Способ изготовления мишеней, преимущественно керамических, для получения напыляемых пленок

 

Изобретение относится к порошковой металлургии. Целью изобретения является обеспечение люминесцентности распыляемых пленок. Предлагаемый способ заключается в том, что порошки алюминия и нитрида алюминия смешивают (5-70% алюминия , остальное нитрид алюминия) в смачивающей порошки и легко испаряющейся жидкости, содержащей хлорид марганца, затем проводят сушку, прессование шихты и спекание при 660-700° С в защитной атмосфере .

СОЮЗ СОГТЕТСКИК

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСГТУ6ДИК

ГОСУДЛРСТБЕГФЬ!И КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕ TEHNHM И ОТКЕ ЫТИЯГЛ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

-К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4801082/02 (22) 09.01.90 (46) 15.01.92, Бюл М 2 (71) Ровенский государственный педагогический институт игл. Д.З.Мануильского (22) О.Б.Пастощук (53) 621.762.3 (088 8) (56) ЕРВ(ЕР)

N. 0291278. кл. С 23 С 14/34, 1988.

Авторское свидетельство СССР

N. 834246. кл. С 23 С 15/00. 1981. (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МИШЕНЕЙ.

ПРЕИМУЩЕСТВЕННО КЕРАМИЧЕСКИХ, Изобретение относится к порошковой металлургии. в частности к способам изготовления л1ишеней.

Целью изобретения является обеспечение люминесценции напыляемых пленок путем введения в распыляемую мишень люминесцентной добавки (примесь марганца). Достижение поставленной цели обеспечивается введением в состав мишени марганца. который обладает свойством люминесцентности, посредством смешивания порошков А! и AIN в смачивэющей и легко испаряющейся жидкости, содеожащей хлорид л.зпганца, сушку, прессование и спекзн;1е при 680= 20 С, причем соотношение порошков А! и AIN должно быть в пределах 5-70 Al и 95-30% AIN.

Пример. Б дистиллированной воде растворяют хлор кд лГарганцз необходимой концентрации. Для лучи его сл1ачивания нерастворилн. х частиц п:рошков алюл1иния и нитрида алюл1и .1я в раствор добавляют >Ы,, 1704920 А1 (5!)5 В 22 F 3/12, С 23 С 14/34

ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ НАПЫЛЯЕМЫХ ПЛЕНОК (57) Изобретение относится к порошковой металлургии, Целью изобрегения является обеспечение люминесцентности распыляемых пленок. Предлагаемый способ заключается в том, что порошки ал,оминия и нитрида алюминия смешивают (5-70% алюминия, остальное нитрид алюминия) в смачивающей порошки и легко испаряющейся жидкости, содержащей хлорид марганца, затем проводят сушку, прессование шихты и спекание при 660-700 С в защитной атЛ1ОСфЕРЕ. спирт. В полученный раствор засыпают порошки нитрида алюминия и алюминия. Образованную суспензию перемешивают, В результате жидкость смачивает, обволакивает поверхность частиц алюминия и нитрида алюминия, а растворенный хлорид марганца равномерно распределяется по объему порошка. После ch10LLèâàíi1ÿ суспензию просушивают с целью удаления воды и спирта. Поскольку хлорид марганца при растворении диссоциирует на ионы

2+

Мп и CI, то в процессе сушки свободный хлор испаряется. Полученная таким образом шихта содержит свободный алюминий. нитрид алюл1иния и л1арганец.

Холодное прессование мишеней для последующего спекания проводят при давлении 300-400 кг/сл1 .

Спекание з".ãîòîâêè л«,.шг ни осуществляют в свободHc 1 состоянии при 680 20" С

В а1 МОСфЕРЕ аР Она.

1704920

В процессс спекания происходит расплавление алюминлл и смачивание поСоставитель О.Пастощук

Техред М.Мор ентал Корректор Т.Палий

Редактор Э,Слиган

Заказ 150 Тираж Подписное

ВНИИПИ Госуд рственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва. Ж-35. Раушская наб.. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина. 101 верхности частиц нитрида алюминия и марганца. Свободный алюминий выступа(т Г качестве сая эуюгдегс. 5

Полученные предлагаемым способом мишени позаол-> oT получать пленки нитрида алюминия, легированные марганцем, которые обл.sда.эт люминесценцией в красной области спектра. 10

Формула изобретения

Способ изготовления мишеней, преимущественно керамических для получения напHëяpMblх пленок. вKëå÷çþùèé смешивание порошков, их npeccon,ï èå и спекание. отличающийся тем, что, с целью обеспечения люминесцентности напыляемых пленок, смешиванию подвергают порошки алюминия и нитрида алюминия при содержании 5-70 алюминия, остальное— нитрид алюминия, причеM смешивание и роводят в смачивэющей порошки и легко испаряющейся жидкости, содержащей хлорид марганца, затем проводят сушку, а спекание осуществляют при 660-700 С в защитной атмосфере.