Интерферометр радиального сдвига

 

Изобретение относится к измерительной технике, конкретнее к интерферометрическим устройствам контроля волнового фронта лазерного излучения, в частности ИК-диапазона. Цель изобретения - упрощение конструкции интерферометра и повышение надежности за счет совмещения в одном узле функций нескольких элементов. Пучок лазерного излучения подается в оптическую систему, выполненную в виде линзы, переотражается от оптических поверхностей , на которые нанесены светоделительные покрытия. Благодаря отличию кривизны поверхностей пары интерферирующих пучков обладают разной кривизной волнового фронта и некоторой плоскости нормальной оси, где интенсивности рабочего и опорного пучков наиболее близки. Конструкция предложенного интермерометра значительно проще и надежнее, позволяет контролировать мощные пучки. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (я)5 G 01 В 9/02

: с 1

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЭОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4707573/28 (22) 20.06.89 (46) 15.09.91. Бюл. hh 34 (72) Г.Ю.Снежков (53) 531,717.1 (088.8) (56) Оптический производственный контроль . /Под ред. Д.Малакара .— М„Машиностроение,1985, с.127. (54) И НТЕ Р Ф Е Ро МЕТР РАДИАЛ Ь Н ОГО

СДВИГА (57) Изобретение относится к измерительной технике, конкретнее к интерферометрическим устройствам контроля волнового фронта лазерного излучения, в частности

ИК-диапазона. Цель изобретения — упрощеИзобретение относится к измерительной технике, к интерферометрическим устройствам контроля волнового фронта лазерного излучения, в особенности ИК-диапазона, Цель изобретения — упрощение конструкции интерферометра и повышение надежности за счет совмещения в одном узле, функций нескольких элементов.

На чертеже изображена оптическая схема устройства.

Интерферометр радиального сдвига включает в себя объектив в виде линзы 1 с поверхностями 2 и 3, которые выполнены светоделительными, блок 4 регистрации интерферограмм, который установлен в плоскости 5, оптически сопряженной с плоскостью пучка 6.

„„Я „„1677507 A l ние конструкции интерферометра и повышение надежности за счет совмещения в одном узле функций нескольких элементов.

Пучок лазерного излучения подается в оптическую систему, выполненную в виде линзы, переотражается от оптических поверхностей, на которые нанесены светоделительные покрытия. Благодаря отличию кривизны поверхностей пары интерферирующих пучков обладают разной кривизной волнового фронта и некоторой плоскости нормальной оси, где интенсивности рабочего и опорного пучков наиболее близки. Конструкция предложен ного интермерометра значительно проще и надежнее, позволяет контролировать мощные пучки. 1 ил.

Устройство работает следующим образом.

Пучок лазерного излучения, волновой фронт А которого измеряют, направляется в оптическую систему 1, переотражается на поверхностях 2 и 3 в результате чего оптическая система 1 формирует несколько инD„ терферирующих пучков с различной расходимостью, например В и С.

Благодаря отличию кривизны граней 2 и

3 оптическая сила такой оптической системы для каждого из сформированных ею интерферирующих пучков различна (т,е. f>

6 f г) и определяется параметрами линзы через известные соотношения, Благодаря этому, в общем случае, размеры сечений любого из выбранной пары интерферирующих пучков в некоторой нормальной оси плоскости различны (отличаются относи1677507

Составитель Н. Серебренникова

Техред М.Моргентал Корректор М. Максимишинец

Редактор Л. Пчолинская

Заказ 3105 р р р СС, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

П роиэводственно-издательский комбинат "Патент" т атент, r. Ужгород, ул.Гагарина, 101 тельным увеличением), т.е. имеет место интерференция радиального сдвига. ся

Анализ интерферограммы производ по количеству интерференционных колец и максимальная пространственная частота 5 полос определяет стрелку прогиба рабочего и опорного волновых фронтов.

П реимуществами данного интерферометра является надежность работы за счет совмещения функций формирования и со- 10 вмещения интерферирующих пучков в одном элементе и воэможность исследования пучков высоких мощностей, так как отсутствует фокусировка на поверхностях оптических элементов.

Ф ормула изобретения

Интерферометр радиального сдвига для контроля волнового фронта, состоящий из оптической системы и блока лака регистрации,отличающийся тем чт, то, с целью упрощения конструкции и повышен д сти, оптическая системы выпо ежно шения на-, вие б олнена в д обьектива, две оптические поверхности кото ого р выполнены светоделительными.