное стекло для стальных подложек имеет следующий химический состав, мас.%: SION 11,013,8; А!20э 3,9-4,5; В20э 5,3-7,0; ВаО

56,5-58,2; Cd0 13.9-18,2; СоО 0,5-0,7; МпО

0,1-0,4; Ч205 0,5-0,8; С Оз 0,3-0,6; Т102 0.83,0. Адгеэия стекла к стальной подложке

05-220 кг/см, после 20 циклов термообработки сопротивление изоляции 10 Ом/и. 1 з табл.

Сырьевые материалы взвешивают на

I» технических весах и тщательно перемешивают. Готовую шихту засыпают в корундиэовые тигли и помещают в газовую печь.

Скорость подъема температуры в печи

250 С в 1 ч, время выдержки при максимальной температуре варки (1400 С) 1 ч. Стекло- массу вырабатывают методом отливки в (A) воду для получения гранулята. Последний Ql высушивают и раэмалывают в планетарной (Л мельнице. Нанесение изолирующего по- Q крытия на металлические подложки (сталь

15Х25Т) проводят методом трафаретной печати. Нанесенные покрытия сушат в муфельной печи при 100 С, после чего обжигают в электрической конвейерной печи при

700 С.

Изготовление образцов для определения физико-механических свойств стекол осуществляют методом отливки в стальные формы с последующим отжигом при 570 C

1673550

SiO<

13,В

12>4!

1,о

1О,2!

3,65

Alt.03 в,о, 3,9

4,5

4,1

5,3

6,2

2,О

6,66

52,З

58, 2 вао

56,5 65,94

Cd0

13,9!

В,2

16,1

В,74

0,6

0,S

0,5 о,в

Ипо

О,4

0,!

o,ç

1,о ч,о, 0,5 о,в

0,6

0,6

0,6 о,з

О ° 4 о,в

T iO4

3,0 о,в г,о гго

Фиэихо-механические свойства:

Температура начала раэмягчения, т. 605

620

580

600

Температура обвив га покрытия, С 100

740

2ОО

700

Температурный коэффициент линейного расиирения (20-300 С), 4! ° 10, К

122

105

11О

108

Уделъное объемное электросопротивлеиие при

400 С, Ом м

Адгеэия, кг/:и

1О

10!

105

205

220 20

Сопротивление иэс ляции, Ом/0 !0

10"

Количество циклов термообработки 20 го

2О

Сопротивление иэ,ляции после терчообработки

Омlп

1и!

0 10тв 1Отэ в течение 2 ч в электрической муфельной печи.

Синтез стекол остальных составов и нанесение изолирующих покрытий на их основе проводится аналогично приведенному примеру.

Составы стекол и их фиэико-механические свойства приведены в таблице, Высокая адгеэия предлагаемого материала к металлическому основанию обеспечивает повышенную вибро- и ударопрочность металлодиэлектрических подложек интегральных схем и, как следствие, высокую надежность микросхем при работе под воздействием высоких механических нагрузок. Устойчивость предлагаемого материала к многократному обжигу дает воэможность формировать многослойные струкзуры на металлическом основании и расширить таким образом функциональные

5 воэможности микросхем, Формула изобретения

Электроиэоляционное стекло для сталь. ных подложек, включающее следующие компоненты, мас. $: SION 11-13,8; А!20з 3,910 4,5; ВгОз 5,3-7.0; ВаО 56,5-58,2; CdO; СоО

0,5-0,7; МпО; ЧгОэ 0,5 — 0,8: СггОэ0,3-0,6, о тл и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения адгеэии к металлической подложке и увеличения числа циклов повторного обжи15 га, оно содержит, мас,7ь: CdO 13,9-18,2;

МпО 0,1-0,4 и дополнительно Т102 0.8-3,0.