Устройство для правки боковой поверхности гибкого отрезного круга

 

Изобретение относится к машиностроению , в частности к устройствам для правки отрезных кругов, используемых для резки монокристаллов полупроводников не пластины . Цель изобретения - повышение производительности и качества правки.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (я)з В 24 В 53/10

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

ЯЗВ.1

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4762742/08 (22) 30.10.89 (46) 07.01.92. Бюл. Q 1 (71} Специальное конструкторско-технологическое бюро при заводе "Контур" (72) Н,И.Толкачев и И.Г.Толкачева (53) 621.922.029 (56) Авторское свидетельство СССР

1 я 1214400, кл. В 24 В 53/10, 1986.

SU, 1703420 А1 (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПРАВКИ БОКОВОЙ

ПОВЕРХНОСТИ ГИБКОГО ОТРЕЗНОГО

КРУГА (57) Изобретение относится к машиностроению, в частности к устройствам для правки отрезных кругов, используемых для резки монокристаллов полупроводников на пластины. Цель изобретения — повышение Ilpo иэводительности и качества правки. 4

О

Од

Ф

ЬЭ

1703420

Устройство содержит установленные на основании механизм удержания и вращения отрезного круга, механизм вращения правящих инструментов, механизм вертикальных перемещений, механизм поворота инструментов (наклона правящих инструментов), На вал 7 шпинделя посажены на ребордных дисках 10. 11 правящие профильные абразивные круги 8, 9, Ребордные диски посажены на вал шпинделя на эластичные втулки

12, 13. Регулятор наклона кругов выполнен в виде полэунов 15, 16, посаженных с возможностью возвратно-поступательного пеИзобретение относится к машиностроению и может быть использовано при операциях резки с помощью кругов, Целью изобретения является повышение производительности и качества правки, На фиг, 1 показано предлагаемое устройство, осевой разрез; на фиг. 2 — рабочая эона, осевой разрез.

Устройство для правки боковых поверхностей отрезного круга содержит основание 1 и установленные на нем механизм удержания и вращения круга 2. механизм вращения правящих инструментов, механизм вертикальных перемещений механизма вращения правящих инструментов и механизм их поворота. Механизм удержания и вращения круга выполнен в виде ротора 3 с укрепленной на нем планшайбой 4, оснащенной вакуумным прижимом 5, Механизм вращения правящих инструментов содержит корпус 6 и вал 7 шпинделя с приводом вращения, правящие профильные абразивные круги 8, 9, укрепленные на ребордных втулках(дисках) 10, 11, посажен.ных на эластичные втулки 12, 13, укрепленные на валу 7 шпинделя (на промежуточных втулках), Механизм вертикальных перемещений механизма вращения правящих инструментов выполнен на известных технических решениях и потому не описан в элементах.

Механизм поворота правящих инструментов выполнен в виде стойки 14, укрепленной на корпусе шпинделя. полэунов 15, 16, посаженных на стойку 14 с возможностью возвратно-поступательных перемещений по ней и оснащенных роликами 17, 18 свободного вращения, винта 19, взаимодействующего с винтовыми отверстиями в ползунах 15, 16, и индикатора 20 перемещений, причем ролики 17, 18 установлены с возремещения по стойке 14, укрепленной на корпусе шпинделя, и оснащенных роликами

17, 18 свободного вращения, установленных с возможностью взаимодействия с ребордами ребордных дисков. Винт 19, взаимодействующий с винтовыми отверстиями в полэунах, позволяет поворачивать правящие инструменты с фиксацией поворота нв индикаторе. При включении приводов гибкого круга и правящих инструментов и вращении винта 19 обеспечивается формирование трапецеидального профиля нв внутренней кромке отрезного круга. 2 ил. можностью взаимодействия с ребордами ребордных втулок 10, 11.

Работает устройство следующим образом.

5 Отрезной круг 2 устанавливают на планшайбу 4 и закрепляют с помощью вакуумного прижима 5. С помощью механизма вертикальных перемещений устанавливают в требуемое пространственное положение

10 механизм вращения правящих инструментов; рабочие кромки кругов 8, 9 в верхней части (в месте рабочего контакта с калибруемым кругом) разведены на расстояние, большее начальной толщины обрабатывав15 мого круга. Включают привод правящих инструментов и привод вращения ротора.

Винтом 19 сближают рабочие кромки кругов . 8, 9 до соприкосновения с кругом и проводят обработку его до требуемого состояния

20 по показаниям индикатора.

Формула изобретения

Устройство для правки боковой поверх- ности гибкого отрезного круга, содержащее. корпус, установленные на нем приводно ; вал с держателем правящего инструментами о т.л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения производительности и качества правки, устройство снабжено соосно расположенным на приводном валу вторым держателем правящего инструмента и механизмом поворота инструментов друг относительно друга вокруг оси, перпендикулярной оси приводного вала. смонтированным нв корпусе. при этом каждый держатель выполнен в виде закрепленной на приводном валу эластичной втулки и установленного на ней диска, несущего правящий инструмент и предназначенного для контакта с выходным звеном механизма по ворота.

Составитель 8. Шульга

Редактор С.Кулакова Техред М.Моргентал Кбрректор Н.Король

Заказ 27 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раужкая наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент, r. Ужгород, ул.Гагарина, 101