Микроинтерферометр

 

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (я)ю G 01 В 9/02

ГОСУДАРСТВЕ ННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4625208/28 (22) 26.12.88 (46) 15.09.91. Бюл. М 34 (71) Всесоюзный научно-исследовательский и конструкторский институт средств измерения в машиностроении (72) Г.Б. Кайнер (53) 531.717.82 (088.8) (56) Захаревский А.В. Интерферометры.—

М,:Гос.изд-во оборонной промышленности, 1952, с.202-212, рис.151А, (54) МИКРОИНТЕРФЕРОМЕТР (57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля микроперемещений, а также геометрической формы объектов. Целью изобретения является повышение точности контроля за счет исключения влияния дестабилизирующих факторов на результаты измерения. Пучки лучей источника 1 света собираются конденсором 2 на диафрагме 3 и затем разделяются светоделителем 4 на

„„5U ÄÄ 1677506А1 два пучка лучей, один из которых проходит через микрообъектив 5 и отражается от.плоского отражателя 6, а второй проходит через микрообъектив 7 и одна часть его отражается от контролируемого объектива 9, а вторая — от отражателя 11. Затем пучки лучей проходят через микрообъектив 7 и посредством микроскопа 8 можно регистрировать две интерференционные картины, одна иэ которых соответствует пучкам лучей, отразившимся от контролируемого объекта

9, а вторая — от отражателя 11. Перемещением отражателя 11 посредством направляющей 10 подгоняют" их по положению и ширине интерференционных.полос. По взаимному смещению интерференционных полос определяют положение или величину перемещения контролируемого объекта, а сопоставляя формы интерференционных полос оценивают отклонение формы контролируемого объекта от номинального значения. 1 ил, 1677506

Составитель А. Заболотский

Редактор Л. Пчолинская Техред M.Moðãåíòàë Корректор M. Максимишинец

Заказ 3105 Тираж 363 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб„4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля микроперемещений, а также геометрической формы объектов .

Цель изобретения — повышение точности контроля за счет искл ючен ия вли я ни я дестабилизирующих факторов на результаты измерения, На чертеже представлена функциональная схема микроинтерферометра.

Микроинтерферометр содержит источник 1 света, интерференционный узел в виде последовательно установленных по ходу пучка лучей источника 1 света конденсора 2, диафрагмы 3, светоделителя 4, микрообъектива 5, плоского отражателя 6, микрообъектива 7, оптически связанного с диафрагмой

3 через светоделитель 4, микроскоп 8, оптически связанный с микрообъективами 5 и 7 через светоделитель 4, предметный столик (на чертеже не показан), предназначенный для размещения контролируемого объекта 9 и оптически связанный с микрообъективом

7, направляющую 10, неподвижная часть которой жестко скреплена с микрообъективом

7, и отражатель 11, скрепленный с подвижной частью направляющей так, что его поверхность перпендикулярна оптической оси микрообъектива 7.

Пучки лучей источника 1 света собираются конденсором 2 на диафрагме 3 и затем разделяются светоделителем 4 на два пучка лучей, один иэ которых проходит через микрообъектив 5 и отражается от плоского отражателя 6, а второй проходит через микрообъектив 7 и одна часть его отражается от контролируемого объекта 9, вторая— от отражателя 11. Затем пучки лучей проходят через микрообъектив 7. Посредством микроскопа 8 регистрируются две интерференционные картины, одна иэ которых соответствует пучкам лучей, отразившимся от контролируемого объекта 9, а другая — от отражателя 11.

При контроле формы контролируемого обьекта 9 в качестве отражателя 11 может быть использован образец — аналог контролируемого объекта 9, 5 Перемещением отражателя 11 посредством направляющей 10 подгоняют их по положению и ширине интерференционных полос,, соответствующих контролируемому объекту. По взаимному смещению интерфе10 ренционных полос определяют положение (величину перемещения) контролируемого объекта, а по сопоставлению формы интерференционных полос оценивается отклонение формы контролируемого объекта от

15 номинального значения.

Предложенный микроинтерферометр обеспечивает более высокую точность изме1 рения за счет исключения влияния дестабилизирующих факторов на результаты

20 измерения вследствие создания независимой регулируемой системы интерференционных полос, выполняющих функцию отсчетных элементов, 25 Формула изобретения

Микроинтерферометр, содержащий источник света, интерференционный узел в виде последовательно установленных по ходу пучка лучей источника света, конденсора, 30 диафрагмы светоделителя, первого микрообъектива, плоско-о отражателя, второго микрообьектива, оптически связанного с диафрагмой через светоделитель, микроскоп, оптически связанный с микрообъекти35 вами через светоделитель, предметный столик для размещения контролируемого обьекта, оптически связанный со вторым микрообъективом, отличающийся тем, что, с целью повышения точности контроля, 40 он снабжен направляющей, неподвижная часть которой жестко скреплена с вторым микрообъективом, отражателем, скрепленным с подвижной частью направляющей так, что его поверхность перпендикулярна

45 оптической оси второго микрообъектива.