Способ очистки оптической поверхности изделий

 

Изобретение относится к химической обработке, в частности к способу очистки оптической поверхности элементов из меди и ее сплавов, и может быть использовано в точной механике и радиоэлектронике. Цель изобретения - предотвращение снижения порога плазмообразования при сохранении оптической прозрачности, а также повышение качества очистки и антикоррозионной защиты. Способ включает обработку оптической поверхности медных элементов азеотропной смесью растворителей фреон-11482 - ацетон и обработку раствором N-метилмалеимида в этаноле при следующем соотношении компонентов, мас.%: N-метилмалеимид 0,001 - 0,1; этанол 99,9 - 99,999. Предотвращение снижения порога плазмообразования при сохранении оптической прозрачности, а также повышение качества очистки и антикоррозионной защиты достигается дополнительной обработкой раствором N-метилмалеимида в этаноле. 4 табл.

союз соВетских

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (l 9) (! 1) (я)ю С 23 F 11/00

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОЫРЕТЕНИ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

В (21) 4446159/02 (22) 21.06.89 (46) 30.09.91. Бюл. М 36 (72) З.И,Ашурлы, M.Ê.Èëüèí, Я.М.Микельсон, И.А.Подвинский, С,А.Филин и В,И.Ямпольский (53) 621.197.3 (088.8) (56) Патент Великобритании М 1503376, кл. С23 С 1/10, 1973.

Патент ФРГ М 212477, кл. С 23 6 5/02, 1976. (54) СПОСОБ ОЧИСТКИ ОПТИЧЕСКОЙ ПОВЕРХНОСТИ ИЗДЕЛИЙ (57) Изобретение относится к хи)чической обработке, в частности к способу очистки оптической поверхности элементов из меди и ее сплавов, и может быть использовано в точной механике и радиоэлектронике. Цель

Изобретение относится к химической обработке, в частности к очистке оптической поверхности медных элементов, и может быть использовано в точной механике и радиоэлектронике.

Цель изобретения — предотвращение снижения порога плазмообразования при сохранении оптической прозрачности, а также повышение качества очистки и антикоррозионной защиты, Оптический элемент устанавливают под углом 70 — 80 и обрабатывают иэотропной смесью фреон-114В2 — ацетон в соотношении 97,6:2,4 (мас.%) методом аэроэольного распыления до полного покрытия оптической поверхности. Затем поверхность обрабатывают раствором N-метилмалеимида в этаноле методом аэрозольного pB<:IlbljleHMsl изобретения — предотвращение снижения порога плазмообразования при сохранении оптической прозрачности, а также повышение качества очистки и антикоррозионной защиты. Способ включает обработку оптической поверхности медных элементов азеотроп ной смесью растворителей фреон-114В2 — ацетон и обработку раствором N-метилмалеимида в зтаноле пр<< следующем соотношении компонентов, мас.%:

N-метилмалеимид 0,001 — 0,1; этанол 99,9—

99,999. Предотвращение снижения порога плазмообразования при сохранении оптической прозрачности, а также повышение качества очистки и антикоррозионной защиты достигается дополнительной обработкой раствором N-метилмалеимида в этаноле. 4 табл. до полного покрытия опти <еской поверхности.

Расход состава составляет 4 — 5 мг/см

2 поверхности.

В табл.1 приведены составы раствора

N-метилмалеимида в этаноле.

После проведения процесса очистки рассчитывают коэффициент отражения на длине волны 0,63 мкм (Ro,вз) из данных элепсометрических измерений. Затем проводят климатические испытания по ГОСТ

9.045-75 следующим образом.

Оптические элементы выдерживают на воздухе в течение 7 сут в отапливаемом помещении, затем последовательно проводят выдержку в камере влажности КТК-3000; выдержку в камере полевого тумана; выдержку в термокамере TPV-1000.

1680801

Таблица1

Табл и ца2

Таблица 3

Степень чистоты оптической поверхности,г/смз

Степень чистоты оптической поКоэффициент отражении ° Е р 63 отн. ед.

Коэффициент отраR0 6Ý

Пример верхности,отн.ед.

После После кли

После клиПосле очистки

До очист- После ки очистки

До очист- После ки очистки очистки матических матических испытаний испытании

1.10

1 10

1 10

1-10

1 10

1 10

2 ° 1О

2 10

8 ° 10

5 -1О

100

99,8

100

1 92,4

2 92,3

3 92, 1

4 92,2

5 92,4

92,3

100

100

92,3

100

100

99,8

92,0

100

90,0

100

92,9

94,б

100

87,4

6 (иэвестный) 92, 3

1-10 100

89,1

1ОО

82, 3

В табл.2 представлены режимы выдержки.

После проведения климатических испытаний измеряют коэффициент отражения (о,бз), В табл,3 приведены результаты испытаний изменения коэффициента отражения после обработки по предлагаемому способу и после проведения климатических испытаний, а также данные по чистоте оптической поверхности после очистки, определенные флуороме1 рическим методом.

Испытания порога плазмообразования оптических элементов и меди с защитными покрытиями проводят на стенде "СТИС".

В табл.4 представлены результаты испытаний.

Технико-экономическим преимуществом предлагаемого способа является предотвращение снижения порога плазмообразования при сохранении оптической прозрачности, а также повышение качества очистки иантикоррозионной защиты.

Формула изобретения

5 Способ очистки оптической поверхности изделий из меди и ее сплавов, включающий обработку азеотропной смесью растворителей фреон-114В2 — ацетон, о тл и ч а ю шийся тем, что, с целью предот10 вращения снижения порога плазмообразования при сохранении оптической прозрачности, а также повышения качества очистки и антикоррозионной защиты, оптическую поверхность после обработки

15 смесью растворителей дополнительно обрабатывают раствором N-метилмалеимида в этаноле при следующем соотношении компонентов, мас. :

N-метилмалеимид 0,001 — 0,1

Этанол 99,9 — 99,999

1680801

Таблица 4

Относительный порог плазмообраз ования

Номер

Способ обработки и тип защитного покрытия

До обра- 11осле обботки работки

1,00

0,98

Обработку производят предлагаемым способом, представляющим собой обработку азеотропной фреон-114В2-ацетоновой смесью с последующей обработкой М-метилмалеимидом (раствором) в этаноле с концентрациями 0,001; 0,05;

0,1 мас.7.

1,00

1,00

1,00

1,00

1,00

0,10

Обработку производАт продуктом реакции ангидрида малеиновой кислоты с линейным полиамидом с предварительной очисткой фреон-ацетоновой смесью

1,00 0,16

Обработку производят продуктом реакции ангидрида алкенилянтарной кислоты с мочевиной с предварительной очисткой фреон-ацетоновой смесью

Контрольный образец (очистка фреон-ацетоновой смесью) 1,00 1,00

Составитель В. Егоров

Редактор М. Петрова Техред М.Моргентал Корректор М. Шароши

Заказ 3287 Тираж 557 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ ССС

ГКНТ ССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул,Гагарина. 101