Установка для нанесения покрытий из паровой (газовой) фазы

 

Изобретение относится к оборудованию для нанесения покрытий, в частности к устройствам для получения неорганических покрытий при разложении металлоорганических соединений. Цель изобретения - повышение производительности. Одну из камер 4 устанавливают в позицию загрузки, при этом с помощью силового элемента 14 салазки 11 перемещают в сторону от оси вращения рамы 2. Механизм 23, взаимодействуя с упорами 25, переводит крышку 10 в горизонтальное положение. Шаговый конвейер 15 подает сменный подложкодержатель 16 с изделиями 17, механизм 23 за упоры 25 возвращает крышку 10 в первоначальное положение, а силовой элемент 14, выступающая часть штока 13 которого находится в радиусном пазе 12, перемещает салазки 11 вместе с крышкой 10 и сменным подложкодержателем 16 с изделиями 17 в рабочую камеру 4. Приводом 3 осуществляют поворот рамы 2 и устанавливают камеры 4 на технологические позиции обработки. Конструктивные особенности устройства обеспечивают автоматизацию всего процесса . 1 з.п. ф-лы, 3 ил. у Ё

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (SI)5 С 23 С 16/00

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4697181/02 (22) 25.05.89 (46) 30.03.92. Бюл. N. 12 (71) Нижегородское i станкостроительное производственное объединение (72) А.М. Слушков, Н.Н. Смирнов и Н.П. Пухин (53) 621.793.14:621.767(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР .

N 954512, кл. С 23 С 16/00, 1980.

Применение металлоорганических соединений для получения неорганических покрытий и материалов. Под ред. Разуваева

Г.А. — М.: Наука, 1986, с. 199-200. g54) УСТАНОВКА.ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ ИЗ ПАРОВОЙ (ГАЗОВОЙ) ФАЗЫ (57) Изобретение относится к оборудованию для нанесения покрытий, в частности к устройствам для получения неорганических покрытий при разложении металлоорганических соединений. Цель изобретения — повышение,, Ж,, 1723193А1 производительности. Одну иэ камер 4 устанавливают в позицию загрузки, при этом с помощью силового элемента 14 салазки 11 перемещают в сторону от оси вращения рамы 2. Механизм 23, взаимодействуя с упорами 25, переводит крышку 10 в горизонтальное положение. Шаговый конвейер 15 подает сменный подложкодержатель 16 с изделиями 17, механизм 23 за упоры 25 возвращает крышку 10 в первоначальное положение, а силовой элемент 14, выступающая часть штока 13 которого находится в радиусном пазе 12, перемещает салазки 11 вместе с крышкой 10 и сменным подложкодержателем 16 с изделиями 17 в рабочую камеру 4. Приводом 3 осуществляют поворот рамы 2 и устанавливают камеры

4 на технологические позиции обработки.

Конструктивные особенности устройства обеспечивают автоматизацию всего процесса. 1 з.п. ф-лы, 3 ил.

1723193

35

45

55

Изобретение относится к вакуумной технологии получения неорганических покрытий при разложении металлоорганических соединений (МОС) и может найти применение в равличнык отраслях машиностроения, в частности в инструментальной промышленности при изготовлении сверл, метчиков, фрез, разверток и др.

Известно устройство, содержащее реактор с подложкодержателем, приводом вращения и нагревателем, размещенными в камере, разделенной перегородками на секции, к одной из которых подвешены патрубки подачи MOC и отвода продуктов распада.

Известна также установка, имеющая термостатированную кольцевую камеру, разделенную радиальными перегородками на секции для размещения в каждой изделия, Недостатком устройства и установки является низкая производительность(до 10 изделий в смену), одной из причин которой является невозможность механизировать загрузку и выгрузку изделий.

В качестве прототипа взята установка модели УПТ-1, предназначенная для покрытия внутренней поверхности шести труб одновременно. Она содержит .шесть вакуумированных камер, размещенных на равных расстояниях одна от другой по окружности, внутри которых установлены нагреватели и питатели, сообщающиеся с дозаторами и приводимыми в движение приводами рабочего и холостого ходов

Недостатком установки, несмотря на увеличение количества камер, является недостаточная производительность (18 труб в смену), Загрузка и выгрузка изделий в камеры производится вручную, при этом все шесть камер не работают.

Цель изобретения — повышение производительности достигается тем, что установка снабжена приводом поворота рамы с закрепленными на ней камерами и салазками, установленными под каждой рабочей камерой, при этом салазки шарнирно соединены с крышками и установлены с возможностью взаимодействия с механизмом загрузки-выгрузки, а на каждой крышке рабочей камеры смонтированы приводы вращения подложкодержателя.

На фиг. 1 показана установка, общий вид; на фиг. 2 - то же, вид в плане; на фиг. 3 — разрез А-А на фиг. 1.

Установка для нанесения покрытий из паровой (гаэовой) фазы содержит основание 1, на круговых направляющих которого смонтирована рама 2, имеющая воэможность совершать вращение от привода 3. На раме 2 на равных расстояниях одна от другой по окружности закреплены рабочие камеры 4, к которым от установленного на стойке 5 коммутационного устройства 6, выполненного, например, в виде кранового распределителя и вращающегося токосъемника, подведены патрубки 7, а к нагревателям 8 — токопроводы 9: Каждая рабочая камера 4 с внешней стороны закрыта крышкой 10, шарнирно соединенной с салазками

11, размещенными под рабочей камерой 4.

Каждые салазки 11 снабжены пазом 12, выполненным по радиусу, с которым в зоне загрузки и разгрузки взаимодействует выступающая часть штока 13 силового элемента 14, находящегося между камерой 4 и шаговым конвейером 15.

Сменный подложкодержатель 16 с изделиями 17 закреплен на оправке 18 привода 19, смонтированного на крышке 10 и содержащего зубчатый редуктор 20, муфту

21 и электродвигатель 22, В зоне загрузки и разгрузки смонтирован механизм 23, с помощью которого после окончания покрытия изделий 17 металлоорганическим соединением, поступающим в паровой (газовой) фа- . зе из испарителя 24, крышка 10 меняет свое положение на упорах 25.

Установка работает следующим образом.

Одну из камер 4 устанавливают в позицию загрузки, при этом с помощью силового элемента 14 салазки 11 перемещают в сторону от оси вращения рамы 2. Механиэм 23, взаимодействуя с упорами 25, переводит крышку 10 в горизонтальное положение.

Шаговый конвейер 15 переносит сменный подложкодержатель 16 с изделиями 17 и устанавливает его в оправку 18 привода 19.

Механизм 23 за упоры 25 возвращает крышку 10 в первоначальное положение, а силовой элемент 14, выступающая часть штока

13 которого находится в радиусном пазе 12, перемещает салазки 11 вместе с крышкой

10, приводом 19 и сменным подложкодержателем 16 с изделиями 17 в сторону рабочей камеры 4 и плотно прижимает торец крышки 10 к торцу рабочей камеры 4. В ключают вакуумный насос (не показан), который через трубопровод 7 создает в камере 4 разрежение 1 10 мм рт.ст.

Механизм 23 освобождает упоры 25, а привод 3 поворачивает раму 2 относительно основания 1, устанавливая вторую камеру 4 в позицию загрузки. Одновременно с этим в первой (загруженной изделиями 17) рабочей камере 4 включают нагреватель 3. тепловое излучение которого разогревает изделия 17 до 400-500 С, Вторую рабочую камеру 4 загружают изделиями 17 с по1723193 мощью загрузочных механизмов, выполняя приемы, описанные выше при загрузке первой рабочей камеры 4. После загрузки при.вод 3 снова осуществляет поворот рамы 2 вместе с рабочими камерами 4,. устанавливая третью по счету камеру в позицию загрузки. В это время в первой загруженной камере 4 на нагретые изделия 17 из испарителя 24 подают. МОС в паровой фазе, в результате чего на поверхность изделий наносится износостойкое покрытие. При этом включают двигатель 22. Через муфту

21, зубчатый кондуктор 20 и оправку 18 вращение совершает подложкодержатель 16, создавая условия для более равномерного покрытия каждого изделия 17, находящегося в нем. Во второй загруженной рабочей камере 4 с помощью вакуум-насоса создают разрежение и разогревают находящиеся в ней иэделия 17..

После очередного поворота рамы 2 следующая рабочая камера 4 встает в позицию загрузки, а в первой камере 4 заканчивают покрытие; коммутационное устройство 6 перекрывает патрубки подачи МОС в испаритель 24, отключает подачу электроэнергии через токоподводы 9 к нагревателю 8. Изделия 17 начинают остывать. Загрузка последующих рабочих камер 4 повторяется неоднократно. Наконец камера 4, с которой установка начинала работу, при очередном повороте рамы. 2 оказывается в позиции разгрузки. В камеру нагнетают инертный гаэ. например аргон. Давление внутри камеры выравнивают с давлением окружающей среды. Силовой элемент 14, смонтированный в позицию разгрузки, перемещает салазки 11 вместе с крышкой 10 и

6 . покрытыми иэделиями 17 от рабочей каме15 ры 4. В конце хода механизм 23 переводит крышку 10 в горизонтальное положение.

Шаговый конвейер 15 снимает подложкодержатель 16 с оправки 18, направляя изделия 17 для проведения последующих

20 технологических операций вне установки.

Рама 2 при очередном повороте устанавливает только что разгруженную камеру 4 в позицию загрузки. Круг замкнулся.

Таким образом, если первая камера со25 вершает полный оборот (рабочий цикл нан сения покрытия на иэделия) за 55 мин, то вторая и последующие камеры будут разгружаться через каждые 15 мин, и тогда произ.водительность данной установки по

30 сравнению с известными повысится в 5-7 раз.

Формула изобретения

1. Установка для нанесения покрытий иэ паровой (газовой) фазы, содержащая термо35 статированные рабочие камеры с крышками и подложкодержателями, установленные на раме, механизм загрузки-выгрузки подложкодержателей, патрубки подачи металлоорганических соединений и откачки продуктов

40 реакции через коммутационные узлы, о т л ич а ю щ а я с я тем, что, с целью повышения производительности, она снабжена приводом поворота рамы и салазками, установленными под каждой рабочей камерой; при этом

45 салазки шарнирно соединены с крышками и установлены с - возможностью взаимодействия с механизмом загрузки-выгрузки.

2. Установка по и. 1, отличающаяся тем, что подложкодержатель выполнен с при50. водам вращения, смонтированным на крышке рабочей камеры. ба.2

1723193

Составитель В.Забелин

Техред М.Моргентал

Корректор А.Осауленко

Редактор А.Маковская

Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул.Гагарина, 101

Заказ 1046 Тираж . Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб„4/5