Способ определения электронной температуры плазмы тлеющего разряда
Изобретение касается зондовых методов экспериментального исследования плазмы тлеющего разряда в газах и может быть использовано для диагностики стационарной низкотемпературной плазмы. Цель изобретения - упрощение определения электронной температуры в стационарном состоянии плазмы. Цель изобретения достигается изменением величины потенциала гальванически изолированного одиночного зонда. Согласно способу измеряют токи зонда при положительном и отрицательном изменении потенциала зонда относительно плавающего потенциала плазмы, а электронную температуру определяют по формуле,приведенной в описании . 1 ил.
COIO3 СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИНЕСКИХ
РЕСПУБЛИК (я)з 0 01 N 15/02
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ
ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4426476/25 (22) 18.05.88 (46) 15.05.92. Бюл. М 18 (71) Научно-производственное объединение им. С.А, Лавочкина и Московский институт радиотехники, электроники и автоматики (72)Ю.В. Кубарев, П.B. Коленько, Е.Ф. Ковалев, С.Е. Росинский, А.А. Флоридов и B.H.
Черник (53) 535.9(088.8) (56) Методы исследования плазмы/Под ред.
В. Лохте — Хольтгревена. М,: Мир, 1971, с..
480. (54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕМПЕРАТУРЫ ПЛАЗМЫ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА
Изобретение относится к зондовым методам экспериментального исследования плазмы тлеющего разряда в газах и может быть использовано для диагностики,стационарной низкотемпературной плазмы.
Цель изобретения — упрощение определения электронной температуры в стационарном состоянии плазмы.
Цель изобретения достигается изменением относительно плавающего потенциала плазмы величины потенциала гальванически изолированного одиночного зонда.
Одиночный зонд изолируют с помощью разделительного конденсатора, причем общую емкость С зонда и разделительного конденсатора определяют из условия
С » -у7 (Ф), где — максимальная абсолютная величина тока зонда при положительном или отрицательном изменении его потенциала, А;
„„. Щ„„1733975 А1 (57) Изобретение касается зондовых методов экспериментального исследования плазмы тлеющего разряда в газах и может быть использовано для диагностики стационарной низкотемпературной плазмы. Цель изобретения — упрощение определения электронной температуры в стационарном состоянии плазмы. Цель изобретения достигается изменением величины потенциала гальванически изолированного одиночного зонда. Согласно способу измеряют токи зонда при положительном и отрицательном изменении потенциала зонда относительно плавающего потенциала плазмы, а электронную температуру определяют по формуле, приведенной в описании. 1 ил.
Ю/ — абсолютная величина изменения потенциала, соответствующая I, В; т — длительность изменения потенциа- а ла, С. 4
На чертеже представлена вольт-амперная характеристика зонда и величины, определяемые в процессе диагностики плазмы, На чертеже показаны следующие величины: Vo — плавающий потенциал плазмы;
V + М вЂ” потенциал зонда при его положи- (Я тельном изменении; Vo — Л V — потенциал зонда при его отрицательном изменении; ! — ток зонда при положительном изменении потенциала; Iz — ток зонда при отрицательном изменении потенциала.
Способ реализуют следующим образом.
Вначале определяется плавающий потенциал плазмы Vo, при котором ток зонда равен 0; Затем измеряются токи зонда I> и !
2 при положительном +Ч и отрицательном
1733975
Формула изобретения
Способ определения электронной температуры плазмы тлеющего разряда, заключающийся в том, что в плазму вводят одиночный зонд, изменяют электрический потенциал зонда, измеряют его ток, о т л ич а ю шийся тем, что, с целью упрощения определения электронной температуры в стационарном состоянии плазмы, одиночный зонд гальванически изолируют. с поСоста вител ь Г. Можаров
Редактор Т.Лазорен ко Техред М.Моргентал Корректор Т,Малец
Заказ 1бб4 Тираж Подписное
ВНИИПИ Государственно о комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5
Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101
-V изменении потенциала зонда относительно плавающего потенциала плазмы.
Электронная температура определяется по формуле где ЛЧ вЂ” абсолютная величина изменения потенциала, В;
I> — ток зонда при положительном изменении потенциала, А; !
2 — ток зонда при отрицательном изменении потенциала, А. мощью разделительного. конденсатора, при этом общую емкость С зонда и разделительного конденсатора определяют иэ условия
С» - (Ф), где — максимальная абсолютная величина тока зонда при положительном или отрицательном изменении его потенциала, А;
Л V — - абсолютная величина изменения
1О потенциала, соответствующая !, В:
t — длительность изменения потенциала,С, а электронную температуру оперделяют по формуле
15 где Л V — абсолютная величина изменения потенциала, В; !, — ток зонда при положительном изменении потенциала, А; ! — ток зонда при отрицательном изменении потенциала, А.
